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本实用新型公开了一种高效硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域，包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置，清洗槽包括多个清洗箱，清洗箱内设置药剂箱、液位计、温度传感器、进水管、出水管和超声...
该专利属于四川晶美硅业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川晶美硅业科技有限公司授权不得商用。

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