具有不同厚度功能层的电子突触器件制造技术

本申请公开了一种具有不同厚度功能层的电子突触器件，所述具有不同厚度功能层的电子突触器件包括：所述具有不同厚度功能层的电子突触器件包括：衬底；底电极层，所述底电极层设置于所述衬底上；功能层，所述功能层设置于所述底电极层上的，所述功能层包括多个不同厚度的功能区域；顶电极层，所述顶电极层设置于各所述功能区域上远离所述衬底的一侧表面。本申请解决了现有技术利用不同厚度对氧化物薄膜进行性能调控的准确性较低的技术问题。进行性能调控的准确性较低的技术问题。进行性能调控的准确性较低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
具有不同厚度功能层的电子突触器件


[0001]本申请涉及微电子器件
，尤其涉及一种具有不同厚度功能层的电子突触器件。

技术介绍

[0002]功能氧化物薄膜因其在电、磁、光学、力学等方面的丰富特性，在构建传感器、传感器、执行器等智能系统的重要部件中起着关键作用。这些智能系统需要处理的数据量随着社会发展呈指数增长，这给数据的存储和计算都带来了空前的压力。目前常用的传统冯诺依曼架构，由于存算分离的限制，处理数据时微处理器和存储器之间频繁地进行数据迁移，进而导致了计算速度大幅下降，能耗大幅增加的问题，也就是所谓冯诺依曼限制。受生物大脑存算一体的启发，为了突破冯诺依曼限制，人们进行了对突触行为的模拟来构建类脑计算系统，采用功能氧化物制作三明治结构电子突触器件有结构简单有利于器件的集成等优势，有利于构建神经形态的计算架构。其中，在器件上施加相同的电脉冲后，电导变化的均匀性可以用线性度来描述。线性的权重调节意味着，向器件施加相同脉冲时电导变化量是相同的，从而使得整个器件可塑过程是简化和可预测的。而作为功能层氧化物薄膜的厚度不仅可以改变其阻变性能，也可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有不同厚度功能层的电子突触器件，其特征在于，所述具有不同厚度功能层的电子突触器件包括：衬底；底电极层，所述底电极层设置于所述衬底上；功能层，所述功能层设置于所述底电极层上的，所述功能层包括多个不同厚度的功能区域；顶电极层，所述顶电极层设置于各所述功能区域上远离所述衬底的一侧表面。2.如权利要求1所述的具有不同厚度功能层的电子突触器件，其特征在于，所述衬底包括SrTiO3衬底、LaAlO3衬底或DyScO3衬底。3.如权利要求1所述的具有不同厚度功能层的电子突触器件，其特征在于，所述底电极层包括La
0.67
Sr
0.33
MnO3薄膜、SrRuO3薄膜或LaNiO3薄膜。4.如权利要求3所述的具有不同厚度功能层的电子突触器件，其特征在于，所述La
0.67
Sr
0.33
M...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹娟，钟高阔，唐铭锴，张园，陈骞鑫，戴李雨芬，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：