线源装置和OLED蒸镀机制造方法及图纸

本申请提供一种线源装置和OLED蒸镀机，其包括线源机构和至少两个坩埚机构，线源机构包括一线源腔体；每个坩埚机构均设置在线源机构的外侧，每个坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；连接阀设置在坩埚腔体和线源腔体之间，且用于将坩埚腔体和线源腔体隔开或连通。本申请通过至少两个坩埚机构的设置，提高了设备的使用效率，减少了设备加料时间。

Line source device and OLED evaporator

The present application provides a line source device and an OLED evaporator, which comprises a line source mechanism and at least two crucible mechanisms. The line source mechanism includes a line source cavity; each crucible mechanism is arranged outside the line source mechanism, and each crucible mechanism includes a crucible cavity and a connecting valve; the connecting valve is arranged between the crucible cavity and the line source cavity, and is used to separate the crucible cavity and the line source cavity. Or connectivity. The application improves the efficiency of the equipment and reduces the feeding time of the equipment by setting at least two crucible mechanisms.

【技术实现步骤摘要】
线源装置和OLED蒸镀机
本申请涉及一种有机电致发光显示技术，特别涉及一种线源装置和OLED蒸镀机。
技术介绍
OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示器制程关键就是将有机发光材料填充至TFT(ThinFilmTransistor,薄膜晶体管)基板像素中，目前量产普遍采用的真空蒸镀方式，即在真空环境下降有机材料加热蒸发至TFT基板像素，量产蒸镀红绿蓝发光膜层材料通常用线性蒸发源和线性坩埚，线源与坩埚为一体设计呈长方体形状，最外面为线性源，内设计加热丝、坩埚装于线源里面、有机材料装于坩埚里面，坩埚加坩埚盖，坩埚盖上有喷嘴，有机材料通过加热升华从喷嘴均匀的蒸发出来与TFT基板。蒸镀制程中有机材料需要定期开腔添加，由于蒸镀环境为高真空环境，每次添加材料需要破真空，拿出坩埚添加材料，再关腔抽真空，停机时间久，而且开腔体容易污染腔体，对制程良率与设备稼动率都有影响。
技术实现思路
本申请实施例提供一种高效的线源装置和OLED蒸镀机，以解决现有的线源装置在真空蒸镀过程中，添加蒸镀材料时，耗时长且开腔体时容易污染的技术问题。本申请实施例提供一种线源装置，其包括：一线源机构，用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及至少两个坩埚机构，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。在本申请的线源装置中，所述线源机构包括多个喷嘴，所述多个喷嘴连通于所述线源腔体且位于所述线源腔体的一侧，所述线源腔体的另一侧开设有至少两个开口，所述开口和所述坩埚机构一一对应，每个所述坩埚机构对应的固定设置在所述开口处。在本申请的线源装置中，所述多个喷嘴呈阵列式排布，且相邻行之间的喷嘴相错设置。在本申请的线源装置中，所述线源机构还包括至少两个导流板，所述至少两个导流板相互间隔设置且设置在所述喷嘴和所述开口之间；每个导流板上均开设有通孔，所述通孔用于将所述坩埚机构内的气态有机材料导流至所述喷嘴；其中相邻的所述导流板之间的通孔相错设置；且自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的孔径递减。在本申请的线源装置中，自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的密度递增。在本申请的线源装置中，所述线源机构包括至少两个第一加热器，每个所述第一加热器用于加热一所述导流板；每个所述第一加热器包括电热丝，每个所述导流板上开设有沟道，所述电热丝设置在所述沟道内；所述电热丝从所述导流板的一端延伸至另一端，所述第一加热器设置有两个加热端，两个所述加热端分别位于同一所述导流板的两端且连接于所述电热丝。在本申请的线源装置中，每个所述坩埚机构还包括第二加热器、坩埚和真空泵；所述第二加热器设置在所述坩埚腔体上，所述坩埚设置在所述坩埚腔体内，所述真空泵设置在所述坩埚腔体的外侧，所述真空泵用于对所述坩埚腔体抽真空或向所述坩埚腔体充气。在本申请的线源装置中，所述线源机构还包括第一冷却层和第一隔热层，所述坩埚机构还包括第二冷却层和第二隔热层；所述第一冷却层设置在所述线源腔体的外壁上，所述第一隔热层设置在所述第一冷却层和所述线源腔体之间；所述第二冷却层设置在所述坩埚腔体的外壁上，所述第二隔热层设置在所述第二冷却层和所述坩埚腔体之间。本申请还涉及一种OLED蒸镀机，其包括：一蒸镀腔体，用于蒸镀OLED作业；以及一线源装置，用于喷涂气态有机材料，所述线源装置包括：一线源机构，设置在所述蒸镀腔体内且用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及至少两个坩埚机构，设置在所述蒸镀腔体外侧，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和一连接阀；所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。在本申请的OLED蒸镀机中，所述线源机构包括多个喷嘴，所述多个喷嘴连通于所述线源腔体且位于所述线源腔体的一侧，所述线源腔体的另一侧开设有至少两个开口，所述开口和所述坩埚机构一一对应，每个所述坩埚机构对应的固定设置在所述开口处。在本申请的OLED蒸镀机中，所述多个喷嘴呈阵列式排布，且相邻行之间的喷嘴相错设置。在本申请的OLED蒸镀机中，所述线源机构还包括至少两个导流板，所述至少两个导流板相互间隔设置且设置在所述喷嘴和所述开口之间；每个导流板上均开设有通孔，所述通孔用于将所述坩埚机构内的气态有机材料导流至所述喷嘴；其中相邻的所述导流板之间的通孔相错设置；且自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的孔径递减。在本申请的OLED蒸镀机中，自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的密度递增。在本申请的OLED蒸镀机中，所述线源机构包括至少两个第一加热器，每个所述第一加热器用于加热一所述导流板；每个所述第一加热器包括电热丝，每个所述导流板上开设有沟道，所述电热丝设置在所述沟道内；所述电热丝从所述导流板的一端延伸至另一端，所述第一加热器设置有两个加热端，两个所述加热端分别位于同一所述导流板的两端且连接于所述电热丝。在本申请的OLED蒸镀机中，每个所述坩埚机构还包括第二加热器、坩埚和真空泵；所述第二加热器设置在所述坩埚腔体上，所述坩埚设置在所述坩埚腔体内，所述真空泵设置在所述坩埚腔体的外侧，所述真空泵用于对所述坩埚腔体抽真空或向所述坩埚腔体充气。在本申请的OLED蒸镀机中，所述线源机构还包括第一冷却层和第一隔热层，所述坩埚机构还包括第二冷却层和第二隔热层；所述第一冷却层设置在所述线源腔体的外壁上，所述第一隔热层设置在所述第一冷却层和所述线源腔体之间；所述第二冷却层设置在所述坩埚腔体的外壁上，所述第二隔热层设置在所述第二冷却层和所述坩埚腔体之间。相较于现有技术的线源装置及OLED蒸镀机，本申请的线源装置及OLED蒸镀机通过至少两个坩埚机构的设置，使得其中一个坩埚机构工作，其他坩埚机构处于待工作状态，这样的设置提高了设备的使用效率，减少了设备加料时间；另外，在OLED蒸镀机中，将坩埚机构设置有蒸镀腔体外，当需要进行更换坩埚机构工作时，可避免打开蒸镀腔体，减少了蒸镀腔体内的污染，提高了生产良率；而且在OLED蒸镀机中，当需要添加有机材料时，只需打开没有材料的坩埚机构，而无需打开蒸镀腔体，从而减少了开腔时间和节省了电和气能源。解决了现有的线源装置在真空蒸镀过程中，添加蒸镀材料时，耗时长且开腔体时容易污染的技术问题。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍。下面描述中的附图仅为本申请的部分实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。图1为本申请的线源装置的实施例的结构示意图；图2为本申请的线源装置的实施例的导流板和加热器的结构示意图；图3为本申请的OLED蒸镀机的实施例的结构示意图。具体实施方式请参照附图中的图式，其中相同的组件符号代表相同的组件。以下的说明是基于所例示的本申请具体实施例，其不应被视为限制本申请未在此详述的其它具体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线源装置，其特征在于，包括：一线源机构，用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及至少两个坩埚机构，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。

