一种高精度金属掩膜板及其制造方法技术

本发明专利技术涉及显示技术领域，尤其涉及一种高精度金属掩膜板及其制造方法，其中所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；遮挡条设置于支撑条上，遮挡条包括遮挡部和连接部，遮挡部呈“凵”形槽体结构，遮挡部的槽口朝上设置，连接部焊接于安装框架上；掩膜条包括掩膜部和焊接部，掩膜部呈“凵”形槽体结构，掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。在本方案中，遮挡板与掩膜条设置扣接结构贴合紧密，能够提高产品蒸镀良率，降低生产成本。

A High Precision Metal Mask and Its Manufacturing Method

The invention relates to the field of display technology, in particular to a high-precision metal mask plate and its manufacturing method, in which the mask plate comprises an installation frame, a mask strip, a shield strip and a support strip; the support strip is vertical to the mask strip and the shield strip, and the two ends of the support strip are welded on the installation frame; the shield strip is arranged on the support strip, and the shield strip includes a shield part and a connecting part. The shielding part has a \pocket\ groove structure, the groove opening of the shielding part is set up upward, and the connecting part is welded on the installation frame; the mask bar includes the mask part and the welding part, and the mask part has a \pocket\ groove structure. The groove opening of the mask part is set downward, and the mask part is connected with the shielding part of the adjacent two shielding bars, and the two side walls of the mask part are respectively connected with the corresponding side walls of the adjacent shielding part. The welding part is used for welding and fixing the installation frame. In this scheme, the buckle structure of the shield plate and the mask bar is closely connected, which can improve the yield of product evaporation and reduce the production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度金属掩膜板及其制造方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种高精度金属掩膜板及其制造方法。
技术介绍
AMOLED目前较为成熟的制备工艺是有机真空蒸镀工艺，有机真空蒸镀工艺中较为重要的一项工艺是FMM工艺。利用金属掩膜板进行蒸镀区域定义，制作有机膜层。FMM工艺较为重要的一点是掩膜条和遮挡条需紧密贴合，以防止有机蒸汽从缝隙内渗入，造成混色。目前FM在掩膜板的制造过程中掩膜条和遮挡条均是通过先拉伸张紧后，然后在安装框架上进行焊接，以其本身较高的平行度使掩膜条和遮挡板紧密贴合。一般情况下，在制造高精金属掩膜板时先进行遮挡条的焊接，然后在遮挡条的上方焊接支撑条，最后在支撑条的上方焊接掩膜条，以此保证FMM焊接后整体的平整度。由于支撑条与掩膜条自身刚性不足，在使用过程中支撑条以及掩膜条容易形成塌陷，若支撑条或掩膜条张紧度或平整度异常，则二者贴合处会出现缝隙，有机蒸汽会从缝隙处散逸出来，造成混色异常，导致产品良率下降，生产成本明显增加。
技术实现思路
为此，需要提供一种高精度金属掩膜板及其制造方法，来解决现有技术中掩膜板的支撑条以及掩膜条连接处容易形成塌陷，二者贴合处容易出现缝隙，有机蒸汽会从缝隙处散逸出来，造成混色异常，导致产品良率下降，生产成本高的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种高精度金属掩膜板，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；所述遮挡条设置于支撑条上，所述支撑条用于支撑遮挡条，所述遮挡条包括遮挡部和连接部，所述遮挡部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部的槽口朝上设置，所述连接部焊接于安装框架上；所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。作为本专利技术的一种优选结构，所述安装框架与遮挡条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述遮挡条的连接部由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。作为本专利技术的一种优选结构，所述安装框架与支撑条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述支撑条的两端分别由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。作为本专利技术的一种优选结构，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3，且d3＝d2。作为本专利技术的一种优选结构，所述掩膜条、遮挡条以及支撑条与安装框架之间通过激光焊接固定。进一步的，专利技术人还提供了一种高精度金属掩膜板的制造方法，所述制造方法包括以下步骤：提供一形成有蒸镀区的安装框架；在安装框架上焊接支撑条；在支撑条上设置遮挡条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d1的遮挡部槽口朝上，并通过遮挡部两端的连接部与安装框架焊接；在遮挡条上设置掩膜条，具体包括：将呈“凵”形槽体结构且槽深为d2掩膜部槽口朝下，且d2＞d1，并通过遮挡部两端的焊接部与安装框架焊接，将掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，使得掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接；其中，所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条。