蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器生产设备，所述蒸发源包括：坩埚、盖体、主加热件以及辅加热件，坩埚内限定出容纳空间，盖体包括盖体本体和喷嘴，喷嘴连接在盖体本体上，盖体本体罩盖在坩埚上并与坩埚固定连接，盖体具有位于顶端的多个喷嘴，喷嘴具有与容纳空间连通的喷孔，主加热件适于对坩埚加热，辅加热件适于对喷嘴和盖体本体加热。由此,通过辅加热件对喷嘴以及盖体本体进行加热，以降低经由喷嘴喷出的气体，在喷嘴处凝固或凝华导致喷嘴堵塞的概率，从而提高了蒸发源的工作稳定性，并使蒸发源的蒸镀效果更好，进而避免了生产设备宕机，以提高生产设备的生产稼动率。

Evaporation Source, Evaporation Plating Device and Production Equipment of Organic Electroluminescent Display

The utility model discloses an evaporation source, an evaporation plating device and an organic electroluminescent display production equipment. The evaporation source includes a crucible, a cover, a main heating element and an auxiliary heating element. The crucible has a limited accommodation space. The cover body includes a cover body and a nozzle, and the nozzle is connected to the cover body. The cover body of the cover body is fixed on the crucible and connected with the crucible. A plurality of nozzles are located at the top. The nozzle has a nozzle connected with the accommodation space. The main heater is suitable for heating crucible and the auxiliary heater is suitable for heating the nozzle and the cover body. Thereby, the nozzle and the cover body are heated by auxiliary heating parts to reduce the probability of nozzle blockage caused by gas ejected through the nozzle, solidification or agglomeration at the nozzle, thereby improving the working stability of the evaporation source and making the evaporation plating effect of the evaporation source better, thereby avoiding the outage of production equipment, and improving the productivity of production equipment.

【技术实现步骤摘要】
蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备
本技术涉及显示设备
，具体而言，涉及一种蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备。
技术介绍
相关技术中，OLED(英文为OrganicLight-EmittingDiode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。然而，OLED显示器(即有机电致发光显示器)的生产稼动率成为了制约其市场化普及的主要因素。有机发光层(应为OrganicElectro-Luminescence)为OLED显示器的重要组成成分为，有机发光层通常通过蒸镀的方式集成在相应的零件上。其中，蒸镀过程中对有机发光材料的加热是在蒸发源内实施的，有机发光材料在蒸发源内被加热后升华或蒸发并从蒸发源的喷嘴喷出，由于热量传递过程中的损失较多，最终喷嘴处的温度远低于坩埚的温度，导致气态的有机发光材料遇冷凝固或凝华并堵塞喷嘴，导致生产设备故障，降低生产稼动率。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种喷嘴不易堵塞、可靠性更高的蒸发源。本技术还提出了一种具有上述蒸发源的蒸镀装置。本技术又提出了一种具有上述蒸镀装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：坩埚，所述坩埚内限定出容纳空间；盖体，所述盖体包括盖体本体和喷嘴，所述喷嘴连接在所述盖体本体上，所述盖体本体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔；主加热件，所述主加热件适于对所述坩埚加热；以及辅加热件，所述辅加热件适于对所述喷嘴以及所述盖体本体加热。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：坩埚，所述坩埚内限定出容纳空间；盖体，所述盖体包括盖体本体和喷嘴，所述喷嘴连接在所述盖体本体上，所述盖体本体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔；主加热件，所述主加热件适于对所述坩埚加热；以及辅加热件，所述辅加热件适于对所述喷嘴以及所述盖体本体加热。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述辅加热件在所述喷嘴的外部对所述喷嘴加热，所述辅加热件邻近所述喷嘴的顶端设置。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述辅加热件的下端与所述喷嘴的根部间隔开，且所述辅加热件至少覆盖所述喷嘴的外壁的上部。4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述辅加热件为加热丝，所述加热丝至少环绕所述喷嘴的外壁分布。5.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括第一隔热件，所述第一隔热件套设在所述喷嘴外且所述辅加热件位于所述第一隔热件与所述喷嘴的外壁之间。6.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王梦帝，胡长奇，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34