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本实用新型公开了一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，涉及xxx技术领域。本实用新型包括旋转底座，设于旋转底座上的多个升降杆，以及设于升降杆上并用于对PCB板位于光刻机内部进行调节角度对焦曝光的调节机构；调节机构包括设于升降杆顶端的调节组件，以...
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