The utility model belongs to the technical field of hydrogen peroxide purification, and specifically relates to a tail gas absorption device of a pharmaceutical storage tank, including a spray absorption tower, a pharmaceutical storage tank and a conveying pipeline. The spray absorption tower comprises a filling section and a liquid storage section. The upper part of the filling section is provided with the gas inlet and outlet of the first filling section and the water inlet of the filling section, and the lower part of the filling section is provided with the gas inlet and outlet of the second filling section. The upper part of the section is provided with the water inlet of the storage section, and the lower part of the storage section is provided with the water outlet of the storage section; the gas inlet and outlet of the pharmaceutical storage tank are arranged on the pharmaceutical storage tank; and the transmission pipeline includes the first transmission pipeline and the second transmission pipeline. The utility model has the advantages of simple device, convenient operation, avoiding the contamination of the medicament in the preparation and storage process, and ensuring that the exhaust gas inside and outside the medicament storage tank meets the requirements of environmental protection.
【技术实现步骤摘要】
一种药剂储槽的尾气吸收装置
本技术属于过氧化氢提纯
,具体涉及一种药剂储槽的尾气吸收装置。
技术介绍
超纯过氧化氢是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一,主要用做半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂,电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质,以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等,它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。近年来,随着电子工业的不断发展,超纯过氧化氢水溶液的需求也日益增长。想要生产出符合半导体电子行业要求的超纯过氧化氢,就需要将纯化用的树脂进行彻底再生,而树脂能否彻底再生与所用的再生药剂的纯净度相关,药剂越纯再生的树脂质量也越高。为了避免再生药剂与外界空气接触而导致质量变坏,目前通用的做法是采用氮封系统或U型水封来保护药剂。但是氮封系统需要建站超纯供氮站、呼吸阀等一系列装置,造价昂贵,并且超纯氮气的消耗也会增加很大一部分成本。而U型水封虽然结构简单,容易制作,造价低廉,其内部少量的纯水不能完全确保透过的外部空气是洁净的,一旦污染空气进入再生药剂,树脂就得不到彻底再生,会给电子级过氧化氢的生产带来极大的麻烦。药剂配制和储存过程中产生的气体,直接排除室外,会造成环境污染,不符合环保要求,氮封系统的呼吸阀虽然能隔断储槽与环境中的空气,但却不能阻止气体夹带的药剂排出储槽;U型水封虽然可以吸收气体夹带的药剂,但由于其水量较少,需要经常换水,操作很不方便。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足,本技术提供一种药剂储槽的尾气吸收装置技术方案。所述的一种药剂储槽的尾气吸收装置,其特征在 ...
【技术保护点】
1.一种药剂储槽的尾气吸收装置,其特征在于包括喷淋吸收塔、药剂储槽(1)和输送管线,喷淋吸收塔包括位于上部的填料段(2)和位于下部的储液段(3),填料段(2)的底部与储液段(3)的顶部连通,填料段(2)内填充聚丙烯填料,填料段(2)的上部设置第一填料段气体进出口(4)和填料段水进口(5),第一填料段气体进出口(4)上设置第一阀门(6),填料段水进口(5)上设置第二阀门(7),填料段(2)的下部设置第二填料段气体进出口(8),第二填料段气体进出口(8)上设置第三阀门(9);储液段(3)的上部设置储液段水进口(10),储液段水进口(10)上设置第四阀门(11),储液段(3)的下部设置储液段水出口(12),储液段水出口(12)上设置第五阀门(13);药剂储槽(1)上设置药剂储槽气体进出口(14),药剂储槽气体进出口(14)上设置第六阀门(15);输送管线包括分别与第二填料段气体进出口(8)和药剂储槽气体进出口(14)配合连接的第一输送管线(16)、分别与填料段水进口(5)和储液段水出口(12)配合连接的第二输送管线(17),第二输送管线(17)上设置循环泵(18),第二输送管线(17)配合连 ...
【技术特征摘要】
1.一种药剂储槽的尾气吸收装置,其特征在于包括喷淋吸收塔、药剂储槽(1)和输送管线,喷淋吸收塔包括位于上部的填料段(2)和位于下部的储液段(3),填料段(2)的底部与储液段(3)的顶部连通,填料段(2)内填充聚丙烯填料,填料段(2)的上部设置第一填料段气体进出口(4)和填料段水进口(5),第一填料段气体进出口(4)上设置第一阀门(6),填料段水进口(5)上设置第二阀门(7),填料段(2)的下部设置第二填料段气体进出口(8),第二填料段气体进出口(8)上设置第三阀门(9);储液段(3)的上部设置储液段水进口(10),储液段水进口(10)上设置第四阀门(11),储液段(3)的下部设置储液段水出口(12),储液段水出口(12)上设置第五阀门(13);药剂储槽(1)上设置药剂储槽气体进出口(14),药剂储槽气体进出口(14)上设置第六阀门(15);输送管线包括分别与第二填料段气体进出口(8)和药剂储槽气体进出口(14)配合连接的第一输送管线(16)、分别与...
【专利技术属性】
技术研发人员:周继业,白秀君,汪永超,朱洁洁,汤磊鹏,黄鑫,
申请(专利权)人:杭州精欣化工有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。