一种用于光刻机工艺的自动对焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，涉及xxx技术领域。本实用新型专利技术包括旋转底座，设于旋转底座上的多个升降杆，以及设于升降杆上并用于对PCB板位于光刻机内部进行调节角度对焦曝光的调节机构；调节机构包括设于升降杆顶端的调节组件，以及设于调节组件上并用于固定PCB板的承载板。本通过调节对不PCB的角度进行调节进行对焦，同时可根据不同类型的PCB板进行不同角度的调节对焦，即可依次进行曝光、收取和放入待曝光的PCB板，提高工作效率。工作效率。工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机工艺的自动对焦装置


[0001]本技术属于对焦装置
，特别是涉及一种用于光刻机工艺的自动对焦装置。

技术介绍

[0002]PCB板是电子元器件的支撑体，是电子元器件电气连接的载体，在对PCB 板进行加工的过程中，需要使用光刻机进行曝光，光刻机在对PCB板进行曝光时，需要调节PCB板的成像焦距，提高PCB板的光刻成像质量和效率，此过程常常会使用对焦装置行调节。
[0003]但是，现有的升降平台在使用的过程中一次只可对一块PCB板进行放置，且每次更换新的PCB板后便需要重新进行高度调节，且无法对PCB板进行偏转角度调节，降低了工作效率，为此，我们提出一种用于光刻机工艺的自动对焦装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，解决了上述技术背景中的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]本技术为一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，包括旋转底座，设于所述旋转底座上的多个升降杆，以及设于所述升降杆上并用对PCB板位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，其特征在于：包括旋转底座(1)，设于所述旋转底座(1)上的多个升降杆(2)，以及设于所述升降杆(2)上并用于对PCB板位于光刻机内部进行调节角度对焦曝光的调节机构；所述调节机构包括设于所述升降杆(2)顶端的调节组件，以及设于所述调节组件上并用于固定PCB板的承载板(14)；所述调节组件包括设于所述升降杆(2)顶端的导轨(22)，滑动连接在所述导轨(22)顶部滑槽(20)内部的滑块(21)，一端连接在所述滑块(21)上的环形滑杆(15)，套接在所述环形滑杆(15)上的滑套(16)，设于所述导轨(22)底部的转动座(19)，连接在所述转动座(19)内部的转动球(18)，以及连接在所述转动球(18)和滑套(16)之间的连杆(17)；所述承载板(14)设于所述滑套(16)上。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，其特征在于，所述旋转底座(1)包括底座(4)，转动连接在所述底座(4)上的涡轮(6)，与所述涡轮(6)啮合的蜗杆(7)，设于所述底...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，符友银，李俊毅，
申请(专利权)人：安徽睿芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：