本实用新型专利技术公开一种镀膜设备阴极供气装置，包括集成气路板，在所述集成气路板内开设有多条平行或相交的气路，该镀膜设备阴极供气装置配置三个进气嘴快换接头，能够同时连接三种不同的气源，满足真空镀膜设备多种气体供应的要求，并且还配置四个出气嘴快换接头，通过不同气路的组合能够输出单一气体，也能够输出多种混合气体，同时每条气路上均设置有流量计，通过调节流量计，使得出气嘴快换接头能够输出不同流量的单一气体或者不同比例的混合气体，从而满足大部分真空镀膜设备供气的需求。求。求。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备阴极供气装置
[0001]本技术涉及真空镀膜设备阴极供气
，特别涉及一种镀膜设备阴极供气装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜，是指在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀件的表面上，真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽效果和镜面效果，膜层具有出色的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。被镀件表面膜层颜色是否均匀、结合力是否牢固是判断镀膜质量是否优良的重要指标之一。
[0003]真空镀膜工艺中，供气系统连接靶材提供氧气、氩气、氢气的混合气体，通过永磁铁轰击和阴极激励等方式，使涂覆材料微粒子运动而附着在玻璃上。
[0004]其中，供气系统供气的持续性以及稳定性极大的影响膜层的质量及效果，现有的真空镀膜设备供气系统通常都是使用瓶装的氧气、氩气、氢气通过各自的管道以及控制阀与真空镀膜设备连接，当提供单一气体时，工人还能够通过打开控制阀实现供气，但需要提供多种混合气体，以及气体需要按一定比例进行供气时，工人就很难做到通过控制阀来实现混合气体按比例供气的要求，最终导致膜层的质量时好时坏。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种镀膜设备阴极供气装置，以解决现有技术中的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供了一种镀膜设备阴极供气装置，包括集成气路板，在所述集成气路板内开设有多条平行或相交的气路，
[0007]所述集成气路板一侧设置有多个与气路相连通的进气嘴快换接头；且每个所述进气嘴快换接头对应的气路分别配备有电磁阀，通过所述电磁阀控制所述进气嘴快换接头端气路内气体的通断；
[0008]所述集成气路板另一侧设置有多个气路相连通的出气嘴快换接头；且每个所述出气嘴快换接头对应的气路分别配备有手动阀，通过所述手动阀控制所述出气嘴快换接头端气路内气体的通断；
[0009]在所述集成气路板上还设置有多个流量计，所述集成气路板与所述集成气路板内开设的气路连接，通过所述流量计来控制每条气路气体的流量。
[0010]优选的，所述进气嘴快换接头设置有三个，第一进气嘴快换接头、第二进气嘴快换接头和第三进气嘴快换接头分别连接三种不同的气源。
[0011]优选的，所述电磁阀设置有三组，从左至右依次为第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀，
[0012]所述第一电磁阀安装于所述第一进气嘴快换接头的第一进气气路上，用于控制第一进气气路进气端气体的通断；
[0013]所述第二电磁阀安装于所述第二进气嘴快换接头的第二进气气路上，用于控制第二进气气路进气端气体的通断；
[0014]所述第三电磁阀安装于所述第三进气嘴快换接头的第三进气气路上，用于控制第三进气气路进气端气体的通断。
[0015]优选的，所述流量计设置有七组，从左至右依次为第一流量计、第二流量计、第三流量计、第四流量计、第五流量计、第六流量计以及第七流量计。
[0016]优选的，所述第一流量计连接于所述第一进气气路上，用于控制所述第一进气气路中气体的流量。
[0017]优选的，所述第二进气气路经过所述第二电磁阀一分为三，从左至右依次为第一进气支路、第二进气支路以及第三进气支路；
[0018]所述第二流量计连接于所述第一进气支路上，用于控制所述第一进气支路中气体的流量；
[0019]所述第三流量计连接于所述第二进气支路上，用于控制所述第二进气支路中气体的流量；
[0020]所述第四流量计连接于所述第三进气支路上，用于控制所述第三进气支路中气体的流量。
[0021]优选的，所述第三进气气路经过所述第三电磁阀一分为三，从左至右依次为第四进气支路、第五进气支路以及第六进气支路；
[0022]所述第五流量计连接于所述第四进气支路上，用于控制所述第四进气支路中气体的流量；
[0023]所述第六流量计连接于所述第五进气支路上，用于控制所述第五进气支路中气体的流量；
