下载一种玻璃基板位置矫正装置及方法的技术资料

文档序号:41625528

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本发明公开了一种玻璃基板位置矫正装置及方法,涉及真空蒸镀技术领域。所述装置包括至少八个位置矫正单元,在玻璃基板的每条边分别设置至少两个位置矫正单元;控制单元,与所述位置矫正单元连接,驱动位置矫正单元作动;每一位置矫正单元的压力传感器和连接杆...
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