一种真空镀膜辊冷镀装置制造方法及图纸

技术编号:19478566 阅读:38 留言:0更新日期:2018-11-17 09:41
本发明专利技术公开了一种真空镀膜辊冷镀装置,包括副镀膜辊、主镀膜辊、蒸发源、承载舟、真空箱;所述副镀膜辊最下端与所述主镀膜辊最下端平行,副镀膜辊、主镀膜辊安装在真空箱内部靠下位置;所述蒸发源设置在副镀膜辊、主镀膜辊下方,蒸发源设置在副镀膜辊、主镀膜辊中间;所述承载舟设置在蒸发源下方;所述蒸发源与所述承载舟安装在真空箱内部最底端。通过真空镀膜辊的设计,将镀膜辊内部设置为空腔结构,减轻负载的同时,外侧空腔注入冷却液,使薄膜的表层温度降低,提高蒸发分子的附着速度,加快生产节奏,提高生产产量,降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜辊冷镀装置
本专利技术属于真空镀膜
,具体涉及到一种镀膜冷却装置,更具体的是一种真空镀膜辊冷镀装置。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,例如,真空镀铝、真空镀铬等。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代,在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电,使电解液电解,被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上,因此这种镀膜的条件,基体必须是电的良导体,而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜辊冷镀装置,包括副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)、蒸发源(11)、承载舟(12)、真空箱(13),其特征在于:所述副镀膜辊(4)最下端与所述主镀膜辊(5)最下端平行,副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)安装在真空箱(13)内部靠下位置;所述蒸发源(11)设置在副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)下方,蒸发源(11)设置在副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)中间;所述承载舟(12)设置在蒸发源(11)下方;所述蒸发源(11)与所述承载舟(12)安装在真空箱(13)内部最底端。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜辊冷镀装置,包括副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)、蒸发源(11)、承载舟(12)、真空箱(13),其特征在于:所述副镀膜辊(4)最下端与所述主镀膜辊(5)最下端平行,副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)安装在真空箱(13)内部靠下位置;所述蒸发源(11)设置在副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)下方,蒸发源(11)设置在副镀膜辊(4)、主镀膜辊(5)中间;所述承载舟(12)设置在蒸发源(11)下方;所述蒸发源(11)与所述承载舟(12)安装在真空箱(13)内部最底端。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜辊冷镀装置,其特征在于,所述副镀膜辊(4)包括副镀膜辊空腔(41)、副镀膜辊注入口(42)、副镀膜辊塞(43)、副镀膜辊驱动轴(44);所述副镀膜辊空腔(41)设置在副镀膜辊(4)最外侧圆周内;所述副镀膜辊空腔(41)一端设置有副镀膜辊注入口(42);所述副镀膜辊塞(43)安装在副镀膜辊注入口(42)上;所述副镀膜辊驱动轴(44)设置在副镀膜辊(4)两端外侧中心线位置,副镀膜辊驱动轴(44)安装在真空箱(13)的两侧。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜辊冷镀装置,其特征在于,所述主镀膜辊(5)包括主镀膜辊空腔(51)、主镀膜辊注入口(52)、主镀膜辊塞(53)、主镀膜辊减载腔(54)、主镀膜辊驱动轴(55);所述主镀膜辊空腔(51)设置在主镀膜辊(5)最外侧圆周内;所述主镀膜辊注入口(52)设置在主镀膜辊空腔一端;所述主镀膜辊塞(53)安装在主镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员:窦发军
申请(专利权)人:安徽省通达包装材料有限公司
类型:发明
国别省市:安徽,34

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