一种硅片收集装置制造方法及图纸

技术编号:32108372 阅读:8 留言:0更新日期:2022-01-29 18:50
本申请提供了一种硅片收集装置,属于硅片收集技术领域。该一种硅片收集装置包括壳体组件、升降调节组件、储存组件以及定位组件。所述箱门转动连接在所述箱体的一侧,所述缓冲底板连接在所述箱体的内部下方。所述轴杆和所述螺纹杆设置在所述箱体的内部,所述轴杆与所述电机的输出端连接,所述连接板连接在所述第一收集夹板和所述第二收集夹板之间的下方,所述第一支撑板和所述第二支撑板滑动连接在所述连接板的上表面,有利于对箱子底部的硅片摆放,降低了对硅片的外边造成磕碰的概率,提高了硅片的表面质量,有利于对硅片进行单独摆放,降低了硅片损坏的概率,有利于满足对不同尺寸的硅片进行单独固定。硅片进行单独固定。硅片进行单独固定。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片收集装置


[0001]本申请涉及硅片收集领域,具体而言,涉及一种硅片收集装置。

技术介绍

[0002]硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片,直径有6英寸、8英寸、12英寸等规格,主要用来生产集成电路。
[0003]目前,在对硅片进行转运收集的过程中,由于箱子较高存在不方便对箱子的底部进行硅片摆放,导致摆放的过程中容易对硅片的外边造成磕碰,影响了硅片的表面质量,同时目前的收集转运装置不能够对硅片进行单独摆放,大多都是直接堆放在一起,容易造成硅片之间相互挤压,增加了硅片损坏的概率,以及存在不能够对不同尺寸的硅片进行单独固定,如何专利技术一种硅片收集装置来改善这些问题,成为了当前需要解决的问题。

