【技术实现步骤摘要】
本技术属于靶材制造领域，具体涉及一种带有尾气吸收装置的煅烧机。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进行溅射镀膜，目前所采用的煅烧工艺中用到的煅烧机尾气直接排放，尤其是生产靶材原料中的氨气，直接外排对于环境污染巨大。
技术实现思路
本技术为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种带有尾气吸收装置的煅烧机，能够将尾气充分吸收，保证环境安全，符合当今环保主题。本技术采用的具体技术方案是：一种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉、液压顶杆、变压器，液压顶杆设置在煅烧炉上方，煅烧炉的上端面与液压顶杆形成密封套装配合，煅烧炉内侧壁设置有炉内电极，炉内电极与液压顶杆分别连接变压器，所述煅烧炉上端面还设置有尾气排放口，所述的煅烧炉外侧套装有密封套壳，密封套壳连接通气管，通气管连接有尾气吸收罐，尾气吸收罐与密封套壳内侧借助通气管连通。还设置有冷却水箱，冷却水箱套装在通气管外侧，通气管在冷却水箱内呈螺旋状盘绕。所述的密封套壳为夹层结构，密封套壳的夹层内灌注有冷却液。尾气吸收罐上设置有抽气机，抽气机设置在尾气吸收罐上端，通气管连接在尾气吸收罐底部。本技术的有益效果是：本技术，采用尾气吸收罐进行尾气吸收，...
【技术保护点】
一种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉(1)、液压顶杆(2)、变压器，液压顶杆(2)设置在煅烧炉(1)上方，煅烧炉(1)的上端面与液压顶杆(2)形成密封套装配合，煅烧炉(1)内侧壁设置有炉内电极(3)，炉内电极(3)与液压顶杆(2)分别连接变压器，所述煅烧炉(1)上端面还设置有尾气排放口(4)，其特征在于：所述的煅烧炉(1)外侧套装有密封套壳(5)，密封套壳(5)连接通气管(6)，通气管(6)连接有尾气吸收罐(7)，尾气吸收罐(7)与密封套壳(5)内侧借助通气管(6)连通。
【技术特征摘要】
1.一种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉(1)、液压顶杆(2)、
变压器，液压顶杆(2)设置在煅烧炉(1)上方，煅烧炉(1)的上端面与
液压顶杆(2)形成密封套装配合，煅烧炉(1)内侧壁设置有炉内电极(3)，
炉内电极(3)与液压顶杆(2)分别连接变压器，所述煅烧炉(1)上端面
还设置有尾气排放口(4)，其特征在于：所述的煅烧炉(1)外侧套装有密
封套壳(5)，密封套壳(5)连接通气管(6)，通气管(6)连接有尾气吸
收罐(7)，尾气吸收罐(7)与密封套壳(5)内侧借助通气管(6)连通。
2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔娜，朱辉，闫丽娜，张卫，康林杰，郄奕，
申请(专利权)人：河北东同光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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