用于衬底容器的闩锁机构制造技术

本发明专利技术揭示一种衬底容器，其利用闩锁机构中由旋转凸轮致动的摇臂连杆或线性凸轮布置。所述摇臂连杆或线性凸轮被安装到所述衬底容器的门的内部面板，且可被安置靠近所述内部面板的边缘部分。所述摇臂连杆或线性凸轮可经配置以在所述衬底容器的外壳上施加轴向力分量，以将所述门设置抵靠密封部件。所述摇臂连杆或线性凸轮还将所述轴向闩锁力传递到所述门以减少力到所述凸轮的传递。所述摇臂连杆或线性凸轮可经布置以当接合所述闩锁机构时，在径向向外方向上传递轴向力，以防止回推于所述旋转凸轮上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于衬底容器的闩锁机构
本申请案大体上涉及衬底容器，且更具体地涉及用于衬底容器的闩锁机构。
技术介绍
衬底容器(例如标准机械接口(SMIF)盒、前开式运输盒(FOSB)及前开式晶片传送盒(FOUP))通常包含安装到容器或壳体以使容器封闭的门。所述门通常配备有凸轮致动闩锁机构，其致动安置在所述门中的闩锁以接合所述容器上的门架。密封件安置在所述门与所述容器之间、通常安装到所述门或所述容器，以隔离界定在封闭容器内的微观环境。由密封部件提供的密封特别是在运输及搬运期间且最特别是在冲击事件期间(例如，当衬底容器意外掉落或以其它方式震动时)遭遇裂损。阻止密封件在运输及搬运期间裂损的衬底容器将是受欢迎的。
技术实现思路
本专利技术揭示了一种具有凸轮致动的凸轮机构的衬底容器，当所述衬底容器的门闩锁到所述衬底容器的外壳时，所述凸轮机构在所述门与所述外壳之间施加密封力，并同时将力传递远离所述凸轮。因此，减少归因于运输及搬运期间诱发的意外力引起的密封件裂损及闩锁机构意外打开。所述闩锁机构包含完成所述力传递的摇臂连杆。所述摇臂连杆安装到所述衬底容器的门的内部面板且可安置靠近所述内部面板的边缘部分。所述摇臂连杆经配置以在所述衬底容器的外壳上施加轴向力分量以将所述门设置抵靠密封部件。所述摇臂连杆还将轴向闩锁力(包含所述门上在运输及搬运期间所遭遇的轴向力)传递到所述门以减少力到所述凸轮的传递。在结构上，揭示了根据本专利技术的各个实施例的衬底容器，其包含具有围绕中心轴界定开口的框架的外壳。门经配置以安装在所述门架的所述开口内且包含内部面板，当所述门安装到所述门架时所述内部面板与所述外壳协作以界定所述衬底容器的内部腔室，所述内部面板界定周边。闩锁机构容置在所述门内且包含可围绕凸轮轴旋转的旋转凸轮；包含凸轮从动件及闩锁尖端的闩锁板，所述凸轮从动件耦合到所述旋转凸轮；耦合到所述闩锁板靠近所述闩锁尖端的摇臂连杆，所述摇臂连杆包含耦合到所述门的所述内部面板的第一枢轴及耦合到所述闩锁板的第二枢轴。所述闩锁机构可从其中所述闩锁尖端从所述门架径向插入的缩回配置延伸到其中所述闩锁尖端延伸到所述门架中的延伸配置。所述摇臂连杆将所述闩锁尖端在第一方向及第二方向上旋转以将所述闩锁尖端与所述外壳的所述门架接合的构件，所述第一方向远离所述内部面板且平行于所述中心轴，所述第二方向从所述凸轮轴径向向外。在一些实施例中，所述闩锁尖端在所述外壳的所述框架上施加平行于所述中心轴的轴向力以将所述门设置在所述框架内。在一个实施例中，平行于所述中心轴的所述力的至少80％经由所述摇臂连杆传递到所述门的所述内部面板。在一些实施例中，平行于所述中心轴的所述力的至少90％经由所述摇臂连接传递到所述门的所述内部面板。在一些实施例中，所述摇臂连杆界定穿过所述第一枢轴的中心及所述第二枢轴的中心的摇臂轴，当所述闩锁机构在所述延伸配置中时所述摇臂轴是在垂直于所述门面板的10度内。当所述闩锁机构在所述延伸配置中时所述第二枢轴可相对于所述第一枢轴朝所述内部面板的边缘部分倾斜，所述边缘部分是所述内部面板的所述周边处的多个边缘部分中的最靠近边缘部分。在一些实施例中，所述门开口的中心轴与所述凸轮轴基本上同心。在一些实施例中，所述衬底容器是底部开口盒，例如光罩托架。在一些实施例中，所述衬底容器是前开式容器。附图说明图1是处于缩回配置中的常规闩锁机构的截面图。