真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器，气缸内设有抽拉杆，抽拉杆与缸内活塞连接，抽拉杆活动连接一调节杆，气缸上设有支架，调节杆与支架连接，调节杆上还连接一定位杆，定位杆上设有齿牙，支架上连接抽气管，抽气管内设有活塞，活塞上连接抽气杆，抽气杆与调节杆连接，抽气管上设有一管道接口，气缸上连接一增压缸，增压缸与气缸单向连通，增压缸上设有管道接口。该调节器在本体上设置了气缸，气缸内的抽拉杆可以带动活塞向增压缸内充入气体，增压缸内的高压气体由管道接口进入维持泵管路调节管内气压，该调节器上还设有一抽气管，抽气管也与维持泵管路连接，这样手动可实现对管路气压的调节，提高维持泵的工作稳定性。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器
本技术涉及一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机的维持泵管路受真空度影响会出现上下管体内压差异的情况，当管内压力差较大的时候会影响维持泵的运行稳定性。
技术实现思路
本技术主要是解决现有技术所存在的技术问题，从而提供一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器，包含一气缸，气缸内设有一抽拉杆，抽拉杆的一端与缸内活塞连接，抽拉杆的另一端活动连接一调节杆，气缸的一端设有一支架，调节杆与支架活动连接，调节杆上还活动连接一定位杆，定位杆上设有多个扣接齿牙，支架上固定连接一抽气管，抽气管内设有活塞，活塞上活动连接一抽气杆，抽气杆与调节杆活动连接，抽气管上设有一第一管道接口，气缸的另一端连接一增压缸，增压缸中空且与气缸单向连通，增压缸上设有一第二管道接口。作为本技术较佳的实施例，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器（1），其特征在于，包含一气缸（10），气缸（10）内设有一抽拉杆（20），抽拉杆（20）的一端与缸内活塞连接，抽拉杆（20）的另一端活动连接一调节杆（21），气缸（10）的一端设有一支架（11），调节杆（21）与支架（11）活动连接，调节杆（21）上还活动连接一定位杆（22），定位杆（22）上设有多个扣接齿牙，支架（11）上固定连接一抽气管（30），抽气管（30）内设有活塞，活塞上活动连接一抽气杆（31），抽气杆（31）与调节杆（21）活动连接，抽气管（30）上设有一第一管道接口（32），气缸（10）的另一端连接一增压缸（40），增压缸（40）中空...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机维持泵管路压力差手动调节器（1），其特征在于，包含一气缸（10），气缸（10）内设有一抽拉杆（20），抽拉杆（20）的一端与缸内活塞连接，抽拉杆（20）的另一端活动连接一调节杆（21），气缸（10）的一端设有一支架（11），调节杆（21）与支架（11）活动连接，调节杆（21）上还活动连接一定位杆（22），定位杆（22）上设有多个扣接齿牙，支架（11）上固定连接一抽气管（30），抽气管（30）内设有活塞，活塞上活动连接一抽气杆（...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宏梅，
申请(专利权)人：泰州市梦之谷科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32