一种便于定位的硅片用测试平台制造技术

本申请提供了一种便于定位的硅片用测试平台，属于硅片测试相关技术领域。该便于定位的硅片用测试平台包括固定机构和升降机构，所述压紧件设置于所述放置板顶部且位于所述放置槽外侧，所述压紧件设置有若干个，若干个所述压紧件沿所述放置板周侧分布，所述压紧件包括立柱、延伸板与压杆，所述立柱转动安装于所述放置板顶部，所述延伸板固定于所述立柱顶部，所述压杆螺纹贯穿于所述延伸板，所述升降机构包括框体和套接座，所述框体内底部转动安装有螺杆，所述套接座设置有两个，两个所述套接座分别固定于所述放置板两侧，所述放置板滑动设置于所述框体内侧，所述螺杆与一个所述螺杆螺纹套接，该便于定位的硅片用测试平台便于固定硅片。固定硅片。固定硅片。

【技术实现步骤摘要】
一种便于定位的硅片用测试平台


[0001]本申请涉及硅片测试相关
，具体而言，涉及一种便于定位的硅片用测试平台。

技术介绍

[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，而硅片的电阻率是一个十分关键的参数之一，电阻率是否在合格范围内直接影响了硅片的整体性能，因此需要对硅片的电阻率进行测试，同时需要相应的测试平台来辅助工作。
[0003]当今市场上现有的用于硅片电阻率测试的平台，往往用纸打印了测试模板，移动硅片瞄准测试点以进行测试，但现有的测试平台在移动硅片的过程中易造成硅片的晃动，进而影响到硅片测试的精度。在硅片测试过程中，通常采用测试头进行测试操作，但现有的测试平台往往不便于调节测试头与硅片之间的距离。

技术实现思路

[0004]为了弥补以上不足，本申请提供了一种便于定位的硅片用测试平台，旨在改善上述所提出的问题。
[0005]本申请实施例提供了一种便于定位的硅片用测试平台，包括固定机构和升降机构，所述固定机构包括放置板、压紧件与锁紧件，所述放置板顶部开设有放置槽，所述压紧件设置于所述放置板顶部且位于所述放置槽外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，包括固定机构(100)，所述固定机构(100)包括放置板(110)、压紧件(120)与锁紧件(130)，所述放置板(110)顶部开设有放置槽(111)，所述压紧件(120)设置于所述放置板(110)顶部且位于所述放置槽(111)外侧，所述压紧件(120)设置有若干个，若干个所述压紧件(120)沿所述放置板(110)周侧分布，所述压紧件(120)包括立柱(121)、延伸板(122)与压杆(123)，所述立柱(121)转动安装于所述放置板(110)顶部，所述延伸板(122)固定于所述立柱(121)顶部，所述压杆(123)螺纹贯穿于所述延伸板(122)，所述压杆(123)底部转动连接有压板(1231)，所述锁紧件(130)设置于所述立柱(121)一侧，所述锁紧件(130)与所述放置板(110)顶部活动连接；升降机构(200)，所述升降机构(200)包括框体(210)和套接座(220)，所述框体(210)内底部转动安装有螺杆(211)，所述套接座(220)设置有两个，两个所述套接座(220)分别固定于所述放置板(110)两侧，所述放置板(110)滑动设置于所述框体(210)内侧，所述螺杆(211)与一个所述螺杆(211)螺纹套接。2.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，所述压板(1231)底部设置有橡胶垫，所述压杆(123)顶部设置有把手。3.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，所述锁紧件(130)包括横板(131)和插杆(132)，所述横板(131)设置于所述立柱(121)一侧，所述插杆(132)螺纹贯穿于所述横板(131)，所述放置板(110)顶部且位于所述立柱(121)两侧均开设有插槽(112)，所述插槽(112)可供所述插杆(132)插接。4.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，所述螺杆(211)顶部设置有转手。5.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晋美，
申请(专利权)人：四川晶美硅业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：