一种氮化硼坩埚生产系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种氮化硼坩埚生产系统，包括：原料供给装置，供应生产所需原料气体；沉积炉，具有进气口和排气口，所述进气口设有进气头，所述进气头与所述原料供给装置通过送气管道连接，所述送气管道上设有调节原料流量的流量调节阀；废气处理装置，通过排气管道与所述排气口连接。本实用新型专利技术提供的氮化硼坩埚生产系统结构简单、占地面积小，生产出来的坩埚质量较好。

A Boron Nitride Crucible Production System

The utility model provides a production system of a boron nitride crucible, which comprises a raw material supply device to supply the raw material gas required for production; a depositing furnace with an air inlet and an exhaust port, the air inlet having an air inlet, the air inlet being connected with the raw material supply device through a gas supply pipeline, and the air supply pipeline having an adjustment. A flow regulating valve for saving raw material flow and an exhaust gas treatment device are connected with the exhaust outlet through an exhaust pipe. The boron nitride crucible production system provided by the utility model has the advantages of simple structure, small occupation area and good quality of the crucible produced.

【技术实现步骤摘要】
一种氮化硼坩埚生产系统
本技术涉及坩埚生产
，尤其涉及一种氮化硼坩埚生产系统。
技术介绍
本技术对于
技术介绍
的描述属于与本技术相关的相关技术，仅仅是用于说明和便于理解本技术的
技术实现思路
，不应理解为申请人明确认为或推定申请人认为是本技术在首次提出申请的申请日的现有技术。热解氮化硼(简称PBN)具有纯度高、无毒、耐高温、耐酸碱、耐盐及耐有机溶剂、性质稳定；在高温下与绝大多数熔融金属、半导体材料不润湿、不反应；电绝缘性能好和高温下无杂质挥发；抗热震性优异、热导性好和热膨胀系数低；电阻高、介电强度高、介电常数小、磁损耗正切低并且具有良好的透微波和红外线性能等等诸多优点。被广泛用作半导体单晶及Ⅲ-V族化合物合成用的坩埚、基座；异形坩埚及异形石墨件涂层；晶片退火工艺用复合加热器等等。热解氮化硼(简称PBN)坩埚由PBN制成，即使在高温下，也不会与原料化合物反应，同时PBN坩埚纯度高(99.999％)，表面致密，耐高温，热膨胀系数小，热导率高，且有着明显的各向异性，浸润角大等优点。热解法制备的BN坩埚具有自身纯度高、较高的高温性能等优点。但现有生产BN坩埚的装置或系统不适于批量、连续生产。
技术实现思路
本技术的主要目的，是提供了一种结构简单的氮化硼坩埚生产系统。本技术实施例提供了一种氮化硼坩埚生产系统，包括：原料供给装置，供应生产所需原料气体；沉积炉，具有进气口和排气口，所述进气口设有进气头，所述进气头与所述原料供给装置通过送气管道连接，所述送气管道上设有调节原料流量的流量调节阀；废气处理装置，通过排气管道与所述排气口连接。优选地，还包括：流量传感器，监测送气管道输送的原料流量；控制装置，连接流量传感器，所述流量传感器发送流量信息至所述控制装置；其中所述流量调节阀为电磁阀，所述流量调节阀与所述控制装置连接，所述控制装置根据接收的流量信息控制流量调节阀的开启度，从而对流量进行调节。优选地，还包括过滤装置，所述过滤装置设置于废气处理装置至排气口之间的排气管道上，所述过滤装置对排气管道中的气体携带的颗粒进行过滤。优选地，还包括抽真空装置，所述抽真空装置设在所述过滤装置下游的排气管道上，所述抽真空装置通过所述排气管道对所述沉积炉抽真空。优选地，所述抽真空装置设于过滤装置和废气处理装置之间，或所述抽真空装置与所述废气处理装置的排气口连接。优选地，所述废气处理装置为喷淋吸收装置。优选地，所述过滤装置，包括：壳体，所述壳体内设置有容置腔，所述壳体上具有连通所述容置腔的进气口和出气口；和过滤体，所述过滤体设置在所述容置腔内，所述过滤体隔离所述进气口和出气口，并对经过所述容置腔的气体进行过滤，所述过滤体由过滤丝缠绕而成。优选地，所述过滤装置还包括支架，所述支架设于所述容置腔内，所述支架用于将所述过滤体固定在所述容置腔内。优选地，所述进气口和出气口的内径小于所述容置腔的内径。优选地，所述容置腔的下端设置有收集槽，所述收集槽位于所述进气口与所述过滤体之间，且所述收集槽邻近所述过滤体设置。本技术具有以下有益效果：由原料供给装置、沉积炉、和废气处理装置组成坩埚生产系统，结构简单、合理，占地面积小，能够节约成本、有利于提高坩埚生产的质量，适于批量、连续生产。