一种稳定的磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及磁控溅射镀膜机技术领域，尤其是一种稳定的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机本体和电机，所述电机固接在磁控溅射镀膜机本体的顶部，所述电机的输出轴固接有转杆，所述磁控溅射镀膜机本体的外部设有稳定机构。通过稳定机构中的握杆带动转盘转动，转盘带动连接杆转动，连接杆带动第一伞齿轮转动，第一伞齿轮带动第二齿轮转动，第二伞齿轮带动销轴转动，销轴带动齿轮转动，齿轮带动齿条在套筒中滑动，齿条带动支柱在套筒中滑动，设置两个支柱将磁控溅射镀膜机本体进行固定，让磁控溅射镀膜机本体工作时不会发生晃动，可以对物品稳定的进行磁控溅射镀膜。物品稳定的进行磁控溅射镀膜。物品稳定的进行磁控溅射镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种稳定的磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及磁控溅射镀膜机
，具体为一种稳定的磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系，可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料，主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
[0003]例如授权公告号为CN217149298U的一种磁控溅射镀膜机，包括机体，所述机体一侧底部的一端安装有电箱，所述机体一侧靠近电箱一端的中间位置安装有控制面板，所述机体一侧靠近电箱一端的顶部安装有显示屏，所述机体一侧远离电箱一端的底部通过合页转动安装有活动门板，虽然上述文件能够实现解决了绳索固定出现断裂的问题，并且通过转动杆的转动，带动被镀件进行转动，使得被镀件能够镀膜更加完整，但是在使用时，磁控溅射镀膜机在工作的时候，磁控溅射镀膜机的内部是高速进行旋转的，将物品表面进行磁溅射镀膜，在磁控溅射镀膜机的内部高速旋转的过程中，高速旋转容易使磁控溅射镀膜机发生一定的晃动，长时间，容易将磁控溅射镀膜机的零件造成损坏，不能对物品稳定的进行磁控溅射镀膜。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在不能对物品稳定的进行磁控溅射镀膜的问题，而提出的一种稳定的磁控溅射镀膜机。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]设计一种稳定的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机本体和电机，所述电机固接在磁控溅射镀膜机本体的顶部，所述电机的输出轴固接有转杆，所述转杆通过轴承与磁控溅射镀膜机本体转动连接，所述转杆的外壁固接有连接柱，所述磁控溅射镀膜机本体的外部设有稳定机构。
[0007]优选的，所述稳定机构包括握杆、转盘、连接杆和第一伞齿轮，所述握杆固接在转盘的外壁上，所述转盘固接在连接杆的一端，另一端所述连接杆固接有第一伞齿轮，所述第一伞齿轮与第二伞齿轮相啮合，所述第二伞齿轮固接在销轴的外壁上，所述销轴的外壁上固接有齿轮。
[0008]优选的，所述连接杆通过轴承与竖柱转动连接，所述竖柱固接在横杆的外壁上，所述横杆固接在磁控溅射镀膜机本体的外壁上。
[0009]优选的，所述横杆的表面固接有竖杆，所述竖杆与销轴转动连接，所述齿轮与齿条相啮合，所述齿条与支柱固定连接，所述支柱的端部固接有底板。
[0010]优选的，所述齿条和支柱均与套筒滑动连接，所述套筒与横杆固定连接，所述磁控溅射镀膜机本体的两端均设有稳定机构。
[0011]本技术提出的一种稳定的磁控溅射镀膜机，有益效果在于：通过稳定机构中的握杆带动转盘转动，转盘带动连接杆转动，连接杆带动第一伞齿轮转动，第一伞齿轮带动第二齿轮转动，第二伞齿轮带动销轴转动，销轴带动齿轮转动，齿轮带动齿条在套筒中滑动，齿条带动支柱在套筒中滑动，支柱带动底板下降，与磁控溅射镀膜机本体接触的地方相接触，完成对磁控溅射镀膜机本体的稳定，设置两个支柱将磁控溅射镀膜机本体进行固定，让磁控溅射镀膜机本体工作时不会发生晃动，可以对物品稳定的进行磁控溅射镀膜。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为图1的外部结构示意图；
[0014]图3为图1中稳定机构的结构示意图；
[0015]图4为图1中A处放大结构示意图；
[0016]图5为图1中B处放大结构示意图。
