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本实用新型公开了真空腔体破气装置，涉及真空设备技术领域。包括：真空腔体、与外界连通的破气通道、用于承载产品的载盘、传输导轨以及气流挡件；所述真空腔体具有与所述破气通道适配的破气通孔；所述破气通道安装在所述真空腔体的外壁、且通过所述破气通孔与...
该专利属于赫得纳米科技(昆山)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫得纳米科技(昆山)有限公司授权不得商用。

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