一种便于定位的硅片用测试平台制造技术

本申请提供了一种便于定位的硅片用测试平台，属于硅片测试相关技术领域。该便于定位的硅片用测试平台包括固定机构和升降机构，所述压紧件设置于所述放置板顶部且位于所述放置槽外侧，所述压紧件设置有若干个，若干个所述压紧件沿所述放置板周侧分布，所述压紧件包括立柱、延伸板与压杆，所述立柱转动安装于所述放置板顶部，所述延伸板固定于所述立柱顶部，所述压杆螺纹贯穿于所述延伸板，所述升降机构包括框体和套接座，所述框体内底部转动安装有螺杆，所述套接座设置有两个，两个所述套接座分别固定于所述放置板两侧，所述放置板滑动设置于所述框体内侧，所述螺杆与一个所述螺杆螺纹套接，该便于定位的硅片用测试平台便于固定硅片。固定硅片。固定硅片。

【技术实现步骤摘要】
一种便于定位的硅片用测试平台


[0001]本申请涉及硅片测试相关
，具体而言，涉及一种便于定位的硅片用测试平台。

技术介绍

[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，而硅片的电阻率是一个十分关键的参数之一，电阻率是否在合格范围内直接影响了硅片的整体性能，因此需要对硅片的电阻率进行测试，同时需要相应的测试平台来辅助工作。
[0003]当今市场上现有的用于硅片电阻率测试的平台，往往用纸打印了测试模板，移动硅片瞄准测试点以进行测试，但现有的测试平台在移动硅片的过程中易造成硅片的晃动，进而影响到硅片测试的精度。在硅片测试过程中，通常采用测试头进行测试操作，但现有的测试平台往往不便于调节测试头与硅片之间的距离。

