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本发明提供一种基板镀膜设备，包括：腔体，其设有一导轨；运载基板，可移动的设在所述导轨上，用以运载一基板；吸热板，可分离的设于所述运载基板上，所述吸热板具有一朝向所述运载基板的装载侧，用以装载基板并吸取所述基板的热量；至少一散热系统，设于所述...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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