[0017]图中：1、磁控溅射镀膜机本体，2、转杆，3、电机，4、连接柱，5、稳定机构，501、握杆，502、转盘，503、连接杆，504、第一伞齿轮，505、第二伞齿轮，506、齿轮，5a1、螺栓，5a2、横柱，5a3、摩擦块，6、横杆，7、竖柱，8、竖杆，9、齿条，10、支柱，11、套筒，12、底板。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0019]实施例1：
[0020]参照附图1
‑
5：本实施例中，一种稳定的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机本体1和电机3，磁控溅射镀膜机本体1为现有技术，不在此固定说明，磁控溅射镀膜机本体1的工作原理为原有技术，不在此过多说明，电机3固接在磁控溅射镀膜机本体1的顶部，电机3型号根据实际需求选择，满足工作即可，电机3的输出轴固接有转杆2，当磁控溅射镀膜机本体1准备工作时，启动稳定机构5，将支柱10和底板12下降，底板12与磁控溅射镀膜机本体1接触的地方相同，将待被镀膜的物品固定到连接柱4上，电机3接入外接电源，电机3带动转杆2转动从而带动连接柱4转动进而带动待被镀膜的物品，启动磁控溅射镀膜机本体1，开始对物品进行磁控溅射镀膜，磁控溅射镀膜机本体1的工作原理为原有技术，不在此过多说明，转杆2通过轴承与磁控溅射镀膜机本体1转动连接，转杆2的外壁固接有连接柱4，磁控溅射镀膜机本体1的外部设有稳定机构5，稳定机构5包括握杆501、转盘502、连接杆503和第一伞齿轮504，握杆501固接在转盘502的外壁上，转动握杆501，握杆501带动转盘502转动，转盘502固接在连接杆503的一端，转盘502带动连接杆503转动，另一端连接杆503固接有第一伞齿轮504，连接杆503带动第一伞齿轮504转动，第一伞齿轮504与第二伞齿轮505相啮合，第一伞齿轮504带动第二齿轮505转动，第二伞齿轮505固接在销轴的外壁上，第二伞齿轮505带动销轴转动，销轴的外壁上固接有齿轮506，销轴带动齿轮506转动；
[0021]通过稳定机构5中的握杆501带动转盘502转动，转盘502带动连接杆503转动，连接杆503带动第一伞齿轮504转动，第一伞齿轮504带动第二齿轮505转动，第二伞齿轮505带动销轴转动，销轴带动齿轮506转动，齿轮506带动齿条9在套筒11中滑动，齿条9带动支柱10在套筒11中滑动，支柱10带动底板12下降，与磁控溅射镀膜机本体1接触的地方相接触，完成
对磁控溅射镀膜机本体1的稳定，设置两个支柱10将磁控溅射镀膜机本体1进行固定，让磁控溅射镀膜机本体1工作时不会发生晃动，可以对物品稳定的进行磁控溅射镀膜。
[0022]参照附图1
‑
5：本实施例中，连接杆503通过轴承与竖柱7转动连接，竖柱7固接在横杆6的外壁上，横杆6固接在磁控溅射镀膜机本体1的外壁上，横杆6的表面固接有竖杆8，竖杆8与销轴转动连接，齿轮506与齿条9相啮合，齿轮506带动齿条9在套筒11中滑动，齿条9带动支柱10在套筒11中滑动，齿条9与支柱10固定连接，支柱10的端部固接有底板12，支柱10带动底板12下降，与磁控溅射镀膜机本体1接触的地方相接触，完成对磁控溅射镀膜机本体1的稳定，停止转动握杆501，反方向转动握杆501，支柱10上升回到初始位置，齿条9和支柱10均与套筒11滑动连接，套筒11与横杆6固定连接，磁控溅射镀膜机本体1的两端均设有稳定机构5。
[0023]工作原理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种稳定的磁控溅射镀膜机，包括磁控溅射镀膜机本体(1)和电机(3)，所述电机(3)固接在磁控溅射镀膜机本体(1)的顶部，其特征在于：所述电机(3)的输出轴固接有转杆(2)，所述转杆(2)通过轴承与磁控溅射镀膜机本体(1)转动连接，所述转杆(2)的外壁固接有连接柱(4)，所述磁控溅射镀膜机本体(1)的外部设有稳定机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种稳定的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述稳定机构(5)包括握杆(501)、转盘(502)、连接杆(503)和第一伞齿轮(504)，所述握杆(501)固接在转盘(502)的外壁上，所述转盘(502)固接在连接杆(503)的一端，另一端所述连接杆(503)固接有第一伞齿轮(504)，所述第一伞齿轮(504)与第二伞齿轮(505)相啮合，所述第二伞齿轮(505)固接在销轴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴科宁，朱姝，
申请(专利权)人：沈阳硕科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：