技术实现思路

[0004]为了弥补以上不足，本申请提供了一种便于定位的硅片用测试平台，旨在改善上述所提出的问题。
[0005]本申请实施例提供了一种便于定位的硅片用测试平台，包括固定机构和升降机构，所述固定机构包括放置板、压紧件与锁紧件，所述放置板顶部开设有放置槽，所述压紧件设置于所述放置板顶部且位于所述放置槽外侧，所述压紧件设置有若干个，若干个所述压紧件沿所述放置板周侧分布，所述压紧件包括立柱、延伸板与压杆，所述立柱转动安装于所述放置板顶部，所述延伸板固定于所述立柱顶部，所述压杆螺纹贯穿于所述延伸板，所述压杆底部转动连接有压板，所述锁紧件设置于所述立柱一侧，所述锁紧件与所述放置板顶部活动连接，所述升降机构包括框体和套接座，所述框体内底部转动安装有螺杆，所述套接座设置有两个，两个所述套接座分别固定于所述放置板两侧，所述放置板滑动设置于所述框体内侧，所述螺杆与一个所述螺杆螺纹套接。
[0006]在上述实现过程中，在硅片测试前，因为立柱转动安装于放置板顶部，锁紧件设置于立柱一侧，锁紧件与放置板顶部活动连接，所以起初压板位于放置槽上方，立柱通过锁紧件锁紧在放置板顶部，使得立柱不可进行转动，松动锁紧件以使得立柱可进行转动，转动立柱使得压板不位于放置槽上方，此时以便将待测试的硅片放入放置槽内，之后旋动立柱，使得压板重新位于放置槽上方，并通过锁紧件完成立柱转动后所处位置的固定，其中锁紧件与放置板顶部的连接方式可设置为螺栓连接，以便限制立柱的转动，旋动压杆使得压板向下移动，以便对硅片进行压紧，其中压紧件设置有若干个，若干个压紧件沿放置板周侧分布，所以对应的压板同样沿放置板周侧分布，以使得处于放置槽的硅片的四侧均可得的压紧，因为放置板滑动设置于框体内侧，放置板一端的套接座与螺杆螺纹套接，所以根据螺纹传动原理，旋动螺杆以带动套接座竖向移动，进而带动处于放置槽内的硅片竖向移动，其中用于测试硅片的测试模板和测试头为外界的设备，通过硅片竖向移动，以便调节硅片与外
界测试设备之间的距离。
[0007]在一种具体的实施方案中，所述压板底部设置有橡胶垫，所述压杆顶部设置有把手。
[0008]在上述实现过程中，橡胶垫具有防滑性，以便于压板底部贴紧硅片顶部，把手的设置以便转动压杆。
[0009]在一种具体的实施方案中，所述锁紧件包括横板和插杆，所述横板设置于所述立柱一侧，所述插杆螺纹贯穿于所述横板，所述放置板顶部且位于所述立柱两侧均开设有插槽，所述插槽可供所述插杆插接。
[0010]在上述实现过程中，其中立柱两侧的插槽分别位于立柱的侧方和后方，起初插杆位于插槽内，以使得立柱不可进行转动，此时压板位于放置槽上方，使得硅片不便放入放置槽，旋动插杆使其脱离插槽，之后对立柱进行90度的旋动，使得压板不位于放置槽上方，此时插杆将对齐另一个插槽，再次旋动插杆使其进入相对齐的插槽，从而完成压板所处位置的固定。
[0011]在一种具体的实施方案中，所述螺杆顶部设置有转手。
[0012]在上述实现过程中，转手的设置以便转动螺杆。
[0013]在一种具体的实施方案中，所述框体内底部设置有限位杆，一个所述套接座与所述限位杆滑动套接。
[0014]在上述实现过程中，由于两个套接座分别设置在放置板的两侧，由于螺杆转动易带动其外侧的套接座的转动，通过一个套接座与限位杆滑动套接的设置，以使得两个套接座之间的放置板只可进行竖向移动。
[0015]在一种具体的实施方案中，所述放置板内部且位于所述放置槽外侧设置有安装槽，所述安装槽设置有两个，两个所述安装槽分别设置于所述放置板内部的两侧，所述安装槽内部设置有夹持件，所述夹持件包括丝杆、滑板与滑杆，所述丝杆转动安装于所述安装槽内，所述滑板滑动设置于所述安装槽内，所述滑板螺纹套接于所述丝杆，所述滑杆一端与所述滑板相连，所述滑杆另一端滑动贯穿至所述放置槽内部且连接有夹板，所述放置板底部且对应所述安装槽的位置设置有驱动件，所述驱动件与所述丝杆传动连接。
[0016]在上述实现过程中，在硅片放入放置槽后，因为驱动件与丝杆传动连接，丝杆转动安装于安装槽内，所以启动驱动件以带动丝杆转动，因为滑板滑动设置于安装槽内，滑板螺纹套接于丝杆，所以丝杆转动以带动滑板横向移动，使得滑板一端的夹板朝向放置槽内部移动，因为驱动件与安装槽对应设置，依次启动两个驱动件，以使得两侧的夹板相靠近，进而对硅片进行夹持固定，以便进一步对硅片进行固定。
[0017]在一种具体的实施方案中，所述安装槽内部固定有横杆，所述滑板滑动套接于所述横杆。
[0018]在上述实现过程中，由于丝杆转动易带动滑板转动，通过滑板滑动套接于横杆的设置，以使得滑板只可进行横向移动。
[0019]在一种具体的实施方案中，所述驱动件包括转杆和第一斜齿轮与第二斜齿轮，所述转杆一端贯穿至所述安装槽内部且与所述第一斜齿轮相连，所述第二斜齿轮固定套接于所述丝杆，所述第二斜齿轮与所述第一斜齿轮啮合连接。
[0020]在上述实现过程中，转杆转动带动第一斜齿轮转动，进而带动第二斜齿轮内侧的
丝杆转动，以便在放置板外部驱动丝杆转动。
[0021]在一种具体的实施方案中，所述放置板内部且对应所述转杆外部设置有轴承，所述转杆外圈与轴承内圈相固定。
[0022]在上述实现过程中，通过转杆外圈与轴承内圈相固定的设置，以提高转杆在放置板内部转动过程的稳定性。
[0023]在一种具体的实施方案中，所述夹板为弧形形状，所述夹板内圆弧面设置有防滑垫。
[0024]在上述实现过程中，由于硅片多呈圆片状，通过夹板弧形形状的设计，以便夹板的内圆弧面贴紧硅片的外表面，防滑垫的设置，以便提高夹板内圆弧面与硅片外表面之间的摩擦力。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0026]图1是本申请实施方式提供的一种便于定位的硅片用测试平台的结构示意图；
[0027]图2为本申请实施方式提供的升降机构的结构示意本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，包括固定机构(100)，所述固定机构(100)包括放置板(110)、压紧件(120)与锁紧件(130)，所述放置板(110)顶部开设有放置槽(111)，所述压紧件(120)设置于所述放置板(110)顶部且位于所述放置槽(111)外侧，所述压紧件(120)设置有若干个，若干个所述压紧件(120)沿所述放置板(110)周侧分布，所述压紧件(120)包括立柱(121)、延伸板(122)与压杆(123)，所述立柱(121)转动安装于所述放置板(110)顶部，所述延伸板(122)固定于所述立柱(121)顶部，所述压杆(123)螺纹贯穿于所述延伸板(122)，所述压杆(123)底部转动连接有压板(1231)，所述锁紧件(130)设置于所述立柱(121)一侧，所述锁紧件(130)与所述放置板(110)顶部活动连接；升降机构(200)，所述升降机构(200)包括框体(210)和套接座(220)，所述框体(210)内底部转动安装有螺杆(211)，所述套接座(220)设置有两个，两个所述套接座(220)分别固定于所述放置板(110)两侧，所述放置板(110)滑动设置于所述框体(210)内侧，所述螺杆(211)与一个所述螺杆(211)螺纹套接。2.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，所述压板(1231)底部设置有橡胶垫，所述压杆(123)顶部设置有把手。3.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，所述锁紧件(130)包括横板(131)和插杆(132)，所述横板(131)设置于所述立柱(121)一侧，所述插杆(132)螺纹贯穿于所述横板(131)，所述放置板(110)顶部且位于所述立柱(121)两侧均开设有插槽(112)，所述插槽(112)可供所述插杆(132)插接。4.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，所述螺杆(211)顶部设置有转手。5.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晋美，
申请(专利权)人：四川晶美硅业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：