一种坩埚用喷嘴形变纠正装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种坩埚用喷嘴形变纠正装置，包括底部支撑机构及顶部压紧机构；底部支撑机构包括圆柱型底座，圆柱型底座的顶面上设置有圆形凹槽；圆形凹槽的内部设置有可拆卸的用于支撑喷嘴环形沿的圆形支撑座；顶部压紧机构可拆卸的设置于底部支撑机构的上方，包括环形顶座，环形顶座的外侧壁面上设置有顶部安装座，顶部安装座上设置有第三螺纹通孔；环形顶座上对应圆形支撑座设置有可拆卸的压紧环，用于与圆形支撑座配合压紧喷嘴环形沿。本实用新型专利技术的形变纠正装置，可对喷嘴环形沿进行形变纠正，使其两侧面平整不倾斜，从而保证安装后的气密性；另外还通过设置的圆形支撑座及压紧环可以对不同型号尺寸的喷嘴环形沿进行形变纠正，通用性高。通用性高。通用性高。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚用喷嘴形变纠正装置


[0001]本技术涉及形变纠正工装设备
，尤其涉及一种坩埚用喷嘴形变纠正装置。

技术介绍

[0002]在OLED显示面板的制备工艺中，很多功能层都需要采用真空热蒸镀方式形成，具体的，首先将材料放置坩埚内，然后在真空环境下加热坩埚，使坩埚内的材料气化并从坩埚的喷嘴处喷出，而喷出后的气态材料遇到温度较低的玻璃板上，就能够在玻璃板上形成有机膜。其中，喷嘴为金属制成可以均匀导流气体的通道，形状为两端大，中间窄；其中，喷嘴的一端面为均匀分布有若干通孔的薄板，为进气口；另一端一体式的设置有环形沿，为出气口；由于喷嘴为金属制作，极易变形，若环形沿变形后会对气密性产生影响，故需要对其形变进行纠正；而现有技术中对于喷嘴环形沿的形变纠正装置仅仅针对一个型号尺寸的喷嘴环形沿，通用性低。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种坩埚用喷嘴形变纠正装置。
[0004]本技术提供的一种坩埚用喷嘴形变纠正装置，包括底部支撑机构及顶部压紧机构；其中，
[0005]所述底部支撑机构，包括圆柱型底座，所述圆柱型底座的顶面上设置有圆形凹槽；所述圆柱型底座的外侧壁面上沿其周向均匀的固定设置有底部安装座，所述底部安装座上设置有第一螺纹通孔；所述圆柱型底座的外侧壁面上位于每两个所述底部安装座之间均匀的设置有第二螺纹通孔，所述第二螺纹通孔贯穿所述圆形凹槽的内外部设置；所述圆形凹槽的内部设置有可拆卸的用于支撑所述喷嘴环形沿的圆形支撑座；
[0006]所述顶部压紧机构，可拆卸的设置于所述底部支撑机构的上方，包括对应所述圆柱型底座设置的环形顶座，所述环形顶座的外侧壁面上对应所述底部安装座固定的设置有顶部安装座，所述顶部安装座上对应所述第一螺纹通孔设置有第三螺纹通孔；所述环形顶座的外侧壁面上位于每两个所述顶部安装座之间均匀的固定设置有第一固定座，所述第一固定座上设置有第四螺纹通孔；所述环形顶座上对应所述圆形支撑座设置有可拆卸的压紧环，用于与所述圆形支撑座配合压紧所述喷嘴环形沿。
[0007]优选的，所述圆形支撑座对应所述圆形凹槽设置为圆形，所述圆形支撑座的外侧壁面上对应所述第二螺纹通孔设置有螺纹孔，所述圆形支撑座通过第一螺栓穿过所述第二螺纹通孔并穿入所述螺纹孔的内部将所述圆形支撑座固定在所述圆形凹槽的内部；所述圆形支撑座的顶面上对应所述喷嘴环形沿设置有圆形的放置凹槽，所述放置凹槽的槽深小于所述喷嘴环形沿的厚度。
[0008]优选的，所述压紧环的外侧壁面上沿其周向对应所述第一固定座均匀的固定设置有第二固定座，所述第二固定座上对应所述第四螺纹通孔设置有第五螺纹通孔，所述压紧
环通过第二螺栓穿过所述第四螺纹通孔并穿入所述第五螺纹通孔将所述压紧环固定在所述环形顶座上，所述压紧环的内径对应所述喷嘴环形沿的内径大小设置。
[0009]优选的，所述环形顶座通过第三螺栓穿过所述第一螺纹通孔及第三螺纹通孔固定在所述圆柱型底座上。
[0010]相对于现有技术而言，本技术的有益效果是：
[0011]本技术的坩埚用喷嘴形变纠正装置，可以快速对喷嘴环形沿进行形变纠正，将喷嘴环形沿的两侧面校正平整，保证安装后的气密性；并且通过可拆卸设置的圆形支撑座及压紧环，可以对不同型号尺寸的喷嘴环形沿进行形变纠正，通用性高。
[0012]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。