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术所述氮化硼坩埚生产系统第一实施例的结构示意图；图2为本技术所述氮化硼坩埚生产系统第二实施例的结构示意图；图3为本技术所述氮化硼坩埚生产系统第三实施例的结构示意图；图4为本技术所述氮化硼坩埚生产系统第四实施例的结构示意图；图5为本技术所述氮化硼坩埚生产系统第五实施例的结构示意图。图6a为本技术所述过滤装置第一种实施例的剖视结构示意图；图6b为本技术所述过滤装置第二种实施例的剖视结构示意图；图6c为本技术所述过滤装置第三种实施例的剖视结构示意图；图7a为本技术所述过滤装置第二种实施例第一状态的剖视结构示意图；图7b为本技术所述过滤装置第二种实施例第二状态的剖视结构示意图；图8a为本技术所述过滤装置第三种实施例第一状态的剖视结构示意图；图8b为本技术所述过滤装置第三种实施例第二状态的剖视结构示意图；图9为本技术所述过滤丝的剖视结构示意图；图10为本技术所述过滤丝一实施例的结构部分放大图。附图标记说明：1-原料供给装置，2-沉积炉，3-废气处理装置，4-流量调节阀，5-进流量传感器，6-控制装置，7-过滤装置，8-抽真空装置，10-壳体，11-进气口，12-出气口，13-容置腔，14-半壳体，20-过滤体，21-过滤丝，30-支架，40-自清洁装置，50-收集槽，60-密封板，70-连接管，80-法兰。具体实施方式下述讨论提供了本技术的多个实施例。虽然每个实施例代表了坩埚生产系统中要素的单一组合，但是本技术不同实施例的坩埚生产系统中的要素可以替换，或者合并组合，因此本技术也可认为包含所记载的相同和/或不同实施例中坩埚生产系统中的要素的所有可能组合。因而，如果一个实施例包含生产系统中的要素A、B、C，另一个实施例包含生产系统中的要素B和D的组合，那么本技术也应视为包括含有A、B、C、D的一个或多个坩埚生产系统中的要素的所有其他可能的组合的实施例，尽管该实施例可能并未在以下内容中有明确的文字记载。本技术涉及一种氮化硼坩埚生产系统。根据本技术的一个实施例，如图1，本技术的实施例提供了一种氮化硼坩埚生产系统，包括：原料供给装置1，供应生产所需原料气体；沉积炉2，具有进气口和排气口，进气口设有进气头，进气头与原料供给装置1通过送气管道连接，送气管道上设有调节原料流量的流量调节阀4；废气处理装置3，通过排气管道与排气口连接。由原料供给装置1、沉积炉2、废气处理装置3组成本技术一个实施例的氮化硼坩埚生产系统，要用于氮化硼坩埚的生产，结构比较简单，并且灵活方便，适于大批量、连续生产。上述实施例中的管道连接比较常见、安装比较简单、快捷，能快速的投入生产，并能够节约成本。一个实施例中，原料供给装置1包括至少一个气体存储罐，用于生产不同类型、用途的坩埚。一个实施例中，原料供给装置1包括三个气体存储罐，分别装有氮气、三氯化硼和氨气，用来生产氮化硼坩埚。一个实施例中，沉积炉2选用气相沉积炉，用于实现气体沉积，气相沉积炉是生产氮化硼坩埚的核心设备，采用气相沉积炉能更加安全高效的进行生产。一个实施例中，沉积炉2的外壳为钢材料制成，为了达到热解氮化硼的高温反应条件，确保制备高纯度热解氮化硼坩埚，沉积炉2内的温度会持续保持在1800～2000℃，因此沉积炉2的外壳采用钢材料制成，一方面，钢的价格比较低廉、容易获得，且不易生锈，能有效降低坩埚生产系统的成本，另一方便，钢制外壳耐高温，沉积炉2的外壳为钢材料制成，比较安全可靠。在其它实施例中，如果能满足上述实施例中的条件和效果，沉积炉2的外壳也可以采用其它耐高温材质制作。一个实施例中，沉积炉2的外壳内具有碳纤维或陶瓷等高性能隔热保温材料构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化硼坩埚生产系统，其特征在于，包括：原料供给装置，供应生产所需原料气体；沉积炉，具有进气口和排气口，所述进气口设有进气头，所述进气头与所述原料供给装置通过送气管道连接，所述送气管道上设有调节原料流量的流量调节阀；废气处理装置，通过排气管道与所述排气口连接。

【技术特征摘要】
1.一种氮化硼坩埚生产系统，其特征在于，包括：原料供给装置，供应生产所需原料气体；沉积炉，具有进气口和排气口，所述进气口设有进气头，所述进气头与所述原料供给装置通过送气管道连接，所述送气管道上设有调节原料流量的流量调节阀；废气处理装置，通过排气管道与所述排气口连接。2.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚生产系统，其特征在于，还包括：流量传感器，监测送气管道输送的原料流量；控制装置，连接流量传感器，所述流量传感器发送流量信息至所述控制装置；其中所述流量调节阀为电磁阀，所述流量调节阀与所述控制装置连接，所述控制装置根据接收的流量信息控制流量调节阀的开启度，从而对流量进行调节。3.根据权利要求1所述的氮化硼坩埚生产系统，其特征在于，还包括过滤装置，所述过滤装置设置于废气处理装置至排气口之间的排气管道上，所述过滤装置对排气管道中的气体携带的颗粒进行过滤。4.根据权利要求3所述的氮化硼坩埚生产系统，其特征在于，还包括抽真空装置，所述抽真空装置设在所述过滤装置下游的排气管道上，所述抽真空装置通过所述排气管道对所述沉积炉抽真空。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21