一种多晶硅铸锭炉及其隔热笼制造技术

技术编号:21025896 阅读:20 留言:0更新日期:2019-05-04 02:35
本申请公开了一种隔热笼,包括上保温板和环绕连接在上保温板的下表面四周的侧保温板,其中,所述侧保温板由百叶窗型下保温板和与所述上保温板相连的中保温板连接而成,且所述百叶窗型下保温板由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。本申请中隔热笼的下保温板为百叶窗型的保温板,在长晶过程中,不需要提升或下降隔热笼,只需要调节百叶窗型的下保温板即可,当需要加强下部散热,平衡加热器的辐射作用时,转动子保温板以增加子保温板间的缝隙,当需要减少散热量时,转动子保温板以减小子保温板间的缝隙,非常便捷。此外,本申请还提供一种具有上述优点的多晶硅铸锭炉。

A Polycrystalline Silicon Ingot Casting Furnace and Its Insulation Cage

The present application discloses an insulating cage, which comprises an upper insulating board and a side insulating board surrounding the lower surface of the upper insulating board, wherein the side insulating board is connected by a louver-shaped lower insulating board and a middle insulating board connected with the upper insulating board, and the louver-shaped lower insulating board is connected by a plurality of rotations to a relatively set supporting rod and regulates heat dissipation by rotation. Composition of lost child insulation board. In this application, the lower insulation board of the heat insulating cage is a louver-shaped insulation board. In the process of crystallization, there is no need to lift or drop the heat insulating cage, only need to adjust the lower insulation board of the louver-shaped. When it is necessary to strengthen the heat dissipation of the lower part and balance the radiation effect of the heater, the rotating sub-insulation board increases the gap between the sub-insulation boards, and when it is necessary to reduce the heat dissipation, the rotating sub-insulation board is reduced. The gap between the boards is very convenient. In addition, the application also provides a polycrystalline silicon ingot furnace with the above advantages.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅铸锭炉及其隔热笼
本申请涉及多晶硅铸锭设备
,特别是涉及一种多晶硅铸锭炉及其隔热笼。
技术介绍
多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定向凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求。是一种适用于长时间连续工作,高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大生产设备。现有的多晶硅铸锭炉热场,隔热笼、保温毡及其上、中、下保温板构成一个相对封闭的保温系统,由于隔热笼侧部加热器的辐射作用,大于氩气及底部散热,坩埚边部的温度远高于中心区域,在长晶过程中,需使坩埚边部的温度与中心区域的温度差接近线性关系,以解决下述问题:(1)靠近坩埚边部的温度与中心区域温度差异较大,长晶界面不平整,影响晶体质量,(2)中心长晶透顶后四个边角仍然有部分硅液,需要增加边角长晶,延长了铸锭时间,单位产能下降,(3)长晶界面的不平整,杂质的分凝效果较差,在切片过程中会产生一些杂质线痕、断线等现象,增加生产成本。现有技术中,通常在护板外部增加护毡,通过控制护毡厚度的差异来调节,或者是在DS块下部增加护毡,通过提升和下降隔热笼来控制长晶,参见图1,但在高温的环境下散热容易出现散热不均匀且不好调控,进而不能有效解决长晶过程中出现的问题。
技术实现思路
