The utility model discloses a rotary multi-functional silicon wafer cleaning machine, which comprises a fuselage. The fuselage is provided with a cleaning room, a cleaning room is provided with a rotating frame, and a silicon wafer fixing frame is arranged on the rotating frame. The fuselage is also provided with an intake pipe, an outlet pipe, an intake pipe and an exhaust pipe. The cleaning liquid is injected into the cleaning room through the intake pipe and then passed through the cleaning room. The motor drives the rotating frame to rotate at a high speed, so that the cleaning liquid flows between the silicon wafers at a high speed and achieves the purpose of cleaning the silicon wafers quickly. After cleaning, the silicon wafers are centrifugally dehydrated. Two processing procedures are realized in one equipment, which not only improves the processing efficiency, but also avoids the natural air drying caused by the transshipment of the silicon wafers and ensures the quality of the products.
【技术实现步骤摘要】
一种旋转式多功能硅片清洗机
本技术涉及半导体加工设备
,具体涉及一种旋转式多功能硅片清洗机。
技术介绍
太阳能是一种可再生资源,因其具有广泛的来源和极低的获取成本而成为应用最广泛的新能源种类之一,现有技术中主要通过太阳能电池板将光能转化为电能加以利用,而太阳能电池板根据使用材质的不同又氛围硅太阳能电池、有机太阳能电池等,其中硅太阳能电池是应用最成熟的一种太阳能电池板;硅太阳能电池板所使用的单晶硅片在加工过程中需要经过清洗、干燥等程序,现有技术中一般将上述两道工序分开,其不但加工效率较低,同时如果硅片在两道工序之间停留的时间较长,极易造成硅片表面自然风干,进而使硅片表面残留较多的杂质,影响产品的质量,甚至导致产品报废。公开号为CN205680661U的中国技术专利于2016年11月9日公开了一种硅片清洗甩干机,包括端盖,所述端盖上开有通孔,通孔上部密封连接有进水管,通孔下端密封连接有连接管,所述连接管下端连接有圆盘,所述进水管上连接有进气管,所述圆盘底面布满喷嘴,所述的端盖内设有电加热装置和保温层,所述的机体底部设有排水口。该硅片清洗甩干机集清洗甩干于一体,提高了生产效率,降低了人工成本,而且干燥效果好,提高了产品质量,具有结构简单,不污染环境,易于推广等优点。
技术实现思路
针对现有技术中存在的清洗效果差、干燥效果差的缺陷,本技术公开了一种旋转式多功能硅片清洗机,采用本技术能够提高硅片的清洗效果,同时还能够对清洗产生的污水进行循环再利用,大大降低污水的排放压力,提高企业的经济效益。本技术通过以下技术方案实现上述目的:一种旋转式多功能硅片清洗机,包括机身, ...
【技术保护点】
1.一种旋转式多功能硅片清洗机,包括机身(1),所述机身(1)上设置有清洗室(2),机身(1)顶部铰接有密封盖(3),其特征在于:所述机身(1)底部设置有电机(4),所述清洗室(2)内转动设置有旋转架(5),所述旋转架(5)上固定均匀设置有多个硅片固定架(6);所述旋转架(5)通过转轴(7)与电机(4)相连;所述机身(1)上还设置有进水管(8)、出水管(9)、进气管(10)和排气管(11),所述进水管(8)、出水管(9)、进气管(10)和排气管(11)上均设置有电磁阀(12),所述机身(1)上还设置有与电磁阀(12)相连的控制器(13);所述排气管(11)上还连接有真空泵(14)。
【技术特征摘要】
1.一种旋转式多功能硅片清洗机,包括机身(1),所述机身(1)上设置有清洗室(2),机身(1)顶部铰接有密封盖(3),其特征在于:所述机身(1)底部设置有电机(4),所述清洗室(2)内转动设置有旋转架(5),所述旋转架(5)上固定均匀设置有多个硅片固定架(6);所述旋转架(5)通过转轴(7)与电机(4)相连;所述机身(1)上还设置有进水管(8)、出水管(9)、进气管(10)和排气管(11),所述进水管(8)、出水管(9)、进气管(10)和排气管(11)上均设置有电磁阀(12),所述机身(1)上还设置有与电磁阀(12)相连的控制器(13);所述排气管(11)上还连接有真空泵(14)。2.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机,其特征在于:所述进气管上(10)还连接有加热器(15)。3.根据权利要求1所述的一种旋转式多功能硅片清洗机,其特征在于:所述清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆敏,
申请(专利权)人:四川晶美硅业科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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