一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，包括支撑框、外侧弧形支撑托及内侧弧形压紧组件；支撑框包括支撑挡板，支撑挡板的一侧面的两侧对称的设置有支撑杆；支撑杆的内侧壁面上设置有工字型的条形凹槽；支撑挡板的侧面的中部设置有第一通孔；外侧弧形支撑托设置于支撑框的内侧，用于抵接喷嘴环形侧壁的外侧壁面；内侧弧形压紧组件设置于外侧弧形支撑托的内侧，用于对应外侧弧形支撑托抵接至喷嘴环形侧壁的内侧壁面。本实用新型专利技术的变形纠正装置，可以纠正变形的喷嘴环形侧壁，使喷嘴环形侧壁表面平滑；另外可以满足在支撑框上装配不同直径大小的外侧弧形支撑托来对不同直径大小的喷嘴环形侧壁进行变形纠正，通用性高。通用性高。通用性高。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置


[0001]本技术涉及工装设备
，尤其涉及一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置。

技术介绍

[0002]在OLED显示面板的制备工艺中，很多功能层都需要采用真空热蒸镀方式形成，具体的，首先将材料放置坩埚内，然后在真空环境下加热坩埚，使坩埚内的材料气化并从坩埚的喷嘴处喷出，而喷出后的气态材料遇到温度较低的玻璃板上，就能够在玻璃板上形成有机膜。其中，喷嘴为金属制成可以均匀导流气体的通道，形状为两端大，中间窄；其中，喷嘴的一端面为均匀分布有若干通孔的气孔端盖，气孔端盖通过气孔端盖固定脚固定在喷嘴环形侧壁上，此端为进气口；另一端一体式的设置有环形沿，为出气口；由于喷嘴环形侧壁为金属制作，极易变形，致其表面凹凸不平，需要对其形变进行纠正。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置。
[0004]本技术提供的一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，包括支撑框、外侧弧形支撑托及内侧弧形压紧组件；其中，
[0005]所述支撑框，包括支撑挡板，所述支撑挡板的一侧面的两侧对称的设置有支撑杆，所述支撑杆垂直于所述支撑挡板的侧面设置；所述支撑杆的内侧壁面上设置有工字型的条形凹槽，所述条形凹槽沿所述支撑杆的长度方向设置；所述支撑挡板的侧面的中部位于两个所述支撑杆之间设置有第一通孔；
[0006]所述外侧弧形支撑托，可拆卸的设置于所述支撑框的内侧，用于抵接喷嘴环形侧壁的外侧壁面；
[0007]所述内侧弧形压紧组件，可拆卸的设置于所述外侧弧形支撑托的内侧，用于对应所述外侧弧形支撑托抵接至所述喷嘴环形侧壁的内侧壁面。
[0008]优选的，所述外侧弧形支撑托包括支撑座，所述支撑座的两侧对应所述条形凹槽对称的设置有工字型的卡接条，所述卡接条沿所述支撑座的宽度方向设置；所述支撑座远离所述第一通孔的一侧面对应所述喷嘴环形侧壁的外侧壁面设置为弧形面，用于抵接所述喷嘴环形侧壁的外侧壁面；所述支撑座靠近所述第一通孔的一侧对应所述第一通孔设置有第二通孔。
[0009]优选的，所述内侧弧形压紧组件包括对应所述喷嘴环形侧壁的内侧壁面设置的弧形压紧件，所述弧形压紧件的外侧壁面上对应所述第二通孔设置有螺纹孔，穿过所述第一通孔、第二通孔并旋入所述螺纹孔的内部设置有丝杆。
[0010]优选的，所述弧形压紧件的高度大于所述喷嘴环形侧壁的高度设置，所述第一通孔、第二通孔及螺纹孔的高度均高于所述喷嘴环形侧壁的高度设置。
[0011]优选的，所述弧形压紧件的底部对应气孔端盖固定脚设置有贯穿所述弧形压紧件两侧的沟槽，避免放置所述弧形压紧件时发生干涉。
[0012]相对于现有技术而言，本技术的有益效果是：
[0013]本技术的坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，通过设置的支撑框、外侧弧形支撑托及内侧弧形压紧组件之间的相互配合，可以纠正变形的喷嘴环形侧壁，使喷嘴环形侧壁表面平滑；另外，将外侧弧形支撑托与支撑框之间设计为可拆卸结构，可以满足在支撑框上装配不同直径大小的外侧弧形支撑托来对不同直径大小的喷嘴环形侧壁进行变形纠正，通用性高。
[0014]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。