本申请的目的是提供一种多晶硅铸锭炉及其隔热笼,以均匀控制热量的散失。为解决上述技术问题,本申请提供一种隔热笼,包括上保温板和环绕连接在上保温板的下表面四周的侧保温板,其中,所述侧保温板由百叶窗型下保温板和与所述上保温板相连的中保温板连接而成,且所述百叶窗型下保温板由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。可选的,所述百叶窗型下保温板由第一保温板模组和第二保温板模组组成。可选的,所述子保温板的两个相对侧面均为具有台阶形状的侧面,且所述台阶的方向相反。可选的,所述上保温板和所述侧保温板均为碳质保温材料形成的保温板。可选的,所述上保温板与所述侧保温板之间的连接方式为嵌入式。本申请还提供一种多晶硅铸锭炉,包括坩埚、顶部加热器、侧部加热器、石墨电极、上述任一种所述的隔热笼。可选的,所述多晶硅铸锭炉还包括:位于所述坩埚侧面的护板。可选的,所述多晶硅铸锭炉还包括:位于所述石墨电极外围的石英护套。本申请所提供的隔热笼,包括上保温板和环绕连接在上保温板的下表面四周的侧保温板,其中,所述侧保温板由百叶窗型下保温板和与所述上保温板相连的中保温板连接而成,且所述百叶窗型下保温板由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。本申请中隔热笼的下保温板为百叶窗型的保温板,百叶窗型下保温板是由多块转动的子保温板组成,在长晶过程中,不需要提升或下降隔热笼,只需要调节百叶窗型的下保温板即可,当需要加强下部散热,平衡加热器的辐射作用时,转动子保温板以增加子保温板间的缝隙,当需要减少散热量时,转动子保温板以减小子保温板间的缝隙,非常便捷,可以有效控制坩埚边部的温度与中心区域的温度差,有效解决长晶过程中出现的上述问题,又可以避免增加护毡,减少损耗。此外,本申请还提供一种具有上述优点的多晶硅铸锭炉。附图说明为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中隔热笼结构示意图;图2为本申请实施例所提供的一种隔热笼结构示意图;图3为本申请实施例所提供的另一种隔热笼的结构示意图;图4为本申请实施例所提供的子保温板正视图;图5为本申请实施例所提供的子保温板侧视图;图6为本申请实施例所提供的子保温板俯视图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请方案,下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术,但是本专利技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似推广,因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。正如
技术介绍
部分所述,通常在护板外部增加护毡,或者是在DS块下部增加护毡,通过提升和下降隔热笼来控制长晶,但在高温的环境下散热容易出现散热不均匀且不好调控,进而不能有效解决长晶过程中出现的问题。有鉴于此,本申请提供了一种隔热笼,请参考图2,图2为本申请实施例所提供的一种隔热笼的结构示意图,该隔热笼包括上保温板1和环绕连接在上保温板1的下表面四周的侧保温板2,其中,所述侧保温板2由百叶窗型下保温板22和与所述上保温板1相连的中保温板21连接而成,且所述百叶窗型下保温板22由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。需要说明的是,隔热笼还包括位于上保温板1和侧保温板2外侧的刚体支撑架(图2中未示出),起到支撑上保温板1和侧保温板2的作用。还需要说明的是,本实施例中对上保温板1的厚度不做具体限定,视情况而定。同理,对侧保温板2的厚度也不做具体限定,可自行设定。优选地,所述上保温板1与所述侧保温板2之间的连接方式为嵌入式。嵌入式连接使得隔热笼更加封闭,增加保温效果,降低能耗。本申请所提供的隔热笼,包括上保温板1和环绕连接在上保温板1的下表面四周的侧保温板2,其中,所述侧保温板2由百叶窗型下保温板22和与所述上保温板1相连的中保温板21连接而成,且所述百叶窗型下保温板22由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。本申请中隔热笼的下保温板为百叶窗型的保温板,百叶窗型下保温板22是由多块转动的子保温板组成,在长晶过程中,不需要提升或下降隔热笼,只需要调节百叶窗型的下保温板即可,当需要加强下部散热,平衡加热器的辐射作用时,转动子保温板以增加子保温板间的缝隙,当需要减少散热量时,转动子保温板以减小子保温板间的缝隙,非常便捷,可以有效控制坩埚边部的温度与中心区域的温度差,有效解决长晶过程中出现的问题,又可以避免增加护毡,减少损耗。请参考图3,图3为本申请实施例所提供的另一种隔热笼的结构示意图。在上述实施例的基础上,在本申请的一个实施例中,所述百叶窗型下保温板22由第一保温板模组221和第二保温板模组222组成。具体的,第一保温板模组221和第二保温板模组222均由一块或者多块子保温板组成,且第一保温板模组221和第二保温板模组222是分离的,即可以分别单独控制第一保温板模组221和第二保温板模组222的打开或者关闭。需要说明的是,本实施例中对第一保温板模组221和第二保温板模组222相对中保温板21的位置不做限定,例如,可以为第一保温板模组221靠近中保温板21,第二保温板模组222位于第一保温板模组221的下方,或者第二保温板模组222靠近中保温板21,第一保温板模组221位于第二保温板模组222的下方。将百叶窗型下保温板22设置成相互分开的第一保温板模组本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种隔热笼,其特征在于,包括上保温板和环绕连接在上保温板的下表面四周的侧保温板,其中,所述侧保温板由百叶窗型下保温板和与所述上保温板相连的中保温板连接而成,且所述百叶窗型下保温板由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。

【技术特征摘要】
1.一种隔热笼,其特征在于,包括上保温板和环绕连接在上保温板的下表面四周的侧保温板,其中,所述侧保温板由百叶窗型下保温板和与所述上保温板相连的中保温板连接而成,且所述百叶窗型下保温板由多块转动连接于相对设置的支撑杆并通过转动以调节热量散失的子保温板组成。2.如权利要求1所述的隔热笼,其特征在于,所述百叶窗型下保温板由第一保温板模组和第二保温板模组组成。3.如权利要求2所述的隔热笼,其特征在于,所述子保温板的两个相对侧面均为具有台阶形状的侧面,且所述台阶的方向相反。4.如...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶鹏黄晶晶梅坤贺小峰陈骏张涛金浩
申请(专利权)人:晶科能源有限公司浙江晶科能源有限公司
类型:发明
国别省市:江西,36

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