一种真空涂层机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空涂层机，包括密封箱和真空泵，密封箱内部通过隔板分隔为工作室和机械室，工作室两侧的密封箱内壁对应安装有四组转动机构，四组转动结构的一侧对应安装有四组基板，四组基板远离四组转动机构的一侧对应安装有四组靶材，本实用新型专利技术，利用液压缸工作使液压缸的活塞杆移动，由液压缸的活塞杆移顶推活动盖移动控制密封箱顶部开口的开合，便于保证密封箱的密封性，同时提高活动门开合的灵活性，便于涂层的质量；利用转动机构的气缸工作，由气缸的活塞杆的伸缩顶推直杆转动，直杆转动调整靶材的朝向，便于对工件的不同面进行涂层作业，提高涂层的效果和整个装置的适应性。

A Vacuum Coating Machine

The utility model discloses a vacuum coating machine, which comprises a sealed box and a vacuum pump. The inside of the sealed box is divided into a studio and a mechanical room through a partition board. The inner walls of the sealed box on both sides of the studio are correspondingly equipped with four groups of rotating mechanisms, one side of the four groups of rotating structures is correspondingly equipped with four groups of substrates, and one side of the four groups of substrates away from the four groups of rotating mechanisms is correspondingly equipped with four groups of target materials. A new type of hydraulic cylinder is used to make the piston rod of the hydraulic cylinder move, the piston rod of the hydraulic cylinder is moved to push the movable cover to move and control the opening and closing of the top opening of the sealing box, so as to ensure the sealing of the sealing box, improve the flexibility of the opening and closing of the movable door, and facilitate the quality of the coating. The cylinder of the rotating mechanism is used to work, and the piston rod of the cylinder is rotated by the telescopic pushing rod of the piston The orientation of the target material can be adjusted dynamically so as to facilitate the coating operation on different surfaces of the workpiece and improve the effect of the coating and the adaptability of the whole device.

【技术实现步骤摘要】
一种真空涂层机
本技术涉及涂层装置相关
，具体为一种真空涂层机。
技术介绍