进一步的，所述“在支撑条上设置遮挡条”步骤之前还包括：沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d1，并沿弯折线裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成遮挡条。进一步的，所述“在遮挡条上设置掩膜条”之前还包括：沿矩形金属条的两侧弯折形成“凵”形槽体结构，弯折的宽度为d2，并沿弯折线裁剪掉矩形金属条四个矩形边角，形成掩膜条。进一步的，“在安装框架上焊接支撑条”具体是：将支撑条的两端由下向上穿过卡环，并向外拉伸支撑条的两端使其张紧后焊接于安装框架上；或，“并通过遮挡部两端连接部与安装框架焊接”具体是：将遮挡条的两端的连接部由下向上穿过卡环，并向外拉伸连接部使其张紧后焊接于安装框架上。进一步的，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3与掩膜部的槽深d2相同。区别于现有技术，上述技术方案具有如下优点：本专利技术一种高精度金属掩膜板，所述的遮挡条包括遮挡部和连接部，并将遮挡部设置成“凵”形槽体结构，通过连接部与安装框架焊接固定，所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，并将掩膜部设置成“凵”形槽体结构，通过焊接部与安装框架焊接固定，通过对遮挡条以及掩膜条结构的改变，改善了遮挡条与掩膜条自身的刚性，降低了二者安装后塌陷的风险，此外，将掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，并保证掩膜部的槽深大于遮挡部的槽深，将遮挡板与掩膜条设置成以上扣接结构，二者的能够紧密贴合，既使掩膜条、遮挡条或者支撑条出现塌陷，掩膜条会跟随遮挡条下陷，二者的贴合处也不会出现缝隙，提高了产品良率，降低了生产成本。附图说明图1为本专利技术一种高精度金属掩膜板一实施例的斜视结构示意图；图2为本专利技术一种高精度金属掩膜板的安装框架一实施例斜视示意图；图3为本专利技术一种高精度金属掩膜板的安装框架一实施例部分剖视示意图；图4为本专利技术一种高精度金属掩膜板的遮挡条一实施例斜视示意图；图5为本专利技术一种高精度金属掩膜板的遮挡条制造过程示意图；图6为本专利技术一种高精度金属掩膜板的掩膜条一实施例斜视示意图；图7为本专利技术一种高精度金属掩膜板的掩膜条制造过程示意图；图8为本专利技术一种高精度金属掩膜板一实施例的支撑条与安装框架的配合示意图；图9为本专利技术一种高精度金属掩膜板一实施例的支撑条、安装框架以及遮挡条的配合示意图；图10为本专利技术一种高精度金属掩膜板遮挡条与掩膜条配合示意图；图11为本专利技术一种高精度金属掩膜板的制造方法的流程图。附图标记说明：100、安装框架；200、掩膜条；210、掩膜部；220、焊接部；300、遮挡条；310、遮挡部；320、连接部；400、支撑条；500、卡环；具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅1至图9，本专利技术提供了一种高精度金属掩膜板，所述掩膜板用于OLED真空蒸镀制程中，蒸镀材料经过高温汽化后透过掩膜板的上的蒸镀孔沉积到背板玻璃上，最终形成有机薄膜，用于实现OLED发光。具体的，所述掩膜板包括安装框架100、掩膜条200、遮挡条300和支撑条400；如图8所示，所述支撑条400垂直于掩膜条200和遮挡条300设置，支撑条400的两端焊接在所述安装框架100上；如图4和图9所示，所述遮挡条300设置于支撑条400上，所述支撑条400用于支撑遮挡条300，所述遮挡条300包括遮挡部310和连接部320，所述遮挡部310呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部310的槽口朝上设置，所述连接部320焊接于安装框架100上；如图1和图6所示，所述掩膜条200包括掩膜部210和焊接部220，所述掩膜部210呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部210的槽口朝下设置，掩膜部210接跨设于相邻两遮挡条300的遮挡部310上，且掩膜部210的两侧壁分别与相邻遮挡部310两对应侧壁扣接，所述焊接部220用于安装框架100焊接固定。所述的安装框架100作为掩膜板的主体承载机构，用于安装所述掩膜条200本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；所述遮挡条设置于支撑条上，所述支撑条用于支撑遮挡条，所述遮挡条包括遮挡部和连接部，所述遮挡部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部的槽口朝上设置，所述连接部焊接于安装框架上；所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。

【技术特征摘要】
1.一种高精度金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；所述支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；所述遮挡条设置于支撑条上，所述支撑条用于支撑遮挡条，所述遮挡条包括遮挡部和连接部，所述遮挡部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d1，所述遮挡部的槽口朝上设置，所述连接部焊接于安装框架上；所述掩膜条包括掩膜部和焊接部，所述掩膜部呈“凵”形槽体结构，其槽深为d2，且d2＞d1，所述掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。2.根据权利要求1所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述安装框架与遮挡条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述遮挡条的连接部由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。3.根据权利要求1或2所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述安装框架与支撑条焊接的内框侧壁上设置有卡环，多个卡环在相对的侧壁上对应设置，所述支撑条的两端分别由下向上穿过卡环并焊接于安装框架的上表面上。4.根据权利要求3所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述卡环下缘到安装框架上表面的距离d3，且d3＝d2。5.根据权利要求1所述的高精度金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜条、遮挡条以及支撑条与安装框架之间通过激光焊接固定。6.一种高精度金属掩膜板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：提供一形成有蒸镀区的安装框架；...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗云鹏，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35