图2是处于延伸配置中的图1的常规闩锁机构的截面图。图3是根据本专利技术的实施例的衬底容器的底部透视、分解视图及闩锁机构的部分剖视图。图4图是图3的剖视图的放大图。图5是根据本专利技术的实施例的图3的衬底容器的底部透视、截面图，其中闩锁机构处于缩回配置中且已移除了外部门面板。图6图是图5的放大部分视图。图7是根据本专利技术的实施例的图3的衬底容器的部分底部透视、截面图，其中闩锁机构处于延伸配置中且已移除了外部门面板。图8是根据本专利技术的实施例的图3的衬底容器的底部平面图，其中闩锁机构处于缩回配置中且已移除了外部门面板。图9是根据本专利技术的实施例的图3的衬底容器的底部平面图，其中闩锁机构处于延伸配置中且已移除了外部门面板。图10是根据本专利技术的实施例的图3的衬底容器的部分截面正视图，其中闩锁机构处于缩回配置中。图11图是图10的放大部分视图。图12是根据本专利技术的实施例的图3的衬底容器的部分截面正视图，其中闩锁机构处于延伸配置中。图13图是图12的放大部分视图。图14是根据本专利技术的实施例的锁定板的自由体图。图15是根据本专利技术的实施例的图9的放大、部分剖视图。图16是根据本专利技术的实施例的利用具有摇臂连杆的闩锁机构的前开式晶片传送盒(FOUP)的透视、剖视图。图17是根据本专利技术的实施例的闩锁尖端的放大、部分截面正视图，其中经修改滑动斜坡偏转器处于缩回配置中。图18是根据本专利技术的实施例的闩锁尖端的放大、部分截面正视图，其中图17的经修改滑动斜坡偏转器处于延伸配置中。具体实施方式参考图1及2，描绘了利用常规闩锁机构12的衬底容器10。闩锁机构12安装在门14内，所述门安置在外壳18的门架16内以界定衬底容器10的内部腔室19。常规闩锁机构12包含具有近端21及远程22的闩锁臂20、耦合到闩锁臂20的近端21的凸轮从动件23，及接合凸轮从动件22以致动闩锁臂20的旋转凸轮24。滑动斜坡偏转器26安装到闩锁臂20且接合安装到门14的互补滑动斜坡偏转器28。滑动斜坡偏转器26及28经布置使得当闩锁臂20从缩回配置(图1)致动为延伸配置(图2)时，闩锁臂20的远程22偏转远离内部腔室19以接合外壳18的门架16。通过此机构，门14朝内部腔室19促动以将门14设置在门架16内。通常，旋转凸轮24是由被动夹紧布置(未描绘)(例如旋转凸轮24上接合锚固到门14的固定柱的棘爪)维持在延伸配置中。作用于闩锁机构12上的主力是由旋转凸轮24施加在凸轮从动件23上的致动力F1、作用于闩锁臂20的远程22上的轴向力F2，及法向于滑动斜坡偏转器26及28之间的接口作用的斜坡力F3。斜坡力F3包含基本上法向于门14的设置方向29的轴向分量F3a及垂直于轴向分量F3a作用的横向分量F3l。斜坡力F3的横向分量F3l以大体上与致动力F1相反的方向作用。过多的斜坡力F3可实际上导致闩锁机构12反向致动。此类过多斜坡力F3可例如在除轴向力F2之外还导致冲击负荷的冲击事件期间遭遇到。额外的冲击负荷导致斜坡负荷F3及所附横向分量F31瞬间产生突刺。如果足够大，那么横向分量F31中的瞬间突刺可使旋转凸轮24震动而脱离夹紧布置，借此释放闩锁机构。此外，斜坡力F3的斜坡轴向分量F3a还促成门变形，这可不利地影响门14与外壳18之间的密封布置。本专利技术的各个实施例防止产生横向分量F31及可导致此类力的所附反向致动。此外，还解决由轴向分量F3a引起的变形。下文描述此类实施例。参考图3到5，本专利技术的实施例中描绘衬底容器30。衬底容器30包含具有界定开口36的门架34的外壳32。门架34包含界定多个插孔42的周边部分38。门44经配置以设置在门架34内。门44包含内部面板46及外部面板48。内部面板46包含围绕中心轴54界定连续周边52的边缘部分50。