目前真空涂层机采用的是方靶阴极装置系统，方靶阴极装置系统中的方形靶材体积都比较大，基于靶材可否有效使用的标准是根据靶材上已蒸发的局部深度为准，当使用的靶材某个局部蒸发到一定的极限深度时靶材将报废无法继续使用。由于方形靶材体积比较大报废的靶材也无法进行修磨后再次使用因此造成了极大的原材料的浪费。使用方靶系统由于靶材体积比较大，电弧发生器蒸发靶材时相对蒸发速率比较慢，蒸发出来的金属粒子比较粗因此无法得到致密性很高的涂层，现有的真空涂层机的开口开合不易，影响密封箱的密封性，同时现有装置靶材位置固定，靶材的金属蒸发方向一定不易对工件的不同面进行涂层，影响涂层效果，为此本技术提出一种真空涂层机用于解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空涂层机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空涂层机，包括密封箱和真空泵，所述密封箱内部通过隔板分隔为工作室和机械室，所述工作室两侧的密封箱内壁对应安装有四组转动机构，四组所述转动结构的一侧对应安装有四组基板，四组所述基板远离四组转动机构的一侧对应安装有四组靶材，所述密封箱外部的两侧相对应于四组转动机构的位置安装有四组电弧发生器，所述密封箱顶部开口的两侧对应安装有两组液压缸，两组所述液压缸的活塞杆末端对应通过两根连杆连接活动盖的两侧，所述工作室内部的下侧水平焊接有隔离网，所述隔离网的顶部水平安装有加热板，所述机械室的内部安装有真空泵，所述转动机构包括直杆、底箱和连接耳，所述连接耳通过螺栓固定在底箱一侧的中部，所述连接耳通过销轴转动连接直杆的一端。优选的，所述转动机构还包括气缸，两组所述气缸的底板对应转动连接底箱一侧的上部和下部，两组所述气缸的活塞杆末端对应连接直杆中部的两侧。优选的，所述直杆的另一端通过螺栓连接基板一侧的中部，四组所述靶材通过四根导线连接四组对应的电弧发生器。优选的，所述真空泵两侧的进口密封连接两根输气管的一端，两根所述输气管的另一端连通工作室的底部。优选的，所述密封箱顶部在开口的两侧对应安装有两组导轨，两组所述导轨外部对应滑动安装有两根连杆中部焊接的滑座。优选的，所述加热板通过导线连接外部的电源，所述密封箱的底部呈矩形安装有四组导轮。优选的，所述底箱的一侧开设有供直杆穿过的通孔，所述密封箱顶部的开口外缘安装有密封圈。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1.利用液压缸工作使液压缸的活塞杆移动，由液压缸的活塞杆移顶推活动盖移动控制密封箱顶部开口的开合，便于保证密封箱的密封性，同时提高活动门开合的灵活性，便于涂层的质量；2.利用多个电弧发生器单独控制每个圆形靶材让其均匀挥发，所以生产出来的涂层金属颗粒更小从而使涂层结构更致密，提高涂层的质量；3、利用转动机构的气缸工作，由气缸的活塞杆的伸缩顶推直杆转动，直杆转动调整靶材的朝向，便于对工件的不同面进行涂层作业，提高涂层的效果和整个装置的适应性。附图说明图1为本技术的剖面结构示意图；图2为本技术的转动机构结构示意图；图3为本技术的顶盖结构示意图。图中：密封箱1、工作室2、机械室3、真空泵4、加热板5、靶材6、基板7、转动机构8、直杆81、底箱82、连接耳83、气缸84、电弧发生器9、液压缸10、活动盖11、输气管12、隔离网13、连杆14、导轨15。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种真空涂层机，包括密封箱1和真空泵4，密封箱1内部通过隔板分隔为工作室2和机械室3，工作室2两侧的密封箱1内壁对应安装有四组转动机构8，四组转动机构8的一侧对应安装有四组基板7，四组基板7远离四组转动机构8的一侧对应安装有四组靶材6，密封箱1外部的两侧相对应于四组转动机构8的位置安装有四组电弧发生器9，多个电弧发生器9单独控制每个圆形靶材6让其均匀挥发，所以生产出来的涂层金属颗粒更小从而使涂层结构更致密，提高涂层的质量，密封箱1顶部开口的两侧对应安装有两组液压缸10，液压缸10工作使液压缸10的活塞杆移动，由液压缸10的活塞杆移顶推活动盖1移动控制密封箱1顶部开口的开合，便于保证密封箱1的密封性，同时提高活动门11开合的灵活性，便于涂层的质量，两组液压缸10的活塞杆末端对应通过两根连杆14连接活动盖11的两侧，工作室2内部的下侧水平焊接有隔离网13，隔离网13的顶部水平安装有加热板5，机械室3的内部安装有真空泵4，转动机构8包括直杆81、底箱82和连接耳83，连接耳83通过螺栓固定在底箱82一侧的中部，连接耳83通过销轴转动连接直杆81的一端。