一种基板镀膜设备制造技术

本发明专利技术提供一种基板镀膜设备，包括：腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述腔体中，用以对所述吸热板散热。本发明专利技术将传统冷却系统分成吸热和散热两部分分开；同时在运载基板上增加有弹力设置的吸热板支撑柱，通过吸热板取代现有基板夹具，整面压合基板，解决目前的使用大开口掩膜板成膜造成的阴影的问题。

A Substrate Coating Equipment

The invention provides a substrate coating device, which includes: a cavity with a guide rail; a carrier substrate movably arranged on the guide rail for carrying a substrate; a heat absorbing plate, which can be separated on the carrier substrate, has a loading side facing the carrier substrate to load the substrate and absorb the heat of the substrate; and at least a heat dissipation system. The utility model is arranged in the cavity to heat the heat absorbing plate. The invention divides the traditional cooling system into two parts: heat absorption and heat dissipation; at the same time, an elastic supporting column of heat absorption plate is added on the carrier substrate, and the existing substrate fixture is replaced by the heat absorption plate, and the whole surface of the substrate is pressed to solve the shadow problem caused by the current use of large opening mask plate.

【技术实现步骤摘要】
一种基板镀膜设备
本专利技术涉及一种基板镀膜设备。
技术介绍
线式溅射镀膜机广泛运用于触控面板(TP)、LCD、OLED的镀膜制程中，有很多成膜制程都要求低温，比如TP的On-cell技术、OLED阴极用溅镀方式镀膜。Incell是指将触摸面板功能嵌入到液晶像素中的方法。触摸面板和液晶面板的一体化包括“In-cell”方法和“On-cell”方法。而On-cell是指将触摸面板功能嵌入到彩色滤光片基板和偏光板之间的方法。由于在溅镀阴极前，基板上已经镀了有机膜层，所以阴极镀膜一般要求基板温度低于80℃。在溅射镀膜过程中，膜层在沉积过程中会在基板上累积热量从而导致基板温度超标，最终会导致有机膜层受到损害；由于线式镀膜机(In-line)时，是以基板移动而靶材不动的方式进行镀膜，这会导致一般外加基板冷却系统无法安装给降温，只能通过改变溅镀的工艺来降低温度，这样就会影响镀膜效率；同时线式镀膜机是基板移动方式镀膜，这就需要额外设计基板夹具，用以来保证基板与掩膜板的相对位置不变。随着新技术的发展，低温成膜和有掩膜板的线式磁控溅射镀膜机的应用也会越来越广泛。目前使用的线式镀膜机由于是基板在移动镀膜，所以没有外置的基板冷却系统，只能通过优化本身镀膜工艺或者阴极系统来降低基板温度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，本专利技术提供一种基板镀膜设备，可以有效解决了成膜率低、设备成本高和镀膜温度高等问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种基板镀膜设备，包括：腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述腔体中，用以对所述吸热板散热。进一步地，当所述散热系统对所述吸热板散热时，所述吸热板与所述基板分离，且贴覆于所述散热系统。进一步地，每一散热系统包括：散热板，设于所述腔体内，且位于所述腔体的上侧；流体管道，设于所述散热板的上表面，所述流体管道具有一进水端和一出水端；一进水口和一出水口，设于所述腔体的顶面，且所述流体管道的进水端连接于所述进水口，所述流体管道的出水端连接于所述出水口；上下移动支架，设于所述腔体中且位于所述散热板的正下方，用以带动所述吸热板上下移动。进一步地，所述流体管道包括横向管道和纵向管道，所述横向管道和纵向管道相互连通，成“回”字形排布，或成“S”形排布，或成“Z”形排布。进一步地，所述上下移动支架包括：若干第一支撑杆，竖直设置；若干第二支撑杆，竖直设置；所述第一支撑杆的长度小于所述第一支撑杆的长度；所述第一支撑杆对应于所述基板，所述第二支撑杆对应于所述吸热板；当所述散热系统对所述吸热板散热时，所述上下移动支架向上运动，所述基板被所述第一支撑杆顶起且与所述掩膜板分离，所述吸热板被所述第二支撑杆顶起且与所述基板分离，所述吸热板被所述第一支撑杆顶起上升至并且贴覆于所述散热板的底面。进一步地，所述吸热板为倒置的台阶形结构，包括：第一板体，包括中部区域和围绕所述中部区域的周侧区域；第二板体，连接所述第一板体的下方且对应于所述第一板体的中部区；吸热涂层，设于所述第二板体朝向所述基板的一侧。进一步地，所述运载基板设有容所述第一支撑杆和第二支撑杆通过的通孔。进一步地，所述运载基板设有支撑柱，所述吸热板设于所述支撑柱上。进一步地，所述腔体包括：基板镀膜腔体，具有一进口侧和一出口侧；基板装载腔体，连接于所述基板镀膜腔体的进口侧；基板卸载腔体，连接于所述基板镀膜腔体的出口侧；所述散热系统设于所述基板镀膜腔体和或所述基板卸载腔体中。进一步地，所述基板为金属基板，所述吸热板中具有用以吸附所述金属基板的磁性材料。本专利技术的有益效果是：本专利技术提出一种基板镀膜设备，通过在现有的镀膜设备上增加基板散热系统，在所述腔体顶部设有一散热板，并在所述散热板上设置水冷装置。通过在所述基板进入所述基板镀膜腔体前和出去后，所述吸热板上升到所述散热板处，将所述吸热板上的热量通过所述散热板散出，避免所述基板过热对产品造成损害。通过将所述吸热板装在基板小车上。在吸热过程中，所述吸热板下降压合到所述基板上，随所述基板在所述基板镀膜腔体中一起成膜，在成膜过程中吸收所述基板上的热量。所述吸热板与所述基板一起成膜时可以防止掩膜板出现相对移动的现象，以免成膜出现阴影。并且在所述吸热板的四周装上有弹要求的吸热板支撑柱，保证了所述吸热板压合基板时不会损坏所述基板。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的描述。图1为本专利技术提供的基板镀膜设备的逻辑框图；图2为本专利技术提供的腔体的结构示意图；图3为本专利技术提供的散热系统的散热板、流体管道、进水管与出水管的结构示意图；图4为本专利技术提供的吸热板的结构示意图；图5为本专利技术提供的散热系统散热过程的结构示意图；图6为本专利技术提供的散热系统吸热过程的结构示意图；基板镀膜设备100腔体11；运载基板12；散热系统13；吸热板14；掩膜板15；基板16；基板镀膜腔体111；基板装载腔体112；基板卸载腔体113；导轨114；支撑柱121；通孔122；散热板131；流体管道132；进水口133；出水口134；上下移动支架135；第一板体141第二板体142；定位销143；吸热图层144；进水端1321；出水端1322；第一支撑杆1351；第二支撑杆1352。具体实施方式以下是各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可以用实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如上、下、前、后、左、右、内、外、侧等，仅是参考附图式的方向。本专利技术提到的元件名称，例如第一、第二等，仅是区分不同的元部件，可以更好的表达。在图中，结构相似的单元以相同标号表示。本文将参照附图来详细描述本专利技术的实施例。本专利技术可以表现为许多不同形式，本专利技术不应仅被解释为本文阐述的具体实施例。本专利技术提供这些实施例是为了解释本专利技术的实际应用，从而使本领域其他技术人员能够理解本专利技术的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改方案。如图1所示，在实施例中，本专利技术提供一种基板镀膜设备100，包括：腔体11、运载基板12、吸热板14、掩膜板15和散热系统13。如图2所示，所述腔体11包括：基板镀膜腔体111、基板装载腔体112以及基板卸载腔体113；所述腔体11内设有一导轨114，所述导轨114贯穿所述基板镀膜腔体111、所述基板装载腔体112以及所述基板卸载腔体113。所述导轨114用以提供运载基板12的运动轨道，可以使所述运载基板12在所述基板镀膜腔体111内进行镀膜工作。所述基板装载腔体112以及所述基板卸载腔体113的所述散热系统13用以对所述吸热板14进行散热。在所述吸热板14散热过程结束后，所述吸热板14贴附于所述基板上，并通过运载基板12将所述基板和吸热板14共同运输至所述基板镀膜腔体111中进行共同镀膜。在镀膜结束后，所述运载基板12将所述基板和所述吸热板14运输至所述基板卸载腔体113中进行再次的冷却过程。所述基板镀膜腔体111具有一进口侧和一出口侧，所述基板镀膜腔体111用以对基板进行真空镀膜；所述基板装载腔体112连接于所述基板镀膜腔体111的进口侧；所述基板卸载腔体113连接于所述基板镀膜腔体111的出口侧，所述导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板镀膜设备，其特征在于，包括腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述腔体中，用以对所述吸热板散热。

