本发明专利技术公开了一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板，所述顶板的上表面设有安装架，顶板的下表面边缘设有连接装置，连接装置的下端设有固定板，顶板的下表面中部设有固定轴，固定轴的侧面中部通过轴承与固定板转动连接，固定板的侧面上端设有齿环，顶板与齿环对应的侧面右端设有驱动装置，固定板的侧面下端设有均匀分布的矩形槽，矩形槽的内部设有固定架。该真空镀膜设备的传输装置，可以对多个镀件同时进行固定存放，并且可以对镀件的高度以及水平位置进行调节，还可以对镀膜后的镀件进行传输转移，便于多个镀件的快速镀膜操作，能够有效提高工作效率，还能够有效减少抽真空的次数，节约时间，使用方便。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备的传输装置
本专利技术涉及真空镀膜设备
，具体为一种真空镀膜设备的传输装置。
技术介绍
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜，普通的真空镀膜设备在真空镀膜时，需要先将镀件放在某一位置，然后抽取真空后进行镀膜操作，镀膜完成后需要将镀件取出，并重新放置镀件，然后重新抽取真空并进行镀膜操作，这种真空镀膜方式工作效率较低，而且由于需要频繁抽取真空，浪费时间。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种真空镀膜设备的传输装置，可以对多个镀件同时进行固定存放，并且可以对镀件的高度以及水平位置进行调节，还可以对镀膜后的镀件进行传输转移，便于多个镀件的快速镀膜操作，能够有效提高工作效率，还能够有效减少抽真空的次数，节约时间，使用方便，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板，所述顶板的上表面设有安装架，所述顶板的下表面边缘设有连接装置，所述连接装置的下端设有固定板，所述顶板的下表面中部设有固定轴，所述固定轴的侧面中部通过轴承与固定板转动连接，所述固定板的侧面上端设有齿环，所述顶板与齿环对应的侧面右端设有驱动装置，所述固定板的侧面下端设有均匀分布的矩形槽，所述矩形槽的内部设有固定架，所述固定轴与固定架对应的侧面下端设有第一推动装置，所述固定架的支撑板上表面设有存放槽，且支撑板的上表面中部设有两根对称设置的支撑杆，所述支撑杆的上表面设有定位板，所述顶板与定位板对应的侧面左端设有第二推动装置。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述安装架包括安装板，所述安装板的侧面设有固定环，所述安装板的下表面设有第一电动伸缩杆，且安装板与电动伸缩杆的固定端连接，所述第一电动伸缩杆的伸缩端与顶板的上表面固定连接，且第一电动伸缩杆的输入端与外部开关组的输出端电连接。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述固定环和第一电动伸缩杆均有四个，且四个固定环在安装板的侧面均匀分布，且四个第一电动伸缩杆在安装板的下表面呈矩形分布。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述连接装置包括第一平面轴承，所述第一平面轴承的上表面与顶板的上表面边缘固定连接，且第一平面轴承的下表面设有连接杆，所述连接杆的下表面与第二平面轴承的上表面固定连接，第二平面轴承的下表面与固定板的上表面固定连接。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述连接杆至少有六根，且六根连接杆在第一平面轴承的下表面等弧度且呈环形分布。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述固定架有八个，且八个固定架在固定板的侧面下端等弧度且呈环形分布。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述固定架包括第一减震器，所述第一减震器与固定板固定连接，所述第一减震器远离固定板的一端设有竖板，所述竖板的下表面设有第二减震器，所述第二减震器的下表面设有支撑板。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的上端通过电机座与顶板的侧面固定连接，且步进电机的输出轴侧面设有齿轮，所述齿轮与齿环啮合，且步进电机的输入端与外部开关组的输出端电连接。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述第一推动装置包括第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的固定端通过第一固定套筒与固定轴的侧面下端固定连接，所述第二电动伸缩杆的伸缩端设有第一推板，且第二电动伸缩杆的输入端与外部开关组的输出端电连接。作为本专利技术的一种优选技术方案，所述第二推动装置包括第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆的伸缩端设有第二推板，且第三电动伸缩杆的固定端通过第二固定套筒与连接板固定连接，所述连接板与顶板的侧面固定连接，第三电动伸缩杆的输入端与外部开关组的输出端电连接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本真空镀膜设备的传输装置，可以通过固定环将整个传输装置固定到外部设备的真空腔内部，便于镀件的真空镀膜操作，同时可以通过第一电动伸缩杆对顶板的位置进行调节，使顶板可以间接固定板的高度进行调节，从而便于对镀件的位置进行调节，便于镀件的镀膜操作。2、本真空镀膜设备的传输装置，可以通过步进电机带动齿轮转动，使齿轮可以通过齿环带动固定板转动，从而使固定板可以通过固定架带动镀件转动，便于对镀件的位置进行转移，同时便于不同镀件的镀膜操作，能够有效提高工作效率，节约时间。