一种高效硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域，包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置，清洗槽包括多个清洗箱，清洗箱内设置药剂箱、液位计、温度传感器、进水管、出水管和超声波发生器，硅片挂篮用于放置硅片并放置于清洗箱内，干燥装置采用离心干燥和热风干燥两种方式，硅片挂篮搬运装置将硅片挂篮从上一个清洗箱搬运至下一个清洗箱，第四个清洗箱内的硅片挂篮搬运至干燥装置中，挂钩脱离硅片挂篮，硅片搬运装置恢复回上一个清洗箱上方，挂钩与新的硅片挂篮结合，硅片搬运装置重复上述运动。本实用新型专利技术供具有清洗效果更好、药剂自动添加、硅片自动搬运和干燥等优点。

A High Efficiency Silicon Wafer Cleaner

The utility model discloses an efficient silicon wafer cleaning machine, which belongs to the technical field of silicon wafer cleaning, including a cleaning tank, a wafer hanging basket, a drying device, a PLC control box and a hanging basket handling device, a PLC control box, a cleaning tank and a drying device are arranged in turn. The cleaning tank comprises a plurality of cleaning boxes, in which a medicine box, a liquid level meter, a temperature sensor, an intake pipe, an outlet pipe and an ultrasound are arranged. Wave generator, silicon wafer hanging basket is used to place silicon wafers in the cleaning box. The drying device adopts centrifugal drying and hot air drying. The silicon wafer hanging basket is carried from the previous cleaning box to the next cleaning box. The silicon wafer hanging basket in the fourth cleaning box is carried to the drying device. The hook is separated from the silicon wafer hanging basket, and the silicon wafer handling device is restored to the previous one. Above the cleaning box, the hook is combined with the new wafer hanging basket, and the wafer handling device repeats the above movement. The utility model has the advantages of better cleaning effect, automatic addition of reagents, automatic handling and drying of silicon wafers, etc.

【技术实现步骤摘要】
一种高效硅片清洗机
本技术属于硅片清洗
，具体涉及一种高效硅片清洗机。
技术介绍
随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片、多晶硅片作为光伏发电的太阳能电池片的基础材料，拥有广泛的市场需求。硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物,以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在光伏太阳能产业中,硅片在加工中表面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗，而超声波太阳能清洗机可以有效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，在硅片生产加工中得到广泛应用。公告号为CN205732105U，公告日为2016年11月30日的中国文献公开了一种太阳能板加工用硅片清洗机，包括机箱和清洗槽，所述清洗槽内装在机箱内部，所述清洗槽左侧位于机箱上设有电控箱，其特征在于，所述机箱内部位于清洗槽的正下方设有底座，底座上固定安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效硅片清洗机，其特征在于：包括清洗槽（1）、硅片挂篮（2）、干燥装置（3）、PLC控制箱（4）和挂篮搬运装置（5），所述PLC控制箱（4）、清洗槽（1）和干燥装置（3）依次设置；所述清洗槽（1）包括依次排布的多个清洗箱（6），所述清洗箱（6）左侧设置有药剂箱（7），所述药剂箱（7）底部设置有加药管（8），所述加药管（8）上设置加药阀（9）和加药流量计（10），所述药剂箱（7）下方设置加热装置（11），所述清洗箱（6）右侧由上到下依次设置液位计（12）和温度传感器（13），所述清洗箱（6）底部左右两端分别设置进水管（14）和出水管（15），所述进水管（14）和出水管（15）上分别设置进...

【技术特征摘要】
1.一种高效硅片清洗机，其特征在于：包括清洗槽（1）、硅片挂篮（2）、干燥装置（3）、PLC控制箱（4）和挂篮搬运装置（5），所述PLC控制箱（4）、清洗槽（1）和干燥装置（3）依次设置；所述清洗槽（1）包括依次排布的多个清洗箱（6），所述清洗箱（6）左侧设置有药剂箱（7），所述药剂箱（7）底部设置有加药管（8），所述加药管（8）上设置加药阀（9）和加药流量计（10），所述药剂箱（7）下方设置加热装置（11），所述清洗箱（6）右侧由上到下依次设置液位计（12）和温度传感器（13），所述清洗箱（6）底部左右两端分别设置进水管（14）和出水管（15），所述进水管（14）和出水管（15）上分别设置进水电磁阀（16）和出水电磁阀（17），所述各个进水管（14）通过进水总管（18）相连，所述各个出水管（15）通过出水总管（19）相连，所述进水管（14）与出水管（15）之间设置超声波发生器（20）；所述硅片挂篮（2）用于放置硅片，所述硅片挂篮（2）放置于清洗箱（6）内，所述硅片挂篮（2）底面和四个侧壁均设置有小孔；所述干燥装置（3）包括干燥箱体（21），所述干燥箱体（21）底部左右两侧均设置有排水管（22），所述排水管（22）上设置排水阀（23），所述排水管（23）和出水总管（19）相连，所述排水管（23）之间设置有干燥甩盘（24），所述干燥甩盘（24）连接干燥电机联轴器（25），所述干燥电机联轴器（25）和干燥电机（26）相连，所述干燥箱体（21）侧壁设置有湿度传感器（27）和温度传感器（13），所述干燥箱体（21）底面设有进气管（28），所述进气管（28）上设置有加热装置（11）和风机（29），所述硅片挂篮（2）放置在干燥甩盘（24）上，所述干燥箱体（21）上还设置有防撞环（30）；所述挂篮搬运装置（5）包括龙门支架（31）、横向丝杆（32）、横向电机（33）、伸缩式液压杆（34）、电机安装板（35）、横向移动块（36）、横杆（37）和两个横向丝杆固定座（38），所述龙门支架（31）右上方设置电机安装板（35），所述电机安装板（35）上设置横向电机（33），所述横向电机（33）通过联轴器和横向丝杆（32）相连，所述横向丝杆（32）通过轴承和横向丝杆固...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏，
申请(专利权)人：四川晶美硅业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51