本发明专利技术涉及一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其包括底板、支板、搬运组件和检测组件，所述底板上固定设置有所述支板，所述支板上固定开设有第一滑槽和第二滑槽，所述搬运组件滑动设置在所述第二滑槽中，所述第一滑槽中摆动设置有所述检测组件，所述支板的一侧固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机推动搬运组件移动的同时带动所述检测组件摆动,本装置通过第一伺服电机推动推板从而可以推动搬运组件搬运门板，在第一伺服电机推动推板的同时，推板对齿条进行推动从而通过齿轮来传动给检测组件，通过连杆传动最终实现摆杆带动检测器在门板搬运的同时进行多次检测，保证检测数据准确，无需后期再次对门板进行单独检测。测。测。
【技术实现步骤摘要】
一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具
[0001]本专利技术涉及带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具
，具体是一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具。
技术介绍
[0002]在门板生产制造过程中，需要对门板进行搬运和检测，为了提高搬运效率，通过使用搬运机对门板进行搬运，但是在搬运前期需要人工将门板通过绳索或者卡扣进行固定，固定过程还需要人工搬运门板，工作人员搬运强度大；在对门板故障检测时，需要将门板抬起，且需要多次检测来保证门板质量。
[0003]因此，有必要提供一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
[0004]（1）要解决的技术问题本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，以解决上述技术问题。
[0005]（2）技术方案为了实现本专利技术的目的，本专利技术所采用的技术方案为：一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其包括底板、支板、搬运组件和检测组件，所述底板上固定设置有所述支板，所述支板上固定开设有第一滑槽和第二滑槽，所述搬运组件滑动设置在所述第二滑槽中，所述第一滑槽中摆动设置有所述检测组件，所述支板的一侧固定设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机推动搬运组件移动的同时带动所述检测组件摆动。
[0006]进一步，作为优选，所述支板的一侧固定设置有第一导槽，所述第一伺服电机的输出端固定连接有推板，所述推板滑动设置在所述第一导槽中，所述推板的上端固定连接所述搬运组件，所述推板的下端固定连接有齿条，所述支板上位于所述齿条上下侧固定设置有导轨，所述齿条驱动所述检测组件。
[0007]进一步，作为优选，所述检测组件包括齿轮、第三连杆、固定杆、和摆杆，所述齿轮和齿条啮合，所述齿轮上固定连接有连接轴，所述支板上固定设置有固定板，所述连接轴穿过所述固定板，所述连接轴上方固定设置有所述第三连杆，所述第三连杆的一端和所述摆杆的中间段转动连接，所述摆杆的一端上转动设置有连接件，所述固定杆底部固定开设有第三导槽，所述连接件滑动设置在所述第三导槽中，所述摆杆穿过所述第一滑槽做反复摆动。
[0008]进一步，作为优选，所述搬运组件包括第一连接臂、第二连接臂和夹具组件，所述第一连接臂的一端和所述推板固定连接，所述第一连接臂的一端转动连接有所述第二连接臂，所述第一连接臂上设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机用于驱动所述第二连接臂
在第一连接臂上转动，所述第二连接臂的上方固定设置有推动电机，所述第二连接臂的下方固定设置有夹具组件，所述第二连接臂和夹具组件之间固定设置有加强筋，所述夹具组件下方连接有多个夹具用于夹装门板，所述推动电机通过所述夹具组件推动所述夹具夹装。
[0009]进一步，作为优选，所述夹具组件组件包括压杆、滑筒、第一连杆、第二连杆和外壳，所述外壳内部设置有所述压杆，所述压杆上方固定设置有推杆，所述推动电机驱动所述推杆上下移动，所述压杆上滑动设置有两个所述滑筒，所述滑筒上转动设置有第一连杆和第二连杆，所述外壳内部固定设有固定块，所述第一连杆的一端转动设置在所述固定块上，所述外壳内部固定设置有导向筒，所述导向筒内部滑动设置有连接杆，所述连接杆和所述夹具固定连接，所述第二连杆的一端转动设置在所述连接杆上，所述外壳上设置有第二导槽，所述夹具在所述第二导槽中滑动。
[0010]进一步，作为优选，所述摆杆的端部固定设置有检测器，所述摆杆摆动时所述检测器有两个位置位于所述门板正下方。
[0011]进一步，作为优选，所述外壳内部设置有防坠落组件用于夹持时吸住所述门板，所述防坠落组件包括通气管和封口，所述外壳底部固定设置有通孔，所述通气管穿过所述通孔，所述通气管的一侧固定设置有排气口，所述连接杆的一侧固定设置有所述封口，所述通气管的一端固定设置在所述压杆下方，所述夹具夹持所述门板时所述封口密封所述排气口，所述通气管底部固定设置有吸盘。
[0012]进一步，作为优选，所述齿条齿数是所述齿轮齿数两倍以上。也就是说，尽可能选用齿数少或直径小的齿轮，保证齿条的一次推动使齿轮能转2圈以上。
[0013]（3）有益效果：A.本装置通过第一伺服电机推动推板从而可以推动搬运组件搬运门板，在第一伺服电机推动推板的同时，推板对齿条进行推动从而通过齿轮来传动给检测组件，通过连杆传动最终实现摆杆带动检测器在门板搬运的同时进行多次检测，保证检测数据准确，无需后期再次对门板进行单独检测。
