一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于过氧化氢提纯技术领域，具体涉及一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，包括柱体和分别设置在柱体的上下端的上封头和下封头，所述上封头设置再生药剂进口、树脂灌装口、压力表和观察放空口，所述再生药剂进口配合连接再生药剂输送管线组件，所述再生药剂输送管线组件包括酸液输送管线、碱液输送管线、超纯水输送管线、总输送管线和总药剂排净管线。本实用新型专利技术装置简单，操作便捷，减少了树脂再生过程中药剂的交叉污染，使得采用该树脂柱再生的树脂提纯的过氧化氢质量能够满足半导体电子行业的需求，并大大提高了过氧化氢提纯的安全性。

A resin regeneration device for purifying hydrogen peroxide

The utility model belongs to the technical field of hydrogen peroxide purification, in particular to a resin regeneration device for purifying hydrogen peroxide, which comprises an upper head and a lower head respectively arranged at the upper and lower ends of the column. The upper head is provided with an import of regenerative agents, a filling port of resins, a pressure gauge and an observation vent. The import of regenerative agents is connected with a pipeline group of regenerative agents. The component of the regenerative reagent delivery pipeline comprises an acid liquid transmission pipeline, a alkali liquid transmission pipeline, an ultra-pure water transmission pipeline, a general transportation pipeline and a general reagent discharge pipeline. The utility model has the advantages of simple device, convenient operation, reduced cross-contamination of reagents in resin regeneration process, enabled the quality of hydrogen peroxide purified from resin regenerated by the resin column to meet the needs of semiconductor electronics industry, and greatly improved the safety of hydrogen peroxide purification.