【技术特征摘要】
1.一种线源装置，其特征在于，包括：一线源机构，用于将气态有机材料喷镀到TFT基板上，所述线源机构包括一线源腔体；以及至少两个坩埚机构，用于提供气态有机材料，每个所述坩埚机构均设置在所述线源机构的外侧，每个所述坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；所述连接阀设置在所述坩埚腔体和所述线源腔体之间，且用于将所述坩埚腔体和所述线源腔体隔开或连通。2.根据权利要求1所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构包括多个喷嘴，所述多个喷嘴连通于所述线源腔体且位于所述线源腔体的一侧，所述线源腔体的另一侧开设有至少两个开口，所述开口和所述坩埚机构一一对应，每个所述坩埚机构对应的固定设置在所述开口处。3.根据权利要求2所述的线源装置，其特征在于，所述多个喷嘴呈阵列式排布，且相邻行之间的喷嘴相错设置。4.根据权利要求2所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构还包括至少两个导流板，所述至少两个导流板相互间隔设置且设置在所述喷嘴和所述开口之间；每个导流板上均开设有通孔，所述通孔用于将所述坩埚机构内的气态有机材料导流至所述喷嘴；其中相邻的所述导流板之间的通孔相错设置；且自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的孔径递减。5.根据权利要求4所述的线源装置，其特征在于，自所述开口的一侧向所述喷嘴的一侧，所述导流板上通孔的密度递增。6.根据权利要求4所述的线源装置，其特征在于，所述线源机构包括至少两个第一加热器，每个所述第一加热器用于加热一所述导流板；每个所述第一加热器包括电热丝，每个所述导流板上开设有沟道，所述电热丝设置在所述沟道内；所述电热丝从所述导流板的一端延伸至另一端，所述第一加热器设...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏锋，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44