[0024]所述第七流量计连接于所述第六进气支路上，用于控制所述第六进气支路中气体的流量。
[0025]优选的，所述手动阀设置有四组，从左至右依次为第一手动阀、第二手动阀、第三手动阀以及第四手动阀，且所述第一手动阀、所述第二手动阀、所述第三手动阀以及所述第四手动阀分别与对应的出气嘴快换接头连接。
[0026]优选的，所述第一手动阀与所述第一进气气路连接，用于控制所述第一进气气路出气端气体的通断；
[0027]所述第二手动阀与所述第一进气支路以及所述第六进气支路同时连接，用于控制所述第一进气支路以及所述第六进气支路出气端混合气体的通断；
[0028]所述第三手动阀与所述第二进气支路以及所述第五进气支路同时连通，用于控制所述第二进气支路以及所述第五进气支路出气端混合气体的通断；
[0029]所述第四手动阀与所述第三进气支路以及所述第四进气支路同时连接，用于控制所述第三进气支路以及所述第四进气支路出气端混合气体的通断。
[0030]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0031]1.该镀膜设备阴极供气装置配置三个进气嘴快换接头，能够同时连接三种不同的气源，满足真空镀膜设备多种气体供应的要求；
[0032]2.该镀膜设备阴极供气装置配置四个出气嘴快换接头，通过不同气路的组合能够
输出单一气体，也能够输出多种混合气体，同时每条气路上均设置有流量计，通过调节流量计，使得出气嘴快换接头能够输出不同流量的单一气体或者不同比例的混合气体，从而满足大部分真空镀膜设备供气的需求。
附图说明
[0033]图1是本技术提供的镀膜设备阴极供气装置的结构示意图；
[0034]图2是本技术提供的镀膜设备阴极供气装置的俯视图；
[0035]图3是本技术提供的镀膜设备阴极供气原理图；
[0036]图4是本专利技术提供的氩气、氧气和氢气的供气原理图。
[0037]图中：1、集成气路板；2、进气嘴快换接头；3、电磁阀；4、出气嘴快换接头；5、手动阀；6、流量计。
具体实施方式
[0038]以下结合附图和具体实施例对本技术作出的进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0039]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、
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底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备阴极供气装置，其特征在于，包括集成气路板（1），在所述集成气路板（1）内开设有多条平行或相交的气路，所述集成气路板（1）一侧设置有多个与气路相连通的进气嘴快换接头（2）；且每个所述进气嘴快换接头（2）对应的气路分别配备有电磁阀（3），通过所述电磁阀（3）控制所述进气嘴快换接头（2）端气路内气体的通断；所述集成气路板（1）另一侧设置有多个气路相连通的出气嘴快换接头（4）；且每个所述出气嘴快换接头（4）对应的气路分别配备有手动阀（5），通过所述手动阀（5）控制所述出气嘴快换接头（4）端气路内气体的通断；在所述集成气路板（1）上还设置有多个流量计（6），所述集成气路板（1）与所述集成气路板（1）内开设的气路连接，通过所述流量计（6）来控制每条气路气体的流量。2.如权利要求1所述的一种镀膜设备阴极供气装置，其特征在于，所述进气嘴快换接头（2）设置有三个，第一进气嘴快换接头、第二进气嘴快换接头和第三进气嘴快换接头分别连接三种不同的气源。3.如权利要求2所述的一种镀膜设备阴极供气装置，其特征在于，所述电磁阀（3）设置有三组，从左至右依次为第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀，所述第一电磁阀安装于所述第一进气嘴快换接头的第一进气气路上，用于控制第一进气气路进气端气体的通断；所述第二电磁阀安装于所述第二进气嘴快换接头的第二进气气路上，用于控制第二进气气路进气端气体的通断；所述第三电磁阀安装于所述第三进气嘴快换接头的第三进气气路上，用于控制第三进气气路进气端气体的通断。4.如权利要求3所述的一种镀膜设备阴极供气装置，其特征在于，所述流量计（6）设置有七组，从左至右依次为第一流量计、第二流量计、第三流量计、第四流量计、第五流量计、第六流量计以及第七流量计。5.如权利要求4所述的一种镀膜设备阴极供气装置，其特征在于，所述第一流量计连接于所述第一进气气路上，用于控制所述第一进气气路中气体的...
【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，匡静，万安江，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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