【技术实现步骤摘要】
一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置
本技术属于过氧化氢提纯
，具体涉及一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置。
技术介绍
超纯过氧化氢是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用做半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等，它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。近年来，随着电子工业的不断发展，超纯过氧化氢水溶液的需求也日益增长。超纯过氧化氢一般是以廉价易得的工业级过氧化氢产品为原料，经一系列的提纯、净化过程而获得。为了去除工业级过氧化氢产品中的杂质，自20世纪50年代以来，人们相继开发了许多净化方法，主要包括减压蒸馏法、反渗透法、离子交换法以及几种方法的组合，而离子交换法，因为其耗能低、操作简便，并且可以通过再生重复使用，被广泛应用于超纯过氧化氢纯化工艺中。目前较为普遍使用的提纯过氧化氢的树脂再生装置，主要是酸液、碱液和纯水通过阀门分开，并连接如总药剂输送管线，进入树脂柱，进行树脂再生。简单的采用一个阀门将各个再生药剂隔开，出现阀门质量差或老化而产生药剂渗漏时，就会产生药剂交叉污染，从而导致树脂再生不彻底，使得纯化后的过氧化氢溶液的质量不符合半导体电子行业的质量标准，甚至在提纯过程中混入碱液，还有可能引起过氧化氢剧烈分解，发生安全事故。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足，本技术提供一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置技术方案。所述的一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，包括柱体和分别设置在柱体的上下端的上封头和下封头，所述上封头设置再生药剂进口、树脂灌装口、压力表和观察放空口，所述再生药剂进口配合连接再生药剂输送管线组件，所述再生药剂输送管线组件包括酸液输送管线、碱液输送管线、超纯水输送管线、总输送管线和总药剂排净管线，其中，所述酸液输送管线的上部设置第一阀门，所述酸液输送管线的下部分成两段，一段设置第二阀门并与总输送管线配合连接，另一段设置第三阀门并与总药剂排净管线配合连接，所述碱液输送管线的上部设置第四阀门，所述碱液输送管线的下部分成两段，一段设置第五阀门并与总输送管线配合连接，另一段设置第六阀门并与总药剂排净管线配合连接，所述超纯水输送管线设置第七阀门并与总输送管线配合连接，所述总输送管线与所述再生药剂进口配合连接。所述的一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，其特征在于所述柱体靠近下封头的一端设置树脂排出口。所述的一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，其特征在于所述下封头设置废液排放口。所述的一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，其特征在于所述总输送管线上设置流量计。本技术装置简单，操作便捷，减少了树脂再生过程中药剂的交叉污染，使得采用该树脂柱再生的树脂提纯的过氧化氢质量能够满足半导体电子行业的需求，并大大提高了过氧化氢提纯的安全性。附图说明图1为本技术结构示意图。图中：1柱体、2上封头、3下封头、4第七阀门、5第四阀门、6第一阀门、7流量计、8再生药剂进口、9树脂灌装口、10压力表、11观察放空口、12废液排放口、13第五阀门、14第二阀门、15第六阀门、16第三阀门、17总药剂排净管线、18树脂排出口、19酸液输送管线、20碱液输送管线、21超纯水输送管线、22总输送管线。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明。如图1所示，一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，包括柱体1和分别设置在柱体1的上下端的上封头2和下封头3，所述柱体1靠近下封头3的一端设置树脂排出口18，所述上封头2设置再生药剂进口8、树脂灌装口9、压力表10和观察放空口11，所述下封头3设置废液排放口12。所述再生药剂进口8配合连接再生药剂输送管线组件，所述再生药剂输送管线组件包括酸液输送管线19、碱液输送管线20、超纯水输送管线21、总输送管线22和总药剂排净管线17。其中，所述酸液输送管线19的上部设置第一阀门6，所述酸液输送管线19的下部分成两段，一段设置第二阀门14并与总输送管线22配合连接，另一段设置第三阀门16并与总药剂排净管线17配合连接。所述碱液输送管线20的上部设置第四阀门5，所述碱液输送管线20的下部分成两段，一段设置第五阀门13并与总输送管线22配合连接，另一段设置第六阀门15并与总药剂排净管线17配合连接。所述超纯水输送管线21设置第七阀门4并与总输送管线22配合连接，所述总输送管线22与所述再生药剂进口8配合连接，总输送管线22上设置流量计7。酸液输送管线19、碱液输送管线20的上部以及总药剂排净管线17均为竖直设置，第四阀门5、第一阀门6、第六阀门15和第三阀门16均打开时，液体向下流动。在本技术中，所述树脂灌装口9、压力表10、观察放空口11、废液排放口12以及总输送管线22上均另外安装阀门。酸再生时，酸液经过酸液输送管线19、第一阀门6、第二阀门14、总输送管线22，然后进入柱体1。酸再生结束后，关闭第一阀门6，打开第三阀门16，打开第七阀门4，使一部分超纯水沿总输送管线22进入柱体1置换酸液，一部分超纯水沿第二阀门14、第三阀门16进入总药剂排净管线17，直至总药剂排净管线17出口洗水pH为7，关闭第二阀门14，等酸液全部置换完全后，再关闭第七阀门4。碱再生时，碱液经过碱液输送管线20、第四阀门5、第五阀门13、总输送管线22，进入柱体1。碱再生结束后，关闭第四阀门5，打开第六阀门15，打开第七阀门4，使一部分超纯水沿总输送管线22进入柱体1置换碱液，一部分超纯水沿第五阀门13、第六阀门15进入总药剂排净管线17，直至总药剂排净管线17出口洗水pH为7，关闭第五阀门13，等碱液全部置换完全后，再关闭第七阀门4。树脂再生完成后，第六阀门15和第三阀门16呈开启状态，主要作用是用于观察第四阀门5和第一阀门6的密封状态，在第四阀门5和第一阀门6渗漏的情况下第一时间就会被发现，并且第六阀门15和第三阀门16处于开启状态，也断开了酸液输送管线19和碱液输送管线20与总输送管线22的连接，避免了树脂再生过程中药剂的交叉污染，确保树脂再生彻底。在本技术中，再生药剂输送管线组件具有反洗药剂，可以将阀门后与总药剂排净管线17接触段内残留的再生药剂清洗干净，确保进入柱体1的下一再生药剂的纯度；本技术的再生药剂输送管线组件，具有识别阀门渗漏功能，可以第一时间查找到管线的渗漏点；本技术的再生药剂输送管线组件，还具有切断药剂输送通路的功能，使得各种再生药剂不会出现交叉污染。故而该再生药剂输送管线组件，可以实现树脂的彻底再生，确保过氧化氢经纯化达到电子级过氧化氢质量标准，也极大提高了过氧化氢提纯过程的安全性，提高阀门渗漏判断的准确性，确保检维修的及时性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，包括柱体（1）和分别设置在柱体（1）的上下端的上封头（2）和下封头（3），所述上封头（2）设置再生药剂进口（8）、树脂灌装口（9）、压力表（10）和观察放空口（11），所述再生药剂进口（8）配合连接再生药剂输送管线组件，所述再生药剂输送管线组件包括酸液输送管线（19）、碱液输送管线（20）、超纯水输送管线（21）、总输送管线（22）和总药剂排净管线（17），其中，所述酸液输送管线（19）的上部设置第一阀门（6），所述酸液输送管线（19）的下部分成两段，一段设置第二阀门（14）并与总输送管线（22）配合连接，另一段设置第三阀门（16）并与总药剂排净管线（17）配合连接，所述碱液输送管线（20）的上部设置第四阀门（5），所述碱液输送管线（20）的下部分成两段，一段设置第五阀门（13）并与总输送管线（22）配合连接，另一段设置第六阀门（15）并与总药剂排净管线（17）配合连接，所述超纯水输送管线（21）设置第七阀门（4）并与总输送管线（22）配合连接，所述总输送管线（22）与所述再生药剂进口（8）配合连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于提纯过氧化氢的树脂再生装置，包括柱体（1）和分别设置在柱体（1）的上下端的上封头（2）和下封头（3），所述上封头（2）设置再生药剂进口（8）、树脂灌装口（9）、压力表（10）和观察放空口（11），所述再生药剂进口（8）配合连接再生药剂输送管线组件，所述再生药剂输送管线组件包括酸液输送管线（19）、碱液输送管线（20）、超纯水输送管线（21）、总输送管线（22）和总药剂排净管线（17），其中，所述酸液输送管线（19）的上部设置第一阀门（6），所述酸液输送管线（19）的下部分成两段，一段设置第二阀门（14）并与总输送管线（22）配合连接，另一段设置第三阀门（16）并与总药剂排净管线（17）配合连接，所述碱液输送管线（20）的上部设置第四...

【专利技术属性】
技术研发人员：周继业，白秀君，汪永超，黄鑫，朱洁洁，汤磊鹏，
申请(专利权)人：杭州精欣化工有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33