一种平面阴极供气系统管路技术方案

本实用新型专利技术公开一种平面阴极供气系统管路，属于平面阴极配套设备技术领域。该平面阴极供气系统管路包括管路座以及沿长度方向设置于管路座上的多个上压条；管路座的其中一面上开设有至少一个主气口，另一面上至少开设有一个辅气口；每个主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与管路座上开设的缓冲室，使得主气口的气流经过主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路后进入缓冲室；每个辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；每个上压条内至少开设有一个混合腔，缓冲室以及每个辅气口的辅三级分气路端部均与混合腔连通，使得主气口与辅气口导入的气体在混合腔内进行混合。混合。混合。

【技术实现步骤摘要】
一种平面阴极供气系统管路


[0001]本技术涉及片平面阴极配套设备
，特别涉及一种平面阴极供气系统管路。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式；即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。
[0003]在磁控溅射镀膜工艺中，平面阴极的供气装置的优劣尤为重要，但目前的供气装置如专利号为201420253843.8公开的专利，均是采用分开供气的形式进行阴极平台内部的供气，在每一个管路座只能分流一种气体，但磁控溅射镀膜工艺中通常需要导入多种工艺气体，导致单一分路的管路座难以满足使用需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种平面阴极供气系统管路，以解决现有的管路座只能分流一种气体，导致磁控溅射镀膜工艺中的多种工艺气体难以同是导入，无法满足使用需求的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种平面阴极供气系统管路，包括管路座以及沿长度方向设置于所述管路座上的多个上压条；
[0006]所述管路座的其中一面上开设有至少一个主气口，另一面上至少开设有一个辅气口；
[0007]每个所述主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与所述管路座上开设的缓冲室，使得主气口的气流经过主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路后进入所述缓冲室；
[0008]每个所述辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；
[0009]每个所述上压条内至少开设有一个混合腔，所述缓冲室以及每个所述辅气口的辅三级分气路端部均与所述混合腔连通，使得主气口与所述辅气口导入的气体在所述混合腔内进行混合。
[0010]优选的，每个所述上压条上均开设有出气口，通过所述出气口将所述混合腔内的混合气体导入真空室。
[0011]优选的，所述主气口开设有两个，分别为对称分布于所述管路座两侧的第一主气口和第二主气口。
[0012]优选的，所述主气口的主一级分气路为单一气路，而主二级分气路和主三级分气路均为一分为二气路结构，使得每个所述主气口经主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路分流后形成四条分气流进入缓冲室。
[0013]优选的，所述缓冲室开设有两个，分别用于缓冲第一主气口和第二主气口导入的
气体。
[0014]优选的，所述辅气口开设有9个，均匀分布于所述管路座上。
[0015]优选的，每个所述辅气口的辅一级分气路为单一气路，而辅二级分气路和辅三级分气路均为一分为二气路结构，使得每个所述辅气口经辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成四条分气流。
[0016]优选的，所述上压条设有9个，每个所述上压条中开设有4个混合腔，每个混合腔均对应辅三级分气路端部的一条气流。
[0017]优选的，所述上压条密封连接于所述管路座上，所述缓冲室通过多条第一流道分别与所述混合腔连通，所述辅三级分气路端部分别通过第二流道与所述混合腔连通，使得主气口与辅气口的气体在所述混合腔内均匀混合。
[0018]优选的，所述第一流道与所述混合腔的连通处螺纹连接有堵头，使得该平面阴极供气系统管路能够单独供辅气口导入的一种气体。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0020]1.该平面阴极供气系统管路通过多个均匀间隔分布的上压条中的混合腔将工作气体均匀地导入真空室的各个部分，从而实现工作气体的均匀分布和均匀控制；
[0021]2.该平面阴极供气系统管路在同一块管路座上的两面分别开设主气气路和辅气气路，能够将工作气体和工艺气体预先分流后在混合腔内均匀混合，进一步提高混合效率和混合均匀度；
[0022]3.在该平面阴极供气系统管路的第一流道与混合腔的连通处螺纹连接有堵头，使得该平面阴极供气系统管路能够单独供辅气口导入的一种气体，满足多种供气模式的需求。
附图说明
[0023]图1是本技术提供的一种平面阴极供气系统管路的结构示意图；
[0024]图2是本技术提供的一种平面阴极供气系统管路的正视图；
[0025]图3是本技术提供的一种平面阴极供气系统管路的后视图；
[0026]图4是本技术提供的上压条第一视角的结构示意图；
[0027]图5是本技术提供的上压条第二视角的结构示意图；
[0028]图6是本技术提供的一种平面阴极供气系统管路正面的部分结构示意图；
[0029]图7是本技术提供的一种平面阴极供气系统管路背面的部分结构示意图；
[0030]图8是本技术提供的一种平面阴极供气系统管路的剖视图。
[0031]图中：1、管路座；2、上压条；3、主气口；4、辅气口；5、缓冲室；6、第一流道；7、第二流道；8、堵头；201、混合腔；202、出气口。
具体实施方式
[0032]以下结合附图和具体实施例对本技术作出的进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0033]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、
“
前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、
ꢀ“
底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
实施例
[0035]本技术提供了一种平面阴极供气系统管路，请参阅图1
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3，包括管路座1以及沿长度方向设置于所述管路座1上的多个上压条2；所述管路座1的其中一面上开设有至少一个主气口3，另一面上至少开设有一个辅气口4；每个所述主气口3依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与所述管路座1上开设的缓冲室5，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，包括管路座（1）以及沿长度方向设置于所述管路座（1）上的多个上压条（2）；所述管路座（1）的其中一面上开设有至少一个主气口（3），另一面上至少开设有一个辅气口（4）；每个所述主气口（3）依次连接主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路，且主三级分气路与所述管路座（1）上开设的缓冲室（5），使得主气口（3）的气流经过主一级分气路、主二级分气路和主三级分气路后进入所述缓冲室（5）；每个所述辅气口（4）依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；每个所述上压条（2）内至少开设有一个混合腔（201），所述缓冲室（5）以及每个所述辅气口（4）的辅三级分气路端部均与所述混合腔（201）连通，使得主气口（3）与所述辅气口（4）导入的气体在所述混合腔（201）内进行混合。2.如权利要求1所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，每个所述上压条（2）上均开设有出气口（202），通过所述出气口（202）将所述混合腔（201）内的混合气体导入真空室。3.如权利要求1所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述主气口（3）开设有两个，分别为对称分布于所述管路座（1）两侧的第一主气口和第二主气口。4.如权利要求3所述的一种平面阴极供气系统管路，其特征在于，所述主气口（3）的主一级分气路为单一气路，而主二级分气路和主三级分气路均为一分为二气路结构，使得每个所述主气口（3）经主一级分气路、主二级分气路和主三级分...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，匡静，万安江，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：