【技术特征摘要】
1.一种基板镀膜设备，其特征在于，包括腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述腔体中，用以对所述吸热板散热。2.根据权利要求1所述的基板镀膜设备，其特征在于，当所述散热系统对所述吸热板散热时，所述吸热板与所述基板分离，且贴覆于所述散热系统。3.根据权利要求1所述的基板镀膜设备，其特征在于，每一散热系统包括：散热板，设于所述腔体内，且位于所述腔体的上侧；流体管道，设于所述散热板的上表面，所述流体管道具有一进水端和一出水端；一进水口和一出水口，设于所述腔体的顶面，且所述流体管道的进水端连接于所述进水口，所述流体管道的出水端连接于所述出水口；上下移动支架，设于所述腔体中且位于所述散热板的正下方，用以带动所述吸热板上下移动。4.根据权利要求3所述的基板镀膜设备，其特征在于，所述流体管道包括横向管道和纵向管道，所述横向管道和纵向管道相互连通，成“回”字形排布，或成“S”形排布，或成“Z”形排布。5.根据权利要求3所述的基板镀膜设备，其特征在于，还包括一掩膜板，设于所述运载基板上，所述掩膜板位于所述基板的下方；所述上下移动支架包括：若干第一支撑杆，竖直设置若干第二支撑杆，竖直设...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭伟，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44