线性蒸镀装置及其蒸镀盒制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于线性蒸镀装置的蒸镀盒，所述蒸镀盒内形成有蒸镀腔，所述蒸镀盒包括蒸镀表面，所述蒸镀表面上形成有多个蒸镀孔和多个第一安装孔，所述蒸镀孔与所述蒸镀腔连通，其中，多个所述第一安装孔形成为多个第一安装孔组，同一个第一安装孔组中的第一安装孔按照预定规则分布，且至少一个所述第一安装孔组对应的预定规则与其他第一安装孔组的安装规则不相同，相邻两个所述第一安装孔组之间形成有所述蒸镀孔。本实用新型专利技术还提供一种线性蒸镀装置。在所述线性蒸镀装置中限制板不会出现安装错误。

Linear evaporation device and its evaporation box

The utility model provides an evaporation box for a linear evaporation device, in which an evaporation chamber is formed. The evaporation box includes an evaporation surface, on which a plurality of evaporation holes and a plurality of first installation holes are formed. The evaporation holes are connected with the evaporation chamber, in which multiple first installation holes are formed into a plurality of first installation holes group and the same first installation hole group. The first installation hole in the hole group is distributed according to the predetermined rules, and the predetermined rules corresponding to the first installation hole group at least one are different from the installation rules of other first installation hole groups. The evaporation hole is formed between the two first installation hole groups adjacent to each other. The utility model also provides a linear evaporation plating device. The limiting plate in the linear evaporation plating device will not have installation errors.

