温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的一种用于直写式光刻机曝光光源的反馈信号采集电路系统，可解决现有技术激光器光源温度变化难以测量影响曝光质量的技术问题。包括电源电路转换模块、信号采集处理模块及输入输出接口模块，所述电源电路转换模块包括外接电源输入端和电源转换模块，外接...
该专利属于合肥芯碁微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。