[0015]本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1为本技术实施例提供的一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置的结构示意图；
[0018]图2为支撑框的正面的结构示意图；
[0019]图3为外侧弧形支撑托的正面的结构示意图；
[0020]图4为外侧弧形支撑托的俯视图的结构示意图；
[0021]图5为内侧弧形压紧组件的结构示意图；
[0022]图6为弧形压紧件的正面的结构示意图；
[0023]图7为喷嘴的结构示意图；
[0024]图中标号：1、支撑框；11、支撑挡板；12、支撑杆；13、条形凹槽；14、第一通孔；
[0025]2、外侧弧形支撑杆；21、支撑座；22、卡接条；23、弧形面；24、第二通孔；
[0026]3、内侧弧形压紧组件；31、弧形压紧件；32、螺纹孔；33、丝杆；34、沟槽；
[0027]4、喷嘴；41、喷嘴环形侧壁；42、气孔端盖；43、气孔端盖固定脚。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0029]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0030]请参考图1～图7，本技术的实施例提供了一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，其特征在于，包括支撑框1、外侧弧形支撑托2及内侧弧形压紧组件3；其中，
[0031]支撑框1，包括支撑挡板11，支撑挡板11的一侧面的两侧对称的设置有支撑杆12，支撑杆12垂直于支撑挡板11的侧面设置；支撑杆12的内侧壁面上设置有工字型的条形凹槽13，条形凹槽13沿支撑杆12的长度方向设置；支撑挡板11的侧面的中部位于两个支撑杆12
之间设置有第一通孔14；
[0032]外侧弧形支撑托2，可拆卸的设置于支撑框1的内侧，用于抵接喷嘴环形侧壁41的外侧壁面；
[0033]内侧弧形压紧组件3，可拆卸的设置于外侧弧形支撑托2的内侧，用于对应外侧弧形支撑托2抵接至喷嘴环形侧壁41的内侧壁面。
[0034]在一优选实施例中，外侧弧形支撑托2包括支撑座21，支撑座21的两侧对应条形凹槽13对称的设置有工字型的卡接条22，卡接条22沿支撑座21的宽度方向设置；支撑座21远离第一通孔14的一侧面对应喷嘴环形侧壁41的外侧壁面设置为弧形面23，用于抵接喷嘴环形侧壁41的外侧壁面；支撑座21靠近第一通孔14的一侧对应第一通孔14设置有第二通孔24。其中，卡接条22可卡接进对应的条形凹槽13的内部设置，将支撑座21固定在支撑框1的内侧；可以方便更换不同尺寸的弧形面23的支撑座21，以便于对不同型号喷嘴环形侧壁41的变形进行纠正，提高通用性。
[0035]在一优选实施例中，内侧弧形压紧组件3包括对应喷嘴环形侧壁41的内侧壁面设置的弧形压紧件31，弧形压紧件31的外侧壁面上对应第二通孔24设置有螺纹孔32，穿过第一通孔14、第二通孔24并旋入螺纹孔32的内部设置有丝杆33。
[0036]在一优选实施例中，弧形压紧件31的高度大于喷嘴环形侧壁41的高度设置，第一通孔14、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，其特征在于，包括支撑框、外侧弧形支撑托及内侧弧形压紧组件；其中，所述支撑框，包括支撑挡板，所述支撑挡板的一侧面的两侧对称的设置有支撑杆，所述支撑杆垂直于所述支撑挡板的侧面设置；所述支撑杆的内侧壁面上设置有工字型的条形凹槽，所述条形凹槽沿所述支撑杆的长度方向设置；所述支撑挡板的侧面的中部位于两个所述支撑杆之间设置有第一通孔；所述外侧弧形支撑托，可拆卸的设置于所述支撑框的内侧，用于抵接喷嘴环形侧壁的外侧壁面；所述内侧弧形压紧组件，可拆卸的设置于所述外侧弧形支撑托的内侧，用于对应所述外侧弧形支撑托抵接至所述喷嘴环形侧壁的内侧壁面。2.根据权利要求1所述的坩埚用喷嘴的环形侧壁的变形纠正装置，其特征在于，所述外侧弧形支撑托包括支撑座，所述支撑座的两侧对应所述条形凹槽对称的设置有工字型的卡接条，所述卡接条沿所述支撑座的宽度方向设置；所述支撑座远离所述第一通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：