一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用制造技术

本发明专利技术公开了一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用，该稳定剂由有机膦酸或其盐与超存水组成的溶液，有机膦酸或其盐为对过氧化氢溶液中的金属离子具有螯合或络合作用的物质。本发明专利技术经经过纯化处理的螯合或络合型的有机膦酸（或其盐）溶液为主要成分，只在超净高纯过氧化氢中加入极微量的稳定剂，既不影响过氧化氢的主要作用，又几乎不引入杂质，明显增强了过氧化氢的稳定性，使其使用效果更佳明显。从而使得过氧化氢在电子行业的应用更稳定，使电子产品的成品率、电性能及可靠性都更稳定。而且该稳定剂的制备工艺简单，适合于工业化生产，具有良好的经济效益。具有良好的经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用


[0001]本专利技术属于化学稳定剂
，具体涉及一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂及应用。

技术介绍

[0002]电子级过氧化氢水溶液作为一种超净高纯电子化学品，是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用做半导体晶片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等，它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。
[0003]由于超净高纯的电子级过氧化氢的稳定性偏低，且一般是与其他电子化学品复配成工作液使用，更为重要的是在使用过程中会不可避免地混入金属离子、有机物和颗粒物等杂质，从而使得过氧化氢变得更加不稳定，所以需要加入一种能使其增加稳定性又尽量不引入杂质的稳定剂。
[0004]目前，市场上的过氧化氢稳定剂主要包括无机磷酸、镁盐、锡酸钠或有机磷类等稳定剂。该类稳定剂对上述问题有了部分解决，但没有彻底解决，例如向过氧化氢中加入无机磷酸、镁盐、锡酸钠等稳定剂在食品本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，该稳定剂由有机膦酸或其盐与超存水组成的溶液，有机膦酸或其盐为对过氧化氢溶液中的金属离子具有螯合或络合作用的物质。2.如权利要求1所述的一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，稳定剂中有机膦酸或其盐与超存水的重量比为1
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3：1
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2。3.如权利要求1所述的一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，有机膦酸或其盐主要包括次氮基三亚甲基膦酸、1,2丙二胺四亚甲基膦酸、2
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羟基膦酰基乙酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、羟基乙叉二磷酸、1
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羟基亚乙基二膦酸。4.如权利要求1所述的一种电子级过氧化氢溶液的稳定剂，其特征在于，所述稳定剂可以是单一有机膦酸或其盐组成的溶液，也可以是两种或两种以上有机膦酸或其盐组成的混合溶液；所述电子级过氧化氢溶液含量为25
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50%。5.权利要求1
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4任一所述稳定剂在电子级过氧化氢溶液中的应用。6.权利要求5所述的应用，其特征在于，在洁净环境下，将所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪永超，白秀君，周继业，黄鑫，朱洁洁，
申请(专利权)人：杭州精欣化工有限公司，
类型：发明
国别省市：