一种OLED蒸镀用陶瓷加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种OLED蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区，位于所述加热器基体的侧面；电极，位于所述加热器基体的底面；其中，所述电极两两相对设置，两个相对设置的所述电极与所述加热器基体底面的圆心连线夹角为150

【技术实现步骤摘要】
一种OLED蒸镀用陶瓷加热器


[0001]本技术涉及蒸镀用陶瓷加热器
，特别涉及一种OLED蒸镀用陶瓷加热器。

技术介绍

[0002]目前不同行业对于加热器有特殊的要求，比如在制作太阳能薄膜电池和OLED柔性面板这种真空蒸镀工艺中，因为是在高真空环境下生产制作，所以对于加热器的要求更是极为严苛，例如，为了确保蒸镀材料的均匀扩散以及避免局部温度过高影响装料容器的使用寿命，要求加热器本身均温性好；为了保证加热器的使用安全，避免因为连电短路导致的生产事故。
[0003]现有的蒸镀用立式陶瓷加热器电极连接后容易存在间隙，使用时易出现打火损坏情况。此外，现有加热器在安装时候后，会出现加热不均匀的情况，即被加热材料局部温度过高，使得蒸镀材料挥发速率不一致，从而影响各位置成膜速率，导致各位置膜厚分布不均匀，降低了成膜的良率。因此，需要研发一种新型的OLED蒸镀用陶瓷加热器。

技术实现思路

[0004](一)技术目的
[0005]本技术的目的是提供一种在安装使用后能够保证加热均匀性的OLED蒸镀用陶瓷加热器。
[0006](二)技术方案
[0007]为解决上述问题，本技术实施例提供了一种OLED蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区，位于所述加热器基体的侧面；电极，位于所述加热器基体的底面；其中，所述电极两两相对设置，两个相对设置的所述电极与所述加热器基体底面的圆心连线夹角为150
°‑
180
°
。
[0008]进一步地，所述电极包括：导电层露出部；安装孔，位于所述导电层露出部；其中，所述导电层露出部的面积大于等于所述安装孔面积。
[0009]进一步地，多个所述电极不重合设置。
[0010]进一步地，所述加热器基体的侧面与所述加热器基体的底面通过弧面连接。
[0011]进一步地，所述加热区具有电路，所述电路串联或并联；其中，所述电路串联时，电极与电路连接处的宽度≥所述电路的宽度；所述电路并联时，电极与所述电路连接处的宽度≥两倍的所述电路的宽度。
[0012]进一步地，所述电路等宽设置。
[0013]进一步地，相邻所述电路的间隔为0.3
‑
3mm。
[0014]进一步地，还包括：多个所述加热区，沿所述加热器基体的轴向间隔分布在所述加热器基体的侧面；相邻的两个所述加热区间隔为3
‑
30mm。
[0015]进一步地，所述加热器基体的底面具有通孔；所述通孔的轴向与所述加热器基体
的轴向重合；其中，所述通孔的直径为所述加热器基体内径的10
‑
75％。
[0016]进一步地，所述加热器基体高度为10
‑
800mm；所述加热器基体内径为10
‑
300mm。
[0017](三)有益效果
[0018]本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
[0019]将电极设置在筒型加热器的底面，底面设置电极更牢固，连接件与电极的贴合更为紧密无间隙，解决了使用过程中的打火问题，提高了加热器使用安全性，延长了使用寿命。电极的位置分布方式使电源线对加热器施加的拉力达到平衡或近似平衡态，以保证加热器的轴向位于竖直方向，不会倾斜，使加热器对被加热物的距离保持不变，保证了加热器的加热均匀性。
附图说明
[0020]图1是本技术实施例中一种OLED蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；
[0021]图2是图1的前视图；
[0022]图3是图1的后视图；
[0023]图4是图1的左视图；
[0024]图5是图1的右视图；
[0025]图6是图1的仰视图；
[0026]图7是图1的俯视图；
[0027]图8是本技术实施例中单加热区串联电路的结构示意图；
[0028]图9是本技术实施例中单加热区并联电路的结构示意图；
[0029]图10是本技术实施例中双加热区串联电路的结构示意图；
[0030]图11是本技术实施例中双加热区串联电路的底面结构示意图。
[0031]附图标记：
[0032]10：加热器基体；11:加热区；11A：第一加热区；11B：第二加热区；12:电极；12A：第一电极；12B：第二电极；12C：第三电极；12D：第四电极；13：导电层露出部；14：安装孔；15：电路连接处；16：通孔。
具体实施方式
[0033]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0034]在附图中示出了根据本技术实施例的示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚的目的，可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域。
[0035]显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0036]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。以下将参照附图更详细地描述本技术。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。
[0037]为理解方便，现对本申请实施例中出现的部分名称解释如下：
[0038]R角：一种圆弧状交界。
[0039]本技术第一实施例中，如图1
‑
7所示，提供了一种OLED蒸镀用陶瓷加热器(以下简称加热器)，主要包括加热器基体10，该加热器基体10为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区11位于加热器基体10的侧面；电极12位于加热器基体10的底面；其中，电极12两两相对设置，两个相对设置的电极12与加热器基体10底面的圆心连线夹角为150
°‑
180
°
。
[0040]OLED蒸镀用陶瓷加热器为筒状加热器，竖直设置。加热器基体10的侧壁包括有热解氮化硼(PBN)衬底，其两侧依次设置有导电层和外部PBN绝缘层，其中，导电层的材料为热解石墨(PG)或者掺硼的热解石墨，导电层的厚度为10
‑
50μm，优选20
‑
40μm；外部PBN绝缘层的厚度为50
‑
200μm，优选80
‑
150μm；PBN衬底厚度为0.8
‑
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种OLED蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，包括：加热器基体(10)，为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区(11)，位于所述加热器基体(10)的侧面；电极(12)，位于所述加热器基体(10)的底面；其中，所述电极(12)两两相对设置，两个相对设置的所述电极(12)与所述加热器基体(10)底面的圆心连线夹角为150
°‑
180
°
。2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，所述电极(12)包括：导电层露出部(13)；安装孔(14)，位于所述导电层露出部(13)；其中，所述导电层露出部(13)的面积大于等于所述安装孔(14)面积。3.根据权利要求1或2所述的OLED蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，多个所述电极(12)不重合设置。4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，所述加热器基体(10)的侧面与所述加热器基体(10)的底面通过弧面连接。5.根据权利要求1所述的OLED蒸镀用陶瓷加热器，其特征在于，所述加热区(11)具有电路，所述电路串联或并联；其中，所述电路串联时，电极(12)与电路连接处(15)的宽度≥所述电路的宽度；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，
申请(专利权)人：博宇天津半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：