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本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，为解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题而发明。该蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，线性蒸发源设置于蒸发源载台上，基板载台位于...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司授权不得商用。