一种蒸镀设备及蒸镀方法技术

本发明专利技术公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，为解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题而发明专利技术。该蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，线性蒸发源设置于蒸发源载台上，基板载台位于蒸发源载台的上方，蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在移动驱动装置的驱动下，蒸发源载台和基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动；在旋转驱动装置的驱动下，蒸发源载台、基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使线性蒸发源的两个端部相对基板载台的位置能够对调。本发明专利技术可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备及蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode；有机发光二极管)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，已成为显示
中第三代显示器件的主力军。OLED器件中的有机材料层的主流制备方法之一是蒸镀法，具体为在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，通过掩膜板的开孔沉积在待蒸镀基板上。其中，在蒸镀过程中，如何提高蒸镀膜厚的均一性已成为业内追求的目标。现有技术中的一种蒸镀设备，包括线性蒸发源，线性蒸发源的顶部具有多个沿线性蒸发源的长度方向排布的喷嘴，该蒸镀设备工作时，线性蒸发源沿垂直于其长度的方向运动，以对待蒸镀基板进行扫描蒸镀。然而，由于受到线性蒸发源在其长度方向上蒸镀速率的差异、喷嘴大小设计不均、线性蒸发源内坩埚在其长度方向上加热不均匀等诸多因素的影响，造成蒸镀膜厚在沿线性蒸发源的长度方向上有一定的波动，而基板上有机发光材料膜厚的不均匀，则大大降低了OLED显示面板的显示效果。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，用于解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题。为达到上述目的，第一方面，本专利技术实施例提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。进一步地，所述基板载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第一基台和移动驱动单元，所述第一基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第一基台沿所述第一方向相对所述基板载台移动；所述蒸发源载台通过第一转轴与所述第一基台可转动连接，所述第一转轴竖直设置，所述第一转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述蒸发源载台绕所述第一转轴旋转。进一步地，所述蒸发源载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第二基台和移动驱动单元，所述第二基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第二基台沿所述第一方向相对所述蒸发源载台移动；所述基板载台通过第二转轴与所述第二基台可转动连接，所述第二转轴竖直设置，所述第二转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述基板载台绕所述第二转轴旋转。进一步地，所述线性蒸发源的顶部具有喷嘴；所述蒸镀设备还包括喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置具有第一状态和第二状态，当所述喷嘴控制装置处于所述第一状态时，所述喷嘴控制装置关闭所述喷嘴；当所述喷嘴控制装置处于所述第二状态时，所述喷嘴控制装置打开所述喷嘴。更进一步地，所述喷嘴控制装置包括挡板和驱动单元，所述挡板与所述线性蒸发源活动连接，所述驱动单元用于驱动所述挡板在第一位置和第二位置之间运动；当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板位于所述喷嘴的上方并且将所述喷嘴封堵；当所述挡板位于所述第二位置时，所述挡板在水平方向上与所述喷嘴错开；其中，所述挡板位于所述第一位置时的状态为所述第一状态，所述挡板位于所述第二位置时的状态为所述第二状态。第二方面，本专利技术实施例提供了一种蒸镀方法，包括以下步骤：线性蒸发源对待蒸镀基板进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调。进一步地，在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调包括：在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源绕所述线性蒸发源的竖直中心轴线相对所述待蒸镀基板转动180°，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调；其中，所述线性蒸发源的竖直中心轴线为所述一竖直轴线。进一步地，所述线性蒸发源对所述待蒸镀基板扫描蒸镀的次数为两次。进一步地，沿第一方向，所述线性蒸发源在所述待蒸镀基板的两侧之间相对所述待蒸镀基板往返运动的过程中均对所述待蒸镀基板进行扫描蒸镀；其中，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向。进一步地，在所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调的过程中，所述线性蒸发源的喷嘴关闭。本专利技术实施例提供的蒸镀设备及蒸镀方法，在工作时，待蒸镀基板设置在基板载台上，移动驱动装置工作，在移动驱动装置的驱动下，蒸发源载台和基板载台之间在第一方向上发生相对移动，使线性蒸发源对待蒸镀基板进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置驱动蒸发源载台、基板载台中的一个绕一竖直轴线转动，使线性蒸发源的两个端部相对基板载台的位置对调。由于在两次扫描蒸镀之间，线性蒸发源相对待蒸镀基板的位置可以通过旋转驱动装置进行对调，这样线性蒸发源上多个喷嘴的位置也发生了对调，使得在上次扫描中对应膜厚较厚位置的喷嘴对应膜厚较薄的位置，那么在接下来的扫描过程中，线性蒸发源上的多个喷嘴就可以对上次扫描过程中的膜厚进行补偿，最终使多个喷嘴所对应的膜厚趋于相同，以提高该线性蒸发源所蒸镀膜厚的均一性，而蒸镀膜厚均一性的提高则有利于提高OLED显示面板的显示品质。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术蒸镀设备中的线性蒸发源对各个批次待蒸镀基板扫描蒸镀之后膜厚的统计表；图2为现有技术蒸镀设备中线性蒸发源上的各个喷嘴所蒸镀膜厚的曲线图；图3为线性蒸发源的两端对调前后，线性蒸发源上的各个喷嘴所蒸镀膜厚的曲线图；图4为本专利技术一些实施例中蒸镀设备的结构示意图；图5为本专利技术另一些实施例中蒸镀设备的结构示意图；图6为本专利技术实施例中线性蒸发源扫描蒸镀过程的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，其特征在于，所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，其特征在于，所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述基板载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第一基台和移动驱动单元，所述第一基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第一基台沿所述第一方向相对所述基板载台移动；所述蒸发源载台通过第一转轴与所述第一基台可转动连接，所述第一转轴竖直设置，所述第一转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述蒸发源载台绕所述第一转轴旋转。3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第二基台和移动驱动单元，所述第二基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第二基台沿所述第一方向相对所述蒸发源载台移动；所述基板载台通过第二转轴与所述第二基台可转动连接，所述第二转轴竖直设置，所述第二转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述基板载台绕所述第二转轴旋转。4.根据权利要求1～3中任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述线性蒸发源的顶部具有喷嘴；所述蒸镀设备还包括喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置具有第一状态和第二状态，当所述喷嘴控制装置处于所述第一状态时，所述喷嘴控制装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾俊兰，张亮，王选生，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11