技术实现思路

[0004]为了弥补以上不足,本申请提供了一种硅片收集装置,旨在改善不方便对箱子的底部进行硅片摆放,导致摆放的过程中容易对硅片的外边造成磕碰,影响了硅片的表面质量,同时目前的收集转运装置不能够对硅片进行单独摆放,增加了硅片损坏的概率,以及不能够对不同尺寸的硅片进行单独固定的问题。
[0005]本申请实施例提供了一种硅片收集装置包括壳体组件、升降调节组件、储存组件以及定位组件。
[0006]所述壳体组件包括箱体、箱门、固定板以及缓冲底板,所述箱门转动连接在所述箱体的一侧,所述固定板连接在所述箱门与所述箱门之间,所述缓冲底板连接在所述箱体的内部下方。
[0007]所述升降调节组件包括连接框、电机、轴杆、螺纹杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮以及第一螺纹套,所述连接框固定在所述箱体的内部两侧,所述电机固定在所述箱体的外部两侧,所述轴杆和所述螺纹杆设置在所述箱体的内部,所述轴杆与所述电机的输出端连接,所述螺纹杆的一端与所述连接框转动连接,所述第一锥齿轮固定在所述轴杆上,所述第二锥齿轮固定在所述螺纹杆的另一端,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合连接,所述第一螺纹套螺纹套接在所述螺纹杆上。
[0008]所述储存组件包括隔板、第一收集夹板、第二收集夹板、连接板、第一支撑板、第二支撑板以及缓冲夹块,所述隔板连接在所述缓冲底板的上方,所述第一收集夹板与所述隔板之间滑动连接,所述第二收集夹板的一侧与所述第一螺纹套固定连接,所述第二收集夹板和所述第一收集夹板上开设有夹槽,所述连接板连接在所述第一收集夹板和所述第二收集夹板之间的下方,所述第一支撑板和所述第二支撑板滑动连接在所述连接板的上表面,所述第一支撑板的一侧滑动连接有滑动连接块,所述缓冲夹块分别连接在所述第一支撑板和所述第二支撑板的一侧。
[0009]所述定位组件包括调节杆、固定块以及螺杆,所述调节杆连接在所述第一支撑板
和所述第二支撑板之间,所述固定块固定在所述箱体的上方,所述螺杆与所述固定块之间螺纹连接,所述螺杆的一端与所述滑动连接块转动连接。
[0010]在上述实现过程中,通过启动电机带动轴杆进行转动,从而带动第一锥齿轮进行转动,第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合连接从而使得螺纹杆进行转动,第一螺纹套螺纹套接在螺纹杆上,从而使得第一螺纹套相对于螺纹杆进行移动,从而带动第二收集夹板进行移动,第二收集夹板与第一收集夹板进行连接,从而使得第一收集夹板与第二收集夹板一起移动,有利于将第一收集夹板和第二收集夹板的底部升到箱体的上方,通过缓冲夹块与夹槽的相互配合实现对硅片进行固定,有利于对底部的硅片进行放置,有利于降低对硅片造成损坏的概率,通过调节杆的长度进行调节,从而有利于对第一支撑板和第二支撑板之间的距离进行调节,当转动螺杆带动第一支撑板进行移动时,通过设置调节杆能够分别对第一支撑板和第二支撑板进行单独调节。从而实现第二收集夹板和第一支撑板以及第一收集夹板和第二支撑板对不同尺寸的硅片进行单独固定,有利于对箱子底部的硅片摆放,降低了对硅片的外边造成磕碰的概率,提高了硅片的表面质量,有利于对硅片进行单独摆放,降低了硅片损坏的概率,有利于满足对不同尺寸的硅片进行单独固定。
[0011]在一种具体的实施方案中,所述箱门上设置有拉手,所述箱门与所述固定板之间连接有锁扣。
[0012]在上述实现过程中,设置拉手方便将箱门打开,设置锁扣有利于对箱门和固定板进行固定。
[0013]在一种具体的实施方案中,所述箱体的底部连接有移动轮,所述箱体的一侧连接有扶手。
[0014]在上述实现过程中,设置移动轮有利于对装置进行移动,通过扶手与移动轮相互配合,提高了装置的灵活性。
[0015]在一种具体的实施方案中,所述缓冲底板包括连接杆、第一弹簧以及板体,所述连接杆连接在所述箱体的内部下方,所述板体固定在所述连接杆的上方,所述第一弹簧缠绕在所述连接杆上。
[0016]在上述实现过程中,设置连接杆和第一弹簧能够对板体提供支撑和缓冲,有利于减少装置移动时对板体造成的晃动。
[0017]在一种具体的实施方案中,所述螺纹杆上连接有限位板,所述限位板固定在所述螺纹杆的两端。
[0018]在上述实现过程中,设置限位板有利于对第一螺纹套移动的位置进行限定,从而能够对第一收集夹板、第二收集夹板、第一支撑板以及第二支撑板的移动高度进行限定。
[0019]在一种具体的实施方案中,所述隔板的两侧开设有滑槽,所述第一收集夹板的一侧连接有滑块,所述滑块滑动连接在所述滑槽内。
[0020]在上述实现过程中,开设滑槽和设置滑块有利于第一收集夹板随着第二收集夹板一起进行移动,有利于提高第一收集夹板移动的稳定性。
[0021]在一种具体的实施方案中,所述缓冲夹块包括第二弹簧以及夹套,所述第二弹簧分别连接在所述第一支撑板和所述第二支撑板的一侧,所述夹套与所述第二弹簧连接。
[0022]在上述实现过程中,通过夹套与夹槽的相互配合实现对硅片进行固定,第二弹簧能够提供缓冲,有利于对硅片进行放置,有利于降低对硅片造成损坏的概率。
[0023]在一种具体的实施方案中,所述调节杆包括第一杆体、第二杆体以及调节螺栓,所述第一杆体的一端与所述第一支撑板连接,所述第二杆体的一端与所述第二支撑板连接,所述第二杆体与所述第一杆体之间滑动连接,所述调节螺栓连接在所述第一杆体上。
[0024]在上述实现过程中,通过第一杆体和第二杆体之间滑动连接从而便于对调节杆的长度进行调节,从而有利于对第一支撑板和第二支撑板之间的距离进行调节,当转动螺杆带动第一支撑板进行移动时,通过设置调节杆能够分别对第一支撑板和第二支撑板进行单独调节。
[0025]在一种具体的实施方案中,所述固定块上连接有第二螺纹套,所述螺杆与所述第二螺纹套之间螺纹连接。
[0026]在上述实现过程中,第二螺纹套与固定块连通,螺杆通过第二螺纹套与固定块之间进行螺纹连接。
[0027]在一种具体的实施方案中,所述螺杆上连接有旋转手轮,所述旋转手轮固定在所述螺杆的一端。
[0028]在上述实现过程中,设置旋转手轮有利于对螺杆进行旋转,有利于提高螺杆转动的灵活性。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案,下面将本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片收集装置,其特征在于,包括壳体组件(100),所述壳体组件(100)包括箱体(110)、箱门(120)、固定板(130)以及缓冲底板(160),所述箱门(120)转动连接在所述箱体(110)的一侧,所述固定板(130)连接在所述箱门(120)与所述箱门(120)之间,所述缓冲底板(160)连接在所述箱体(110)的内部下方;升降调节组件(200),所述升降调节组件(200)包括连接框(210)、电机(220)、轴杆(230)、螺纹杆(240)、第一锥齿轮(250)、第二锥齿轮(260)以及第一螺纹套(270),所述连接框(210)固定在所述箱体(110)的内部两侧,所述电机(220)固定在所述箱体(110)的外部两侧,所述轴杆(230)和所述螺纹杆(240)设置在所述箱体(110)的内部,所述轴杆(230)与所述电机(220)的输出端连接,所述螺纹杆(240)的一端与所述连接框(210)转动连接,所述第一锥齿轮(250)固定在所述轴杆(230)上,所述第二锥齿轮(260)固定在所述螺纹杆(240)的另一端,所述第二锥齿轮(260)与所述第一锥齿轮(250)啮合连接,所述第一螺纹套(270)螺纹套接在所述螺纹杆(240)上;储存组件(300),所述储存组件(300)包括隔板(310)、第一收集夹板(320)、第二收集夹板(330)、连接板(350)、第一支撑板(360)、第二支撑板(370)以及缓冲夹块(380),所述隔板(310)连接在所述缓冲底板(160)的上方,所述第一收集夹板(320)与所述隔板(310)之间滑动连接,所述第二收集夹板(330)的一侧与所述第一螺纹套(270)固定连接,所述第二收集夹板(330)和所述第一收集夹板(320)上开设有夹槽(340),所述连接板(350)连接在所述第一收集夹板(320)和所述第二收集夹板(330)之间的下方,所述第一支撑板(360)和所述第二支撑板(370)滑动连接在所述连接板(350)的上表面,所述第一支撑板(360)的一侧滑动连接有滑动连接块(362),所述缓冲夹块(380)分别连接在所述第一支撑板(360)和所述第二支撑板(370)的一侧;定位组件(400),所述定位组件(400)包括调节杆(410)、固定块(420)以及螺杆(430),所述调节杆(410)连接在所述第一支撑板(360)和所述第二支撑板(370)之间,所述固定块(420)固定在所述箱体(110...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚大成
申请(专利权)人:四川晶美硅业科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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