进一步地，转动机构8还包括气缸84，两组气缸84的底板对应转动连接底箱82一侧的上部和下部，两组气缸84的活塞杆末端对应连接直杆81中部的两侧，转动机构8的气缸84工作，由气缸84的活塞杆的伸缩顶推直杆81转动，直杆81转动调整靶材6的朝向，便于对工件的不同面进行涂层作业，提高涂层的效果和整个装置的适应性。进一步地，直杆81的另一端通过螺栓连接基板7一侧的中部，四组靶材6通过四根导线连接四组对应的电弧发生器9。进一步地，真空泵4两侧的进口密封连接两根输气管12的一端，两根输气管12的另一端连通工作室2的底部。进一步地，密封箱1顶部在开口的两侧对应安装有两组导轨15，两组导轨15外部对应滑动安装有两根连杆14中部焊接的滑座。进一步地，加热板5通过导线连接外部的电源，密封箱1的底部呈矩形安装有四组导轮。进一步地，底箱82的一侧开设有供直杆81穿过的通孔，密封箱1顶部的开口外缘安装有密封圈。工作原理：实际工作时，操作人员在高真空状态下通过加热板5加热工作室2至一定的温度，引弧装置动作接触圆形靶材6，使连接圆形靶,6正负极的电弧发生器9瞬间短路产生电弧轰击圆形靶材6表面，由于电弧具有很高的能量受到轰击的靶材金属离子被蒸发出来，使用的圆形靶材6为钛靶材。在真空度为5E-5mbar工件加热温度至500摄氏度，进入涂层步骤。按程序设定要求钛靶材加载电压至-60V、电流升至18A，对涂层的工件加载电压至+40V、电流升至18A，并通入1000sccm氮气涂层时间3小时。冷却并释放真空后实际测得涂层厚度为2.4u。由于采用的小型圆形靶材6体积比现有技术中方靶体积小，且有多个电弧发生器9单独控制每个圆形靶材6让其均匀挥发，所以生产出来的涂层金属颗粒更小从而使涂层结构更致密，涂层与被涂层工件结合力好；操作人员控制转动机构8工作，转动机构8的底箱82内部的气缸84工作顶推直杆81转动，直杆81转动使靶材6转动便于靶材金属离子被蒸发出来并有效附着在多个附着面上，提高土层的质量。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空涂层机，包括密封箱(1)和真空泵(4)，其特征在于：所述密封箱(1)内部通过隔板分隔为工作室(2)和机械室(3)，所述工作室(2)两侧的密封箱(1)内壁对应安装有四组转动机构(8)，四组所述转动机构(8)的一侧对应安装有四组基板(7)，四组所述基板(7)远离四组转动机构(8)的一侧对应安装有四组靶材(6)，所述密封箱(1)外部的两侧相对应于四组转动机构(8)的位置安装有四组电弧发生器(9)，所述密封箱(1)顶部开口的两侧对应安装有两组液压缸(10)，两组所述液压缸(10)的活塞杆末端对应通过两根连杆(14)连接活动盖(11)的两侧，所述工作室(2)内部的下侧水平焊接有隔离网(13)，所述隔离网(13)的顶部水平安装有加热板(5)，所述机械室(3)的内部安装有真空泵(4)，所述转动机构(8)包括直杆(81)、底箱(82)和连接耳(83)，所述连接耳(83)通过螺栓固定在底箱(82)一侧的中部，所述连接耳(83)通过销轴转动连接直杆(81)的一端。

【技术特征摘要】
1.一种真空涂层机，包括密封箱(1)和真空泵(4)，其特征在于：所述密封箱(1)内部通过隔板分隔为工作室(2)和机械室(3)，所述工作室(2)两侧的密封箱(1)内壁对应安装有四组转动机构(8)，四组所述转动机构(8)的一侧对应安装有四组基板(7)，四组所述基板(7)远离四组转动机构(8)的一侧对应安装有四组靶材(6)，所述密封箱(1)外部的两侧相对应于四组转动机构(8)的位置安装有四组电弧发生器(9)，所述密封箱(1)顶部开口的两侧对应安装有两组液压缸(10)，两组所述液压缸(10)的活塞杆末端对应通过两根连杆(14)连接活动盖(11)的两侧，所述工作室(2)内部的下侧水平焊接有隔离网(13)，所述隔离网(13)的顶部水平安装有加热板(5)，所述机械室(3)的内部安装有真空泵(4)，所述转动机构(8)包括直杆(81)、底箱(82)和连接耳(83)，所述连接耳(83)通过螺栓固定在底箱(82)一侧的中部，所述连接耳(83)通过销轴转动连接直杆(81)的一端。2.根据权利要求1所述的一种真空涂层机，其特征在于：所述转动机构(8)还包括气缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈金海，刘涛，金勇超，梁文勇，
申请(专利权)人：科汇纳米技术常州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32