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一种旋转式多功能硅片清洗机制造技术
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下载一种旋转式多功能硅片清洗机的技术资料
文档序号:20771768
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本实用新型公开了一种旋转式多功能硅片清洗机,包括机身,所述机身上设置有清洗室,清洗室内设置有与旋转架,所述旋转架上设置有硅片固定架,所述机身上还设置有进水管、出水管、进气管和排气管,本实用新型通过进水管将清洗液注入到清洗室内,再通过电机带动...
该专利属于四川晶美硅业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川晶美硅业科技有限公司授权不得商用。
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