The invention provides a feedback signal acquisition circuit system for the exposure light source of a direct-writing lithography machine, which can solve the technical problem that the temperature change of the laser light source in the prior art is difficult to measure and affect the exposure quality. Including power circuit conversion module, signal acquisition and processing module and input and output interface module, the power circuit conversion module includes external power input and power conversion module, one end of the external power input is connected with external power supply, the other end is connected with the input end of power conversion module, and the power conversion module is connected with the signal acquisition and processing module for signal acquisition. The signal acquisition and processing module includes thermistor module, which is integrated on the exposure light source of direct-writing lithography machine, and the input and output interfaces include input terminal and output terminal connected with acquisition and processing module respectively. The circuit board of the invention can simultaneously collect the feedback signal of the multi-channel laser thermistor, and has strong practicability and low cost.
【技术实现步骤摘要】
一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统
本专利技术涉及半导体光刻机
,具体涉及一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统。
技术介绍
光刻机是半导体产业中最关键的设备,它决定着芯片的性能、大小等最核心的地方。而光刻机最重要的部件之一曝光光源即激光器,它的选用影响光刻机的整体性能。半导体二极管激光器UVLED是最实用最受欢迎的一类曝光光源,具有体积小、寿命长等优点。光刻机在工作状态下,曝光光源的稳定性尤为重要,而温度变化对于曝光光源的影响非常明显。曝光缺乏时,由于聚合不彻底,显影过程中,胶膜溶胀变软,导致线条不清晰甚至膜层脱落,造成膜与铜结合不良;若曝光过度,又会造成显影困难,这样线路板也会在电镀过程中发生起翘剥离,形成渗镀,所以控制好曝光能量显得非常重要,所以怎样实时有效的得到UVLED光源附近的温度就显得至关重要。
技术实现思路
本专利技术提出的一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,可解决现有技术激光器光源温度变化难以测量影响曝光质量的技术问题。为实现上述目的,本专利技术采用了以下技术方案:一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,包括电源电路转换模块、信号采集处理模块及输入输出接口模块,所述电源电路转换模块包括外接电源输入端和电源转换模块,所述外接电源输入端一端与外部电源连接,另一端连接到电源转换模块的输入端;所述电源转换模块与所述信号采集处理模块连接,用于给信号采集处理模块供电;所述信号采集处理模块包括热敏电阻模块,所述热敏电阻模块集成在直写式光刻机曝光光源上;所述输入输出接口包括分别与采集处理模块连接的 ...
【技术保护点】
1.一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,包括电源电路转换模块、信号采集处理模块及输入输出接口模块,其特征在于:所述电源电路转换模块包括外接电源输入端和电源转换模块,所述外接电源输入端一端与外部电源连接,另一端连接到电源转换模块的输入端;所述电源转换模块与所述信号采集处理模块连接,用于给信号采集处理模块供电;所述信号采集处理模块包括热敏电阻模块,所述热敏电阻模块集成在直写式光刻机曝光光源上;所述输入输出接口包括分别与采集处理模块连接的输入端接线端子和输出端接线端子。
【技术特征摘要】
1.一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,包括电源电路转换模块、信号采集处理模块及输入输出接口模块,其特征在于:所述电源电路转换模块包括外接电源输入端和电源转换模块,所述外接电源输入端一端与外部电源连接,另一端连接到电源转换模块的输入端;所述电源转换模块与所述信号采集处理模块连接,用于给信号采集处理模块供电;所述信号采集处理模块包括热敏电阻模块,所述热敏电阻模块集成在直写式光刻机曝光光源上;所述输入输出接口包括分别与采集处理模块连接的输入端接线端子和输出端接线端子。2.根据权利要求1所述的用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,其特征在于:所述信号采集处理模块还包括电压跟随器TLV2461C芯片;电源转换模块输出的电源在C5、C6滤波后经过电阻R2再连接到电压跟随器TLV2461C芯片的IN+,热敏电阻一端连接在电阻R2与TLV2461C芯片的IN+之间,另一端接地;所述电压跟随器TLV2461C芯片IN+端接收热敏电阻上的电压值,输出端OUT输出电压值;所述热敏电阻一端接到输入端接线端子P1的1脚,然后从P1的1脚连接到电阻R2的另一端与电压跟随器TLV2461C芯片的+IN脚之间,热敏电阻的另一端连接P1的2脚,然后接地;所述电压跟随器TLV2461C芯片的VDD+脚输出的电压UVDD+=U+IN,经过电阻R3的一端和TVS管的负极,连接到输出接线端子P3,然后连接到PLC模块,由PLC模块处理该电压信号,并作出判断。3.根据权利要求1所述的用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,其特征在于:所述外接电源输入端CON1输入12V直流电源,经过自恢复保险丝RF16-500B连接到电源转换模块输入端。4.根据权利要求3所述的用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统,其特征在于:所述电源转换模块包括输入端滤波电容C1和...
【专利技术属性】
技术研发人员:伍凯,
申请(专利权)人:合肥芯碁微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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