3、本真空镀膜设备的传输装置，可以通过第二电动伸缩杆推动放第一推板移动，从而使第一推板可以通过推动竖板对支撑板的水平位置进行调节，还可以通过第三电动伸缩杆推动第二推板移动，使第二推板可以通过推动定位板和支撑板对支撑杆的竖直位置进行调节，从而对镀件的位置进行调节，可以对镀件起到定位的作用，便于镀件的镀膜操作。4、本真空镀膜设备的传输装置，可以对多个镀件同时进行固定存放，并且可以对镀件的高度以及水平位置进行调节，还可以对镀膜后的镀件进行传输转移，便于多个镀件的快速镀膜操作，能够有效提高工作效率，还能够有效减少抽真空的次数，节约时间，使用方便。附图说明图1为本专利技术结构示意图。图中：1顶板、2安装架、21安装板、22固定环、23第一电动伸缩杆、3连接装置、31第一平面轴承、32连接杆、33第二平面轴承、4固定板、41矩形槽、5固定架、51第一减震器、52竖板、53第二减震器、54支撑板、6驱动装置、61电机座、62步进电机、63齿轮、7固定轴、71轴承、8第一推动装置、81第一固定套筒、82第二电动伸缩杆、83第一推板、9第二推动装置、91连接板、92第二固定套筒、93第三电动伸缩杆、94第二推板、10支撑杆、11定位板、12存放槽、13齿环。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，本专利技术提供一种技术方案：一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板1，顶板1的上表面设有安装架2，安装架2包括安装板21，安装板21的侧面设有固定环22，安装板21的下表面设有第一电动伸缩杆23，且安装板21与电动伸缩杆23的固定端连接，第一电动伸缩杆23的伸缩端与顶板1的上表面固定连接，且第一电动伸缩杆23的输入端与外部开关组的输出端电连接，可以通过固定环22将整个传输装置固定到外部设备的真空腔内部，便于镀件的真空镀膜操作，同时可以通过第一电动伸缩杆23对顶板1的位置进行调节，使顶板1可以间接固定板4的高度进行调节，从而便于对镀件的位置进行调节，便于镀件的镀膜操作，固定环22和第一电动伸缩杆23均有四个，且四个固定环22在安装板21的侧面均匀分布，且四个第一电动伸缩杆23在安装板21的下表面呈矩形分布，可以提高顶板1的稳定性，通过固定环22将安本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板(1)，其特征在于：所述顶板(1)的上表面设有安装架(2)，所述顶板(1)的下表面边缘设有连接装置(3)，所述连接装置(3)的下端设有固定板(4)，所述顶板(1)的下表面中部设有固定轴(7)，所述固定轴(7)的侧面中部通过轴承(71)与固定板(4)转动连接，所述固定板(4)的侧面上端设有齿环(13)，所述顶板(1)与齿环(13)对应的侧面右端设有驱动装置(6)，所述固定板(4)的侧面下端设有均匀分布的矩形槽(41)，所述矩形槽(41)的内部设有固定架(5)，所述固定轴(7)与固定架(5)对应的侧面下端设有第一推动装置(8)，所述固定架(5)的支撑板(54)上表面设有存放槽(12)，且支撑板(54)的上表面中部设有两根对称设置的支撑杆(10)，所述支撑杆(10)的上表面设有定位板(11)，所述顶板(1)与定位板(11)对应的侧面左端设有第二推动装置(9)。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板(1)，其特征在于：所述顶板(1)的上表面设有安装架(2)，所述顶板(1)的下表面边缘设有连接装置(3)，所述连接装置(3)的下端设有固定板(4)，所述顶板(1)的下表面中部设有固定轴(7)，所述固定轴(7)的侧面中部通过轴承(71)与固定板(4)转动连接，所述固定板(4)的侧面上端设有齿环(13)，所述顶板(1)与齿环(13)对应的侧面右端设有驱动装置(6)，所述固定板(4)的侧面下端设有均匀分布的矩形槽(41)，所述矩形槽(41)的内部设有固定架(5)，所述固定轴(7)与固定架(5)对应的侧面下端设有第一推动装置(8)，所述固定架(5)的支撑板(54)上表面设有存放槽(12)，且支撑板(54)的上表面中部设有两根对称设置的支撑杆(10)，所述支撑杆(10)的上表面设有定位板(11)，所述顶板(1)与定位板(11)对应的侧面左端设有第二推动装置(9)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述安装架(2)包括安装板(21)，所述安装板(21)的侧面设有固定环(22)，所述安装板(21)的下表面设有第一电动伸缩杆(23)，且安装板(21)与电动伸缩杆(23)的固定端连接，所述第一电动伸缩杆(23)的伸缩端与顶板(1)的上表面固定连接，且第一电动伸缩杆(23)的输入端与外部开关组的输出端电连接。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述固定环(22)和第一电动伸缩杆(23)均有四个，且四个固定环(22)在安装板(21)的侧面均匀分布，且四个第一电动伸缩杆(23)在安装板(21)的下表面呈矩形分布。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的传输装置，其特征在于：所述连接装置(3)包括第一平面轴承(31)，所述第一平面轴承(31)的上表面与顶板(1)的上表面边缘固定连接，且第一平面轴承(31)的下表面设有连接杆(32)，所述连接杆(32)的下表面与第二平面轴承(33)的上表面...
【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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