一种多层坩埚制造技术

本实用新型专利技术提供了一种多层坩埚，所述多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。本实用新型专利技术提供的多层坩埚具有结构简单、利用率高和成本较低的优点。

A multilayer crucible

The utility model provides a multi-layer crucible, which is composed of at least two crucible layers, in which the crucible layer on the outside side of the two adjacent crucible layers is attached to the outer wall of the inner crucible layer. The multi-layer crucible provided by the utility model has the advantages of simple structure, high utilization rate and low cost.

【技术实现步骤摘要】
一种多层坩埚
本技术涉及坩埚
，尤其涉及一种多层坩埚。
技术介绍
本技术对于
技术介绍
的描述属于与本技术相关的相关技术，仅仅是用于说明和便于理解本技术的
技术实现思路
，不应理解为申请人明确认为或推定申请人认为是本技术在首次提出申请的申请日的现有技术。热解氮化硼(简称PBN)坩埚由PBN制成，即使在高温下，也不会与原料化合物反应，同时PBN坩埚纯度高(99.999％)，表面致密，耐高温，热膨胀系数小，热导率高，且有着明显的各向异性，浸润角大等优点。热解法制备的BN坩埚具有自身纯度高、较高的高温性能等优点。但有时，坩埚内的原料经过高温加热后会粘结在坩埚内壁上，不易分离，且由于原料的膨胀率与坩埚的膨胀率相差较大，导致冷却时造成坩埚破裂，从而需要更换新的坩埚，坩埚整体的利用率低。例如，铝或银在坩埚内进行高温加热蒸发后，残余的铝或银液体会粘结在坩埚内壁上，低温冷却收缩后会使坩埚破裂，致使坩埚只能报废，不能再次利用，这会使坩埚的利用率降低，并且更换坩埚需要时间，会降低生产效率，提高生产成本。
技术实现思路
为了解决坩埚利用率低的问题，本技术提供了一种利用率高的多层坩埚。本技术实施例提供了一种多层坩埚，所述多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。优选地，相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层通过化学气相沉积法附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。优选地，所述坩埚为气相沉积而成的氮化硼坩埚。优选地，构成所述多层坩埚的至少两个坩埚层中最外侧的坩埚层的厚度占所述多层坩埚总厚度的二分之一至四分之三。优选地，构成所述多层坩埚的至少两个坩埚层中除了最外侧的坩埚层，其他坩埚层的厚度基本相同，所述基本相同是指所述其他坩埚层每一层的实际厚度与所述其他坩埚层的总厚度除以所述其他坩埚层的层数所得平均后的厚度差不超过10％。优选地，构成所述多层坩埚的至少两个坩埚层中最外侧的坩埚层的壁厚为0.05mm-2mm，除最外侧的坩埚层之外的其他各坩埚层的单层厚度为0.01mm-0.5mm。优选地，所述化学气相沉积采用的基体的材质为石墨。优选地，至少两个所述坩埚层的结构均为同质外延生长结构。本技术具有以下有益效果：本技术实施例的多层坩埚由至少两层坩埚层组成，使用时，即使最内侧坩埚层发生破裂，剩余的坩埚层还能作为整体继续使用，避免了整个坩埚都报废的问题。提高了坩埚的利用率和生产效率，并节约了更换坩埚的时间和成本。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术所述多层坩埚具有两层坩埚实施例的结构示意图；图2为本技术所述多层坩埚具有三层坩埚实施例的结构示意图。附图标记说明：1-第一坩埚层，2-第二坩埚层，3-第三坩埚层。具体实施方式下述讨论提供了本技术的多个实施例。虽然每个实施例代表了技术坩埚的单一组合，但是本技术不同实施例的坩埚层可以替换，或者合并组合，因此本技术也可认为包含所记载的相同和/或不同实施例中坩埚层的所有可能组合。因而，如果一个实施例包含坩埚层A、B、C，另一个实施例包含坩埚层B和D的组合，那么本技术也应视为包括含有A、B、C、D的一个或多个坩埚层的所有其他可能的组合的实施例，尽管该实施例可能并未在以下内容中有明确的文字记载。应当理解的是，尽管在下文中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种坩埚层，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的坩埚层彼此区分开。