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本申请提供一种线源装置和OLED蒸镀机，其包括线源机构和至少两个坩埚机构，线源机构包括一线源腔体；每个坩埚机构均设置在线源机构的外侧，每个坩埚机构均包括一坩埚腔体和连接阀；连接阀设置在坩埚腔体和线源腔体之间，且用于将坩埚腔体和线源腔体隔开或...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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