一种玻璃基板位置矫正装置及方法制造方法及图纸

技术编号：41625528 阅读：23 留言：0更新日期：2024-06-13 02:25

本发明专利技术公开了一种玻璃基板位置矫正装置及方法，涉及真空蒸镀技术领域。所述装置包括至少八个位置矫正单元，在玻璃基板的每条边分别设置至少两个位置矫正单元；控制单元，与所述位置矫正单元连接，驱动位置矫正单元作动；每一位置矫正单元的压力传感器和连接杆均与控制单元连接，控制单元控制连接杆的作动，同时接收压力传感器的压力值，在任一压力传感器的压力值大于设定值时，暂停该压力传感器对应边的所有位置矫正单元作动。本发明专利技术提供的一种玻璃基板位置矫正装置及方法，通过压力传感器测量玻璃基板位移时的推力大小，当推力大于设定安全阈值时位置矫正单元退回，再重复多次推进或者改变装置作动顺序，以避免玻璃基板受力过大破裂等问题。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空蒸镀，特别涉及一种玻璃基板位置矫正装置及方法。

技术介绍

1、目前oled显示器生产一般采用真空蒸镀方式，玻璃基板清洗烘干后传入高真空蒸镀机台，经传送腔体进入各个成膜腔体镀膜，完成后玻璃基板最后进入封装工序。真空机台内部机械手臂及传送机构的精度、稳定性及相对基板摩擦力减少等原因，均可能引起玻璃基板或多或少偏移，因此一般在机台传送机构处设计多个位置矫正机构纠正一定程度的偏移。

2、现有蒸镀矫正机构一般布置玻璃基板四角，且只按照预定动作机械执行将玻璃基板推动到预设位置，如果玻璃基板角度或往某一方向偏移过大，此时某一机构推力易过大，或者敲击接触，造成产生裂纹或原有微小裂纹增大等问题。因蒸镀机内均为高真空状态，破片处理需破真空，完成后再抽真空，如此会造成极大的成本及产能损失。因此有必要对现有位置矫正机构进行优化改进。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种玻璃基板位置矫正装置及方法，通过压力传感器测量玻璃基板位移时的推力大小，当推力大于设定安全阈值...

【技术保护点】

1.一种玻璃基板位置矫正装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述固定件与限位柱之间还包括第一垫片。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述限位柱与连接杆之间还包括第二垫片。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述支撑杆顶端设有螺纹，所述固定件与支撑杆通过螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述限位柱为聚四氟乙烯限位柱。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：包括八个位置矫正单元，在玻璃基板的每条边的两端分别设置一个位置矫正单元。