例如，在不脱离本技术范围的情况下，“第一”坩埚层也可以被称为“第二”坩埚层，类似的，“第二”坩埚层也可以被称为“第一”坩埚层。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部内容。本技术涉及一种多层坩埚。本技术中的多层是指两层或两层以上。根据本技术的一个实施例，如图1，本技术的实施例提供了一种多层坩埚，该多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。本技术实施例的多层坩埚至少包括两个坩埚层，如图1所示的实施例包括第一坩埚层1和第二坩埚层2，第二坩埚层2附着在第一坩埚层1外壁上。而图2所示的实施例包括一坩埚层1、第二坩埚层2和第三坩埚层3。由于各坩埚层之间具有一定的结合力，因此，在使用时，本技术实施例的多层坩埚作为一个整体使用，同步收缩，与现有的单层坩埚在使用上没有区别。而又由于本技术实施例的多层坩埚的层结构，当因膨胀率的差异，导致粘附在坩埚内壁上的原料收缩撕裂坩埚时，仅是撕裂最内侧的坩埚层，而剩余的坩埚层组成的坩埚仍然可以作为一个整体继续使用。本技术实施例的多层坩埚较现有的坩埚利用率更高，从而降低了使用坩埚的企业的成本。本技术附图所示的实施例仅是作为示例说明其层结构，并非对本技术的具体限定，如层比例、形状以及层数等等。作为上述实施例的一个优选，组成本技术实施例的多层坩埚的每一层均是通过化学气相沉积法获得，采用化学气相沉积法制备多层坩埚层的每一层，可以使层与层(如第一坩埚层1和第二坩埚层2)之间紧密结合为一个整体，而层与层相结合的部位又是整个多层坩埚中结合力较为薄弱的部位，从而在坩埚使用时，本技术实施例的多层坩埚可以作为一个整体使用，而由于原料收缩导致坩埚破裂时，仅最内层的坩埚层破裂，由于层与层之间相对其他部分结合力相对较弱，使其它层(除最内层之外)保持完整，且仍然能够继续使用，不影响整体生产的正常工作，能够提高坩埚整体的利用率，并能节省生产成本。本技术实施例的多层坩埚至少由两层构成，如可以是如图1所示，仅包括第一坩埚层1和第二坩埚层2，当然本技术实施例的多层坩埚也可以是由多于两层的更多层构成。为了使坩埚的使用效果更好、更加安全，在一个优选实施例中，构成多层坩埚的至少两层坩埚层的材质相同，以防止膨胀或收缩率不同而影响使用效果。在图2所示的本技术的另一个实施例中，还包括第三坩埚层3，第三坩埚层3附着在第二坩埚层2外壁上。当然，如上述实施例所述的，第三坩埚层3也可以是通过化学气相沉积法得到的。本实施例通过设置三层坩埚层，可以进一步提高坩埚整体的利用率和提高生产效率，并能进一步节省使用多层坩埚的企业的生产成本。在其他实施例中，可以通过在第三坩埚层3外壁上附着第四、第五或更多层坩埚层构成本技术实施例的多层坩埚，本领域技术人员应能理解其构成及所具备的效果。作为本技术一个优选的实施例，本技术实施例的多层坩埚为气相沉积而成的氮化硼坩埚。化学气相沉积(Chemicalvapordeposition，简称CVD)是把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其他气体引入反应室，在衬底材料表面生成薄膜的过程。在本技术的一个优选实施例中，第一坩埚层1、第二坩埚层2和第三坩埚层3均由氮气、三氯化硼和氨气气相沉积而成，采用这种方法制造出来的坩埚在高温条件也极其稳定，在蒸发过程中不会因为挥发而影响蒸发所得材料的纯度。另外，坩埚结构致密，能有效地阻止坩埚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多层坩埚，其特征在于，所述多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。

【技术特征摘要】
1.一种多层坩埚，其特征在于，所述多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。2.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层通过化学气相沉积法附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。3.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，所述坩埚为气相沉积而成的氮化硼坩埚。4.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，构成所述多层坩埚的至少两个坩埚层中最外侧的坩埚层的厚度占所述多层坩埚总厚度的二分之一至四分之三。5.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，构成所述多层坩埚的至少两个坩...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇天津半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12