在一个实施例中，内部面板46及外部面板48是由安置在内部面板46的周边52处的周边壁5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底容器，其包括：外壳，其包含围绕中心轴界定开口的门架；门，其经配置以安装在所述门架的所述开口内且包含内部面板，当所述门被安装到所述门架时，所述内部面板与所述外壳协作以界定所述衬底容器的内部腔室，所述内部面板界定周边；及闩锁机构，其被容置在所述门内，其包含：旋转凸轮，其可围绕凸轮轴旋转；闩锁板，其包含凸轮随动件及闩锁尖端，所述凸轮随动件耦合到所述旋转凸轮；摇臂连杆，其耦合到靠近所述闩锁尖端的所述闩锁板，所述摇臂连杆包含耦合到所述门的所述内部面板的第一枢轴及耦合到所述闩锁板的第二枢轴，所述闩锁机构可从其中所述闩锁尖端从所述门架径向插入的缩回配置延伸到其中所述闩锁尖端延伸到所述门架中的延伸配置，所述摇臂连杆将所述闩锁尖端以远离所述内部面板且平行于所述中心轴的第一方向及以从所述凸轮轴径向向外的第二方向旋转，以将所述闩锁尖端与所述外壳的所述门架接合。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.26 US 62/341,9961.一种衬底容器，其包括：外壳，其包含围绕中心轴界定开口的门架；门，其经配置以安装在所述门架的所述开口内且包含内部面板，当所述门被安装到所述门架时，所述内部面板与所述外壳协作以界定所述衬底容器的内部腔室，所述内部面板界定周边；及闩锁机构，其被容置在所述门内，其包含：旋转凸轮，其可围绕凸轮轴旋转；闩锁板，其包含凸轮随动件及闩锁尖端，所述凸轮随动件耦合到所述旋转凸轮；摇臂连杆，其耦合到靠近所述闩锁尖端的所述闩锁板，所述摇臂连杆包含耦合到所述门的所述内部面板的第一枢轴及耦合到所述闩锁板的第二枢轴，所述闩锁机构可从其中所述闩锁尖端从所述门架径向插入的缩回配置延伸到其中所述闩锁尖端延伸到所述门架中的延伸配置，所述摇臂连杆将所述闩锁尖端以远离所述内部面板且平行于所述中心轴的第一方向及以从所述凸轮轴径向向外的第二方向旋转，以将所述闩锁尖端与所述外壳的所述门架接合。2.根据权利要求1所述的衬底容器，其中：所述闩锁尖端在所述外壳的所述门架上施加平行于所述中心轴的轴向力以将所述门设置在所述门架内。3.根据权利要求2所述的衬底容器，其中由所述闩锁板施加在所述旋转凸轮上的力小于由所述闩锁尖端施加在所述外壳的所述门架上的所述轴向力的20％。4.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述摇臂连杆界定穿过所述第一枢轴的中心及所述第二枢轴的中心的摇臂轴，当所述闩锁机构在所述延伸配置中时，所述摇臂轴是在垂直于所述门面板的10度内。5.根据权利要求4所述的衬底容器，其中当所述闩锁机构在所述延伸配置中时，所述第二枢轴相对于所述第一枢轴朝所述内部面板的边缘部分倾斜，所述边缘部分是所述内部面板的所述周边处的多个边缘部分中的最靠近边缘部分。6.根据权利要求1所述的衬底容器，其包括有间隙地被安置在所述门与所述门架之间的密封部件，其中所述第一枢轴与所述密封部件的部分基本上是轴向对准。7.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述中心轴与所述凸轮轴基本上是同心。8.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述衬底容器是底部开口盒。9.根据权利要求7所述的衬底容器，其中所述底部开口盒是光罩托架。10.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述闩锁板界定V形状。11.一种衬底容器，其包括：外壳，其包含围绕中心轴界定开口的门架；门，其经配置以安装在所述门架的所述开口内且包含内部面板，当所述门被安装到所述门架时，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·V·拉施克，J·T·斯蒂芬斯，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国,US