【技术实现步骤摘要】
线性蒸镀装置及其蒸镀盒
本技术涉及微电子制造设备领域，具体地，涉及一种线性蒸镀装置以及该线性蒸镀装置的蒸镀盒。
技术介绍
蒸镀工艺是制造微电子设备的一种重要工艺。线性蒸镀装置是一种常用的执行蒸镀工艺的装置，线性蒸镀装置包括蒸镀盒以及多个限制板。蒸镀盒的一个表面上形成多个蒸镀孔和多个安装孔，而通过多个安装孔将多个限制板固定在蒸镀盒上。限制板用于限制通过蒸镀孔喷发出的蒸镀材料的方向，因此，一旦限制板的位置安装错误，就会造成产品不良。通常，通过在限制板上喷涂ID的方式来确定限制板的安装位置，但是，安装工人有时难以辨认限制板上的ID，仍然可能将限制板装错位置。因此，如何准确地将安装板安装在蒸镀盒上成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种线性蒸镀装置以及该线性蒸镀装置的蒸镀盒，在组装所述线性蒸镀装置时，不会出现安装错误的现象。为了实现上述目的，作为本技术的一个方面，提供一种用于线性蒸镀装置的蒸镀盒，所述蒸镀盒内形成有蒸镀腔，所述蒸镀盒包括蒸镀表面，所述蒸镀表面上形成有多个蒸镀孔和多个第一安装孔，所述蒸镀孔与所述蒸镀腔连通，多个所述第一安装孔形成为多个第一安装孔组，同一个第一安装孔组中的第一安装孔按照预定规则分布，且至少一个所述第一安装孔组对应的预定规则与其他第一安装孔组的安装规则不相同，相邻两个所述第一安装孔组之间形成有所述蒸镀孔。优选地，所述预定规则包括：相邻两个第一安装孔之间的间隔为预定距离；不同的第一安装孔组对应的预定距离互不相同。优选地，多个所述第一安装孔的孔径相同。优选地，同一个第一安装孔组中多个第一安装孔的孔径互不相同，所述预定规则包括孔径不同的第一安装孔按照预定顺序排列。优选地，同一个第一安装孔组中的多个第一安装孔排列为至少一行，并且不同的第一安装孔组中第一安装孔的行方向互相平行。作为本技术的第二个方面，提供一种线性蒸镀装置，所述线性蒸镀装置包括蒸镀盒和多个限制板，所述蒸镀盒为本技术所提供的上述蒸镀盒，多个所述限制板与多个所述第一安装孔组一一对应，所述限制板包括安装部和限制部，所述安装部形成在所述限制部的高度方向的一端，且所述安装部上形成有多个第二安装孔，所述限制板上的多个第二安装孔按照与该限制板对应的第一安装孔组的预定规则相同的规则排列，所述限制板通过穿过所述第一安装孔和相应的第二安装孔的紧固件可拆卸地固定在所述蒸镀盒上。优选地，所述限制板还包括遮挡部，所述遮挡部设置在所述限制部的高度方向的另一端，所述遮挡部朝向与包括该遮挡部的限制板相邻的限制板延伸。优选地，所述线性蒸镀装置还包括至少一个坩埚，所述坩埚设置在所述蒸镀腔内。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术所提供的蒸镀盒的示意图；图2是本技术所提供的线性蒸镀装置的一种实施方式的立体示意图；图3是本技术所提供的线性蒸镀装置的一种实施方式中，一个限制板处的剖视示意图；图4是图3所示的实施方式中，另一个限制板处的剖视示意图；图5是展示限制板与蒸镀盒不可匹配的示意图；图6是本技术所提供的线性蒸镀装置的另一种实施方式中，一个显示板处的剖视示意图；图7是图6所示的实施方式中，另一个限制板处的剖视示意图。附图标记说明100：蒸镀盒210、220、230：限制板311、312、313、314、321、322、323、324：紧固件具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。作为本技术的一个方面，如图1所示，提供一种用于线性蒸镀装置的蒸镀盒100，该蒸镀盒100内形成有蒸镀腔，所述蒸镀盒包括蒸镀表面，所述蒸镀表面上形成有多个蒸镀孔和多个第一安装孔，所述蒸镀孔与所述蒸镀腔连通，多个所述第一安装孔排列为多行，其中，多个所述第一安装孔形成为多个第一安装孔组，同一个第一安装孔组中的第一安装孔按照预定规则分布，且至少一个所述第一安装孔组对应的预定规则与其他第一安装孔组的安装规则不相同，相邻两个所述第一安装孔组之间形成有所述蒸镀孔。如图2所示，蒸镀盒100与限制板配合使用，可以形成线性蒸镀装置。在本技术中，不同的第一安装孔组对应不同的限制板。具体地，所述限制板上也设置有与第一安装孔相对应的第二安装孔。所述限制板上第二安装孔按照与之相对应的第一安装孔组的预定规则进行排列。在本技术中，如果将限制板与不对应的第一安装孔相对应，则不能够完成安装，也不会造成误安装，由此可知，当所有的限制板均安装完毕后，限制板的位置是正确的。所述蒸镀腔用于设置坩埚，而坩埚则用于盛放蒸镀材料。不同的坩埚中的蒸镀材料不同。相邻两个限制板之间的蒸镀孔对应一种蒸镀材料。作为一种实施方式，不同的限制板间隔对应不同的蒸镀源，从而可以完成相应的蒸镀工艺。由于每个限制板的位置都正确，因此，相应的蒸镀源中蒸发出的材料也可以沉积在基板的正确位置处，从而可以提高制作电子设备的良率。优选地，多个所述第一安装孔组对应的预定规则互不相同，从而可以确保素有的限制板都安装正确。在本技术中，第一安装孔的分布规则包括对第一安装孔的孔径的限定和/或对第一安装孔之间间隔的限定。例如，在图1中所示的实施方式中，示出了蒸镀盒100的一部分，在该部分中，包括三组第一安装孔，分别为第一安装孔组A(包括第一安装孔A1、第一安装孔A2、第一安装孔A3和第一安装孔A4)、第一安装孔组B(包括第一安装孔B1、第一安装孔B2、第一安装孔B3和第一安装孔B4)、第一安装孔组C(包括第一安装孔C1、第一安装孔C2、第一安装孔C3、第一安装孔C4)。通过图1可以看出，第一安装孔组A中的第一安装孔之间的间距不同于第一安装孔组B中的第一安装孔之间的间距，也不同于第一安装孔组C中的第一安装孔之间的距离。作为一种实施方式，所述预定规则对第一安装孔之间的间隔进行限定，换言之，所述预定规则包括：相邻两个第一安装孔之间的间隔为预定距离。并且，不同行的第一安装孔对应的预定距离互不相同。为了便于加工制造，优选地，多个所述第一安装孔的孔径相同。当然，本技术并不限于此，所述预定规则包括对第一安装孔的孔径的限定，具体地，同一个第一安装孔组中多个第一安装孔的孔径互不相同，所述预定规则包括孔径不同的第一安装孔按照预定顺序排列。例如，对于一个第一安装孔组，可以按照孔径从小到大的顺序依次排列；对于另一个第一安装孔组，可以按照孔径从大到小的顺序依次排列。作为一种实施方式，同一个第一安装孔组中的多个第一安装孔排列为至少一行，并且不同的第一安装孔组中第一安装孔的行方向互相平行。作为本技术的第二个方面，提供一种线性蒸镀装置，如图2所示，所述线性蒸镀装置包括蒸镀盒100和多个限制板(图2中示出的限制板210、限制板220和限制板230)。其中，所述蒸镀盒为本技术所提供的上述蒸镀盒，多个所述限制板与多个所述第一安装孔组一一对应，所述限制板包括安装部和限制部，所述安装部形成在所述限制部的高度方向的一端，且所述安装部上形成有多个第二安装孔，所述限制板上的多个第二安装孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于线性蒸镀装置的蒸镀盒，所述蒸镀盒内形成有蒸镀腔，所述蒸镀盒包括蒸镀表面，所述蒸镀表面上形成有多个蒸镀孔和多个第一安装孔，所述蒸镀孔与所述蒸镀腔连通，其特征在于，多个所述第一安装孔形成为多个第一安装孔组，同一个第一安装孔组中的第一安装孔按照预定规则分布，且至少一个所述第一安装孔组对应的预定规则与其他第一安装孔组的安装规则不相同，相邻两个所述第一安装孔组之间形成有所述蒸镀孔。

【技术特征摘要】
1.一种用于线性蒸镀装置的蒸镀盒，所述蒸镀盒内形成有蒸镀腔，所述蒸镀盒包括蒸镀表面，所述蒸镀表面上形成有多个蒸镀孔和多个第一安装孔，所述蒸镀孔与所述蒸镀腔连通，其特征在于，多个所述第一安装孔形成为多个第一安装孔组，同一个第一安装孔组中的第一安装孔按照预定规则分布，且至少一个所述第一安装孔组对应的预定规则与其他第一安装孔组的安装规则不相同，相邻两个所述第一安装孔组之间形成有所述蒸镀孔。2.根据权利要求1所述的蒸镀盒，其特征在于，多个所述第一安装孔组对应的预定规则互不相同。3.根据权利要求1所述的蒸镀盒，其特征在于，所述预定规则包括：相邻两个第一安装孔之间的间隔为预定距离；不同的第一安装孔组对应的预定距离互不相同。4.根据权利要求3所述的蒸镀盒，其特征在于，多个所述第一安装孔的孔径相同。5.根据权利要求1所述的蒸镀盒，其特征在于，同一个第一安装孔组中多个第一安装孔的孔径互不相同，所述预定规则包括孔径不同的第一安装孔按照预定顺序排列。6.根据权利要求1至5中任意一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯永山，杨春梅，刘辉强，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11