[0014]B.本装置通过齿条带动齿轮转动从而使连接轴转动，连接轴转动的同时会带动第三连杆转动，由于第三连杆转动设置在摆杆的中部，因此第三连杆转动会带动摆杆一定幅度的转动，通过在摆杆的端部设置连接件，将连接件滑动设置在第三导槽中，可以实现对摆杆的摆动幅度进行限制，由摆杆的摆动可以带动摆杆上检测器对门板进行检测。
[0015]C.本装置中的防坠落组件在搬运门板时，通过负压使吸盘吸附门板防止门板运输途中坠落，当夹具开始夹持门板时，连接杆会向通气管方向移动，当夹具夹持门板时，连接杆端部封口会堵住排气口，此时吸盘吸附在门板上，并且由于通气管内部的气体被排出，使得通气管内形成负压保证吸盘吸附门板牢固，当夹具松开门板时，连接杆带动封口远离排气口，使吸盘和门板脱离。
[0016]D.本装置通过推动电机来推动推杆进一步对压杆进行下压，压杆下压的过程会使两侧的滑筒在压杆上滑动，滑筒在压杆上滑动时会带动第二连杆转动，第二连杆转动时进一步拉动连接杆在导向筒上滑动从而连接杆会进一步带动夹具夹紧门板，整个过程无需工作人员对门板进行固定，提高工作效率。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具结构示意图；图2为本专利技术一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具结构示意图；图3为本专利技术一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具的俯视图；图4为本专利技术一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具中搬运组件的结构示意图；图5为本专利技术一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具中搬运组件的侧视图；图6为本专利技术一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具中夹具组件的剖视图；图7为图2中A处的放大图；图中：1、底板；2、第一滑槽；3、第二滑槽；4、支板；5、搬运组件；6、检测组件；7、第一导槽；8、第一伺服电机；10、推板；12、第一连接臂；13、第二伺服电机；14、第二连接臂；15、推动电机；16、加强筋；17、夹具组件；1701、外壳；1702、推杆；1703、压杆；1704、滑筒；1705、第一连杆；1706、固定块；1707、第二导槽；1708、导向筒；1709、连接杆；1710、第二连杆；18、夹具；19、门板；20、固定杆；21、第三导槽；22、连接件；23、摆杆；24、防坠落组件；2401、排气口；2402、封口；2403、通气管；2404、通孔；25、齿条；26、齿轮；27、连接轴；28、固定板；29、第三连杆；30、检测器；31、导轨。
具体实施方式
[0018]为了使本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：其包括底板(1)、支板(4)、搬运组件(5)和检测组件(6)，所述底板(1)上固定设置有所述支板(4)，所述支板(4)上固定开设有第一滑槽(2)和第二滑槽(3)，所述搬运组件(5)滑动设置在所述第二滑槽(3)中，所述第一滑槽(2)中摆动设置有所述检测组件(6)，所述支板(4)的一侧固定设置有第一伺服电机(8)，所述第一伺服电机(8)推动搬运组件(5)移动的同时带动所述检测组件(6)摆动。2.根据权利要求1所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述支板(4)的一侧固定设置有第一导槽(7)，所述第一伺服电机(8)的输出端固定连接有推板(10)，所述推板(10)滑动设置在所述第一导槽(7)中，所述推板(10)的上端固定连接所述搬运组件(5)，所述推板(10)的下端固定连接有齿条(25)，所述支板(4)上位于所述齿条(25)上下侧固定设置有导轨(31)，所述齿条(25)驱动所述检测组件(6)。3.根据权利要求2所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述检测组件(6)包括齿轮(26)、第三连杆(29)、固定杆(20)、和摆杆(23)，所述齿轮(26)和齿条(25)啮合，所述齿轮(26)上固定连接有连接轴(27)，所述支板(4)上固定设置有固定板(28)，所述连接轴(27)穿过所述固定板(28)，所述连接轴(27)上方固定设置有所述第三连杆(29)，所述第三连杆(29)的一端和所述摆杆(23)的中间段转动连接，所述摆杆(23)的一端上转动设置有连接件(22)，所述固定杆(20)底部固定开设有第三导槽(21)，所述连接件(22)滑动设置在所述第三导槽(21)中，所述摆杆(23)穿过所述第一滑槽(2)做反复摆动。4.根据权利要求3所述的一种带有故障检测装置的硅片搬运机门板夹具，其特征在于：所述搬运组件(5)包括第一连接臂(12)、第二连接臂(14)和夹具组件(17)，所述第一连接臂(12)的一端和所述推板(10)固定连接，所述第一连接臂(12)的一端转动连接有所述第二连接臂(14)，所述第一连接臂(12)上设置有第二伺服电机(13)，所述第二伺服电机(13)用于驱动所述第二连接臂(14)在第一连接臂(12)上转动，所述第二连接臂(14)的上方固定设置有推动电机(15)，所述第二连接臂(14)的下方固定设置有夹具组件(17)，所述第二连接臂(14)和夹具组件(17)之间固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：富良，胡彪，洪育军，方正兵，汤红琴，
申请(专利权)人：杭州聚导科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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