一种掩膜版自动传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型专利技术结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。位置切换。位置切换。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版自动传输装置


[0001]本技术涉及掩膜版
，尤其涉及一种掩膜版自动传输装置。

技术介绍

[0002]光刻掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
[0003]待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
[0004]掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如集成电路、平板显示器、印刷电路板、微机电系统等；在实际生产过程中，掩膜版的大小不一，因此一台可以灵活调节的抓取装置实现掩膜版的抓取与转运。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种掩膜版自动传输装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板(1)，其特征在于，两个端板(1)之间分别通过限位杆(2)和螺杆(4)连接，限位杆(2)上滑动套接有滑座(3)，滑座(3)与螺杆(4)螺纹连接，螺杆(4)的端部与安装在端板(1)上的驱动电机输出端连接，滑座(3)的端部连接有安装板(5)，安装板(5)远离滑座(3)的一侧设有两个平行设置的安装杆(8)，两个安装杆(8)由设在安装板(5)上的驱动装置驱动，实现间距调节，安装杆(8)上安装有对称分布的电动吸盘(9)。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版自动传输装置，其特征在于，所述驱动装置包括安装在安装板(5)上的伺服电机，伺服电机输出端连接有驱动齿轮(6)，驱动齿轮(6)的两侧均啮...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，李俊毅，符友银，
申请(专利权)人：安徽睿芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：