[0013]本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0014]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0015]图1为底部支撑机构的俯视图的结构示意图；
[0016]图2为底部支撑机构的侧面剖视图的结构示意图；
[0017]图3为顶部压紧机构俯视图的结构示意图；
[0018]图4为环形顶座的俯视图的结构示意图；
[0019]图5为压紧环的俯视图的结构示意图；
[0020]图6为喷嘴一侧的结构示意图；
[0021]图7为喷嘴另一侧的结构示意图；
[0022]图中标号：1、底部支撑机构；11、圆柱型底座；12、圆形凹槽； 13、底部安装座；14、第一螺纹通孔；15、第二螺纹通孔；16、圆形支撑座；161、螺纹孔；162、第一螺栓；163、放置凹槽；
[0023]2、顶部压紧机构；21、环形顶座；22、顶部安装座；23、第三螺纹通孔；24、第一固定座；25、第四螺纹通孔；26、压紧环；261、第二固定座；262、第五螺纹通孔；263、第二螺栓；
[0024]3、喷嘴；31、喷嘴环形沿。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0026]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0027]请参考图1～图7，本技术的实施例提供了一种坩埚用喷嘴形变纠正装置，包括底部支撑机构1及顶部压紧机构2；其中，
[0028]底部支撑机构1，包括圆柱型底座11，圆柱型底座11的顶面上设置有圆形凹槽12；圆柱型底座11的外侧壁面上沿其周向均匀的固定设置有底部安装座13，底部安装座13上设
置有第一螺纹通孔14；圆柱型底座11的外侧壁面上位于每两个底部安装座13之间均匀的设置有第二螺纹通孔15，第二螺纹通孔15贯穿圆形凹槽12的内外部设置；圆形凹槽12的内部设置有可拆卸的用于支撑喷嘴环形沿31的圆形支撑座16；
[0029]顶部压紧机构2，可拆卸的设置于底部支撑机构1的上方，包括对应圆柱型底座11设置的环形顶座21，环形顶座21的外侧壁面上对应底部安装座13固定的设置有顶部安装座22，顶部安装座22上对应第一螺纹通14孔设置有第三螺纹通孔23；环形顶座21的外侧壁面上位于每两个顶部安装座22之间均匀的固定设置有第一固定座24，第一固定座24上设置有第四螺纹通孔25；环形顶座21上对应圆形支撑座16设置有可拆卸的压紧环26，用于与圆形支撑座16配合压紧喷嘴环形沿31。
[0030]在一优选实施例中，圆形支撑座16对应圆形凹槽12设置为圆形，圆形支撑座16的外侧壁面上对应第二螺纹通孔15设置有螺纹孔161，圆形支撑座16通过第一螺栓162穿过第二螺纹通孔15并穿入螺纹孔 161的内部将圆形支撑座16固定在圆形凹槽12的内部；圆形支撑座 16的顶面上对应喷嘴环形沿31设置有圆形的放置凹槽12，放置凹槽 12的槽深小于喷嘴环形沿31的厚度，放置凹槽163的内径略大于喷嘴环形沿31的外径。
[0031本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚用喷嘴形变纠正装置，其特征在于，包括底部支撑机构及顶部压紧机构；其中，所述底部支撑机构，包括圆柱型底座，所述圆柱型底座的顶面上设置有圆形凹槽；所述圆柱型底座的外侧壁面上沿其周向均匀的固定设置有底部安装座，所述底部安装座上设置有第一螺纹通孔；所述圆柱型底座的外侧壁面上位于每两个所述底部安装座之间均匀的设置有第二螺纹通孔，所述第二螺纹通孔贯穿所述圆形凹槽的内外部设置；所述圆形凹槽的内部设置有可拆卸的用于支撑喷嘴环形沿的圆形支撑座；所述顶部压紧机构，可拆卸的设置于所述底部支撑机构的上方，包括对应所述圆柱型底座设置的环形顶座，所述环形顶座的外侧壁面上对应所述底部安装座固定的设置有顶部安装座，所述顶部安装座上对应所述第一螺纹通孔设置有第三螺纹通孔；所述环形顶座的外侧壁面上位于每两个所述顶部安装座之间均匀的固定设置有第一固定座，所述第一固定座上设置有第四螺纹通孔；所述环形顶座上对应所述圆形支撑座设置有可拆卸的压紧环，用于与所述圆形支撑座配合压紧所述喷嘴环形沿。...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇天津半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：