【技术实现步骤摘要】
一种基于步进器的晶片装载机
本技术涉及晶片装载设备
,具体涉及一种基于步进器的晶片装载机。
技术介绍
步进器是通过切换步进触点的方式将输入脉冲数转换成步进信号的器件。一般用电磁线圈通电驱动步进触点和电磁线圈断电驱动步进触点两种。多用于输入脉冲的计数、插孔操纵台转换回路、时序控制回路和多点巡回检测切换回路。步进器内的晶片装载机是先通过机械臂从片盒中把晶片取出,然后送到边缘预对准方向,晶片预对准部进行边缘寻边完成后,再通过装载机滑板把晶片搬送到晶片装载台上,而现有的晶片装载机在边缘对准时精度往往不够高,装夹不够稳定,影响到后面的工序,降低了使用性。
技术实现思路
本技术目的是提供一种基于步进器的晶片装载机,提供一种对准精度高和装夹稳定的晶片装载机。为了实现以上目的,本技术采用的技术方案为:一种基于步进器的晶片装载机,包括机械臂、晶片预对准部、装载机滑板、装载台和晶圆,所述机械臂一侧远离所述装载机滑板固定连接有输入端以及位于所述输入端上方的输出端,所述机械臂另一侧同时连接有上导轨和下导轨,所述上导轨和所述下导轨之间设有与所述装载台相连接的丝杠,所述机械臂下方设有位于所述丝杠和所述晶片预对准部之间的单元寻边,所述装载台顶端一侧通过装载机滑板连接有所述晶圆,所述装载台底部固定连接有位于所述丝杠下方的信号转换盒,所述装载机滑板上设有与收纳口相连接的硅片和碳化硅,所述硅片上的光线穿过所述硅片上的边缘处并延伸至发射口,所述碳化硅上的光线穿过所述碳化硅内部,分布成双层光线,第一层光线直接按照反射面从所述碳化硅顶部表面发射出,第二层光线垂直进入到所述碳化硅内壁底部并按照以第一层 ...
【技术保护点】
1.一种基于步进器的晶片装载机,其特征在于,包括机械臂(1)、晶片预对准部(2)、装载机滑板(3)、装载台(4)和晶圆(5),所述机械臂(1)一侧远离所述装载机滑板(3)固定连接有输入端(6)以及位于所述输入端(6)上方的输出端(7),所述机械臂(1)另一侧同时连接有上导轨(8)和下导轨(9),所述上导轨(8)和所述下导轨(9)之间设有与所述装载台(4)相连接的丝杠(10),所述机械臂(1)下方设有位于所述丝杠(10)和所述晶片预对准部(2)之间的单元寻边(11),所述装载台(4)顶端一侧通过装载机滑板(3)连接有所述晶圆(5),所述装载台(4)底部固定连接有位于所述丝杠(10)下方的信号转换盒(12),所述装载机滑板(3)上设有与收纳口相连接的硅片(13)和碳化硅(14),所述硅片(13)上的光线穿过所述硅片(13)上的边缘处并延伸至发射口,所述碳化硅(14)上的光线穿过所述碳化硅(14)内部,分布成双层光线,第一层光线直接按照反射面从所述碳化硅(14)顶部表面发射出,第二层光线垂直进入到所述碳化硅内壁底部并按照以第一层光线的相同角度反射出所述碳化硅(14)内部。
【技术特征摘要】
1.一种基于步进器的晶片装载机,其特征在于,包括机械臂(1)、晶片预对准部(2)、装载机滑板(3)、装载台(4)和晶圆(5),所述机械臂(1)一侧远离所述装载机滑板(3)固定连接有输入端(6)以及位于所述输入端(6)上方的输出端(7),所述机械臂(1)另一侧同时连接有上导轨(8)和下导轨(9),所述上导轨(8)和所述下导轨(9)之间设有与所述装载台(4)相连接的丝杠(10),所述机械臂(1)下方设有位于所述丝杠(10)和所述晶片预对准部(2)之间的单元寻边(11),所述装载台(4)顶端一侧通过装载机滑板(3)连接有所述晶圆(5),所述装载台(4)底部固定连接有位于所述丝杠(10)下方的信号转换盒(12),所述装载机滑板(3)上设有与收纳口相连接的硅片(13)和碳化硅(14),所述硅片(13)上的光线穿过所述硅片(13)上的边缘处并延伸至发...
【专利技术属性】
技术研发人员:周杰,张琪,
申请(专利权)人:安徽睿芯半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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