【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种太阳能电池硅片清洗剂及清洗工艺,应用于太阳能电池生产过程,属于太阳能电池生产
技术介绍
在单晶硅太阳能电池生产工艺中,单晶硅在切片、清洗等制作过程中硅片表面会产生损伤层、碱、盐、有机污染、金属杂质与灰尘等。其中对于损伤层与金属杂质可在制绒与后续酸洗过程中有效去除,而对于灰尘与有机污染等在制绒反应中很难去除,而且会阻碍硅片表面的晶向腐蚀,引起明显色差,增高反射率,降低制绒质量与影响硅片整体的制绒效果。目前表面预清洗工艺一般采用粗抛与APM清洗工艺,同时借助物理超声波清洗方法。粗抛使用较高浓度氢氧化钠溶液与硅片发生反应,虽然可去除表面损伤层,在一定程度上去除表面污染物,但粗抛之后硅片表面溶液残留较多碱,同时减薄量很大,不易控制,对后续工艺产生较大影响。而APM清洗工艺,使用氨水与双氧水进行清洗,通过氧化与微刻蚀去除轻微有机物,表面颗粒与部分金属污染物,氨水容易挥发,双氧水容易分解,需要不断补加,工艺稳定性差,清洗效果不完全。
技术实现思路
为解决现有技术的上述不足,本专利技术提供了一种太阳能电池硅片清洗剂及其清洗工艺,清洗剂无挥发,无刺激性气 ...
【技术保护点】
一种太阳能电池硅片清洗剂,其特征在于:由表面活性剂、无机盐、有机盐和去离子水组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李一鸣,张震华,王建新,
申请(专利权)人:绍兴拓邦电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。