真空腔体破气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了真空腔体破气装置，涉及真空设备技术领域。包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离；该真空腔体破气装置能够减轻料件的刮碰。

Vacuum Cavity Breaking Device

The utility model discloses a vacuum chamber air breaking device, which relates to the technical field of vacuum equipment. The vacuum chamber includes: a vacuum chamber, an air-breaking passage connected with the outside world, a carrier plate for carrying the product, a transmission guide rail and an airflow block; the vacuum chamber has an air-breaking through hole adapted to the air-breaking passage; the air-breaking passage is installed on the outer wall of the vacuum chamber and is connected through the air-breaking through hole and the inner part of the vacuum chamber; the carrier disk is installed on the transmission guide rail. The transmission guide rail is arranged in the vacuum chamber body; the air flow blocking device is installed on the inner wall of the vacuum chamber and forms a baffle face facing the air-breaking through hole to shield the air-breaking through hole, and there is a distance between the air flow blocking device and the air-breaking through hole; the air-breaking device of the vacuum chamber body can reduce the scratch of the material parts.

【技术实现步骤摘要】
真空腔体破气装置
本技术涉及真空设备
，尤其是涉及真空腔体破气装置。
技术介绍
真空腔体破气，是指将洁净干燥的气体，例如空气、氮气等，通过破气通道灌入真空腔体内的过程。当真空腔体内气压值达到大气压强后，开启真空腔体的阀门，取出真空腔体内的料件；生产时，真空腔体内的真空度小于1Pa，腔体内外的气压差达到105Pa，在极短的时间内，气体将以“冲击波”的形式，冲入真空腔体的内部，对位于真空腔体内的料件，产生较大冲击，冲击作用力大于10N/cm2，在极端情况下，会将料件“吹起”，例如镀膜遮蔽治具上盖，在质量较轻、受力面积较大时，会被“吹起”，并卡在真空腔体上部结构中，进而造成料件刮碰的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供真空腔体破气装置，该真空腔体破气装置能够减轻料件的刮碰。为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：根据本技术的一方面，提供真空腔体破气装置，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离。进一步地，所述气流挡件为气流挡板。进一步地，所述真空腔体包括相对设置的上面板以及下面板、以及分别与所述上面板和所述下面板相互垂直的侧面板；所述破气通孔开设在所述侧面板上；所述气流挡板安装在所述侧面板上、且面向所述破气通孔；所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板设有距离。进一步地，所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板紧密接触。进一步地，所述气流挡件安装在所述真空腔体的内部、且面向所述破气通孔形成的挡面与所述破气通孔的周向截面相等。进一步地，所述破气通道为中空的柱体结构。进一步地，所述破气通道设有腔体，所述腔体具有与所述破气通孔连通的出气口以及与外界连通的进气口；位于所述出气口，所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁；沿所述进气口至所述出气口的方向，所述腔体的尺寸逐渐增大。进一步地，所述破气通道为棱台结构。进一步地，所述气流挡板通过安装柱安装在所述侧面板上；所述安装柱一端部安装有所述气流挡板，另一端部可拆卸地安装在所述侧面板上。进一步地，所述安装柱的另一端与所述侧面板螺接。根据本技术的真空腔体破气装置，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离；对于真空腔体破气装置而言，在真空腔体的内壁安装有气流挡件，气流挡件面向破气通孔形成用于遮挡破气通孔的挡面，气体在进入真空腔体内部之后，该挡面可对气体的冲击力进行缓冲，使得进入真空腔体内部的气体能够减小对料件的冲击力，有效减少料件被吹起的情况，从而能够减轻料件的刮碰。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的真空腔体破气装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中气流挡板与真空腔体的内壁之间安装的结构示意图；图3为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中破气通道的结构示意图；图4为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中破气通道与真空腔体的外壁之间安装的结构示意图。图标：10-真空腔体；101-上面板；102-下面板；103-侧面板；20-破气通道；30-载盘；40-传输导轨；50-气流挡件；501-气流挡板；60-安装柱；70-料件。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。图1为本技术实施例提供的真空腔体破气装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中气流挡板与真空腔体的内壁之间安装的结构示意图；图3为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中破气通道的结构示意图；图4为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中破气通道与真空腔体的外壁之间安装的结构示意图。实施例根据本技术的一个方面，提供真空腔体破气装置，如图1以及图2所示，图1为本技术实施例提供的真空腔体破气装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的真空腔体破气装置中气流挡板与真空腔体的内壁之间安装的结构示意图；包括：真空腔体10、与外界连通的破气通道20、用于承载产品的载盘30、传输导轨40以及气流挡件50；真空腔体10具有与破气通道20适配的破气通孔；破气通道20安装在真空腔体10的外壁、且通过破气通孔与真空腔体10内部连通；载盘30安装在传输导轨40上，传输导轨40设置在真空腔体10内；气流挡件50安装在真空腔体10的内壁、且面向破气通孔形成用于遮挡破气通孔的挡面，且气流挡件50与破气通孔之间设有距离。根据本技术的真空腔体破气装置，对于真空腔体破气装置而言，在真空腔体10的内壁安装有气流挡件50，气流挡件50面向破气通孔形成用于遮挡破气通孔的挡面，气体在进入真空腔体10内部之后，该挡面可对气体的冲击力进行缓冲，使得进入真空腔体10内部的气体能够减小对料件70的冲击力，有效减少料件70被吹起的情况，从而能够减轻料件70的刮碰。需要说明的是，该气流挡件50面向破气通孔形成用于遮挡破气通孔的挡面包括以下几种方式：方式一：形成的挡面完全本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空腔体破气装置，其特征在于，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离。

【技术特征摘要】
1.真空腔体破气装置，其特征在于，包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与所述真空腔体内部连通；所述载盘安装在所述传输导轨上，所述传输导轨设置在所述真空腔体内；所述气流挡件安装在所述真空腔体的内壁、且面向所述破气通孔形成用于遮挡所述破气通孔的挡面，且所述气流挡件与所述破气通孔之间设有距离。2.根据权利要求1所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述气流挡件为气流挡板。3.根据权利要求2所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述真空腔体包括相对设置的上面板以及下面板、以及分别与所述上面板和所述下面板相互垂直的侧面板；所述破气通孔开设在所述侧面板上；所述气流挡板安装在所述侧面板上、且面向所述破气通孔；所述气流挡板与所述侧面板的内壁设有距离、与所述上面板设有距离、以及与所述下面板设有距离。4.根据权利要求3所述的真空腔体破气装置，其特征在于，所述气流挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光华，王旭，
申请(专利权)人：赫得纳米科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32