The utility model relates to a substrate processing device which comprises a platform, at least a pipeline and a pipe tail closing device. Platform for carrying a substrate. Pipeline for outputting a fluid to a substrate. The tail closing device is arranged on the fluid outlet end of the pipeline and comprises a main body and a movable part. The main body is provided with at least one flow passage corresponding to the fluid outlet of the pipeline so as to make the fluid output by the pipeline flow through the flow passage. The movable part is arranged in the main body, and is moved and moved between a conducting position and a closing position. The substrate processing device can prevent fluid from dropping when the fluid is stopped.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关一种关断装置以及基板处理装置,特别是一种防止流体滴落的管尾关断装置以及基板处理装置。
技术介绍
在半导体制程或其它类似制程中,常需要将化学液以供应系统推送至管路的出口端流出,并涂布或喷洒于基板表面以对基板进行蚀刻或清洗等操作。蚀刻或清洗的均匀性为影响制程成败的关键,因此,如何控制化学液于供应停止时不致继续滴落而造成非预期的结果,成为制程控制上的操作重点之一。一种已知的防止流体滴落的方法是在流体的供应系统中设置一回吸阀(suckbackvalve)。然而,回吸阀是设置于流体输送帮浦的出口端,其与管路的出口端相距甚远,因此,管路中的残留液体过多,导致液体重量大于回吸阀所产生的回吸力,进而发生管路出口的垂滴现象,尤其是粘度、比重、温度、挥发性、表面张力等流体特性相异的液体较常发生。另一种已知的防止流体滴落的方法是将垂滴于管路出口处的流体经由原管路或额外设置的一回吸管路吸引至它处。然而,此方法导致供应管路的复杂化。另一种已知的防止流体滴落的方法是将出口处的管路形成多处转折,例如呈N型,以使流体可暂存于转折处。然而,此方法亦使得管路出口端的空间复杂化。有鉴于此,如何使不同流体特性的流体于停止供应时确实关断,且在输送管路等速或加减速移动时不使残留的流体滴出便是目前极需努力的目标。
技术实现思路
本专利技术提供一种管尾关断装置以及基板处理装置,其是在管路的出口端设置管尾关断装置,以在停止供应流体时能够确实关断流体出口,以避免流体滴落或垂滴于管路的出口。本专利技术一实施例的管尾关断装置是设置于一管路的一流体出口端,并包含一本体以及一活动件。本体具 ...
【技术保护点】
一种管尾关断装置,其设置于一管路的一流体出口端,其特征在于,该管尾关断装置包含:一本体,其具有至少一流道,其与该管路的该流体出口相对应,以使该管路中的一流体流经该流道;以及一活动件,其设置于该本体内,并于一导通位置以及一关断位置之间往复移动,以选择性关断该流道。
【技术特征摘要】
1.一种管尾关断装置,其设置于一管路的一流体出口端,其特征在于,该管尾关断装置包含:一本体,其具有至少一流道,其与该管路的该流体出口相对应,以使该管路中的一流体流经该流道;以及一活动件,其设置于该本体内,并于一导通位置以及一关断位置之间往复移动,以选择性关断该流道。2.如权利要求1所述的管尾关断装置,其特征在于,该活动件的移动方向平行于该流道。3.如权利要求1所述的管尾关断装置,其特征在于,该活动件的移动方向垂直于该流道。4.如权利要求1所述的管尾关断装置,其特征在于,该活动件为一膜片,该流道具有一凸块,且该膜片以一压力气体驱动至该关断位置而抵靠于该凸块,以关断该流道。5.如权利要求1所述的管尾关断装置,其特征在于,该活动件以一弹性元件驱动,并沿该流道的方向移动至该关断位置而抵靠于该流道的出口,以关断该流道。6.如权利要求1所述的管尾关断装置,其特征在于,该活动件以一第一压力气体驱动,并沿垂直该流道的方向移动至该关断位置,以关断该流道,且该活动件以一第二压力气体驱动至该导通位置,以导通该流道。7.如...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘茂林,
申请(专利权)人:辛耘企业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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