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本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置,包括两个对称设置的端板,两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接,限位杆上滑动套接有滑座,滑座与螺杆螺纹连接,螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接,滑座的端部连接有安装板,安装板远离滑座的一侧设有...该专利属于安徽睿芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽睿芯半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置,包括两个对称设置的端板,两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接,限位杆上滑动套接有滑座,滑座与螺杆螺纹连接,螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接,滑座的端部连接有安装板,安装板远离滑座的一侧设有...