一种高真空多源蒸发镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，尤其是一种高真空多源蒸发镀膜设备，包括高真空多源蒸发镀膜仪，所述高真空多源蒸发镀膜仪的一侧上方与环形板的一端固定连接，所述高真空多源蒸发镀膜仪的一侧下方与壳体的一端固定连接，所述环形板的内壁与圆块的外壁滑动卡接。通过高真空多源蒸发镀膜仪、底板、万向轮、壳体、环形板、圆块和移动结构的配合，使得该装置在使用时，可以通过转动丝杆，丝杆带动斜板向下移动，斜板带动竖杆向下移动，竖杆带动底板向下移动，使底板与地面想接触，进而增大与地面的接触面积，提高高真空多源蒸发镀膜仪的稳定性，避免在受到外力的作用时，导致高真空多源蒸发镀膜仪发生滑动，影响工作人员正常使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种高真空多源蒸发镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种高真空多源蒸发镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。
[0003]将产品放置在固定台上，通过卡紧结构将产品进行固定，启动热蒸发真空镀膜仪，进而实现对产品的镀膜，镀膜完成后产品均有耐腐蚀耐磨等优点，现有技术在使用高真空多源蒸发镀膜仪时，需要先将高真空多源蒸发镀膜仪移动到合适的位置后，将万向轮锁紧，然后在对高真空多源蒸发镀膜仪进行操作进行镀膜工作，但由于万向轮锁紧后与地面的接触面积较小，进而高真空多源蒸发镀膜仪在受到外力的作用时容易发生滑动，进而影响工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪的石油，稳定性较差，在对高真空多源蒸发镀膜仪进行使用时，为了保证使用安全需要对高真空多源蒸发镀膜仪进行检查，确保各连接位置稳定，现有技术在天气较暗或外部灯光损坏时，无法对高真空多源蒸发镀膜仪进行照明，进而不便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪进行检查，进而不便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪进行使用。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在稳定性较差，在受到外力的作用时，容易导致高真空多源蒸发镀膜仪发生滑动，影响工作人员正常使用，无法对高真空多源蒸发镀膜仪进行照明，进而不便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪进行检查，进而不便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪进行使用的缺点，而提出的一种高真空多源蒸发镀膜设备。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]设计高真空多源蒸发镀膜设备，包括高真空多源蒸发镀膜仪，所述高真空多源蒸发镀膜仪的一侧上方与环形板的一端固定连接，所述高真空多源蒸发镀膜仪的一侧下方与壳体的一端固定连接，所述环形板的内壁与圆块的外壁滑动卡接，所述壳体的一侧设有移动结构，所述圆块的后方设有照明结构。
[0007]优选的，所述移动结构包括丝杆，所述丝杆的外壁与壳体的一侧上方内壁螺纹连接，所述丝杆的一端贴合有斜板，所述斜板的底部固定连接有竖杆，所述竖杆的外壁下方与壳体的底部内壁间隙配合，所述竖杆的底部固定连接有底板，所述竖杆的外壁上方间隙配合有弹簧，所述弹簧的上下两端分别与斜板的底部和壳体的内壁底部固定连接。
[0008]优选的，所述高真空多源蒸发镀膜仪的底部固定连接有横板。
[0009]优选的，所述横板的底部四角均固定连接有万向轮。
[0010]优选的，所述照明结构包括竖块，所述竖块的前端面与圆块的后端固定连接，所述
竖块的顶部固定连接有曲板，所述曲板的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部固定连接有橡胶块，所述橡胶块的底部与环形板的顶部相贴合，所述竖块的前端面下方固定连接有照明灯。
[0011]本技术提出的一种高真空多源蒸发镀膜设备，有益效果在于：通过高真空多源蒸发镀膜仪、底板、万向轮、壳体、环形板、圆块和移动结构的配合，使得该装置在使用时，可以通过转动丝杆，丝杆带动斜板向下移动，斜板带动竖杆向下移动，竖杆带动底板向下移动，使底板与地面想接触，进而增大与地面的接触面积，提高高真空多源蒸发镀膜仪的稳定性，避免在受到外力的作用时，导致高真空多源蒸发镀膜仪发生滑动，影响工作人员正常使用；
[0012]通过高真空多源蒸发镀膜仪、底板、万向轮、壳体、环形板、圆块和照明结构的配合，使得该装置在使用时，可以通过滑动竖块，竖块带动圆块在环形板的内壁滑动，进而实现对照明灯的移动，转动螺纹杆，螺纹杆带动橡胶块向下移动，使橡胶块与环形板紧密贴合，进而实现对照明灯的定位，对高真空多源蒸发镀膜仪进行照明，便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪进行检查，便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪进行使用。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图；
[0014]图2为本技术的高真空多源蒸发镀膜仪、壳体和环形板结构示意图；
[0015]图3为本技术的竖杆、底板和橡胶垫结构示意图；
[0016]图4为本技术的弹簧、斜板和竖杆结构示意图；
[0017]图5为本技术的竖块、螺纹杆和曲板结构示意图。
[0018]图中：1、高真空多源蒸发镀膜仪，2、移动结构，2a1、丝杆，2a2、弹簧，2a3、斜板，2a4、竖杆，2a5、底板，2b1、橡胶垫，3、照明结构，301、竖块，302、螺纹杆，303、曲板，304、照明灯，305、橡胶块，4、横板，5、万向轮，6、壳体，7、环形板，8、圆块。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0020]实施例1：
[0021]参照附图1
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5：本实施例中，一种高真空多源蒸发镀膜设备，包括高真空多源蒸发镀膜仪1，高真空多源蒸发镀膜仪1的一侧上方与环形板7的一端固定连接，高真空多源蒸发镀膜仪1的型号为CY
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1800X
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TE3
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SS，高真空多源蒸发镀膜仪1的一侧下方与壳体6的一端固定连接，环形板7的内壁与圆块8的外壁滑动卡接，圆块8受力时可以在环形板7的内壁滑动，高真空多源蒸发镀膜仪1的底部固定连接有横板4，横板4的底部四角均固定连接有万向轮5，这样设计便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪1进行移动，壳体6的一侧设有移动结构2，圆块8的后方设有照明结构3，移动结构2提高高真空多源蒸发镀膜仪1的稳定性，避免在受到外力的作用时，导致高真空多源蒸发镀膜仪1发生滑动，影响工作人员正常使用，照明结构3对高真空多源蒸发镀膜仪1进行照明，便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪1进行检查，便于工作人员对高真空多源蒸发镀膜仪1进行使用。
[0022]移动结构2包括丝杆2a1，丝杆2a1的外壁与壳体6的一侧上方内壁螺纹连接，丝杆
2a1的一端贴合有斜板2a3，斜板2a3的底部固定连接有竖杆2a4，竖杆2a4的外壁下方与壳体6的底部内壁间隙配合，竖杆2a4受力时可以在壳体6的底部内壁上下移动，竖杆2a4的底部固定连接有底板2a5，竖杆2a4的外壁上方间隙配合有弹簧2a2，弹簧2a2给予斜板2a3向上的力，弹簧2a2的上下两端分别与斜板2a3的底部和壳体6的内壁底部固定连接，转动丝杆2a1，丝杆2a1带动斜板2a3向下移动，斜板2a3带动竖杆2a4向下移动，竖杆2a4带动底板2a5向下移动，使底板2a5与地面想接触，进而增大与地面的接触面积，提高高真空多源蒸发镀膜仪1的稳定性，避免在受到外力的作用时，导致高真空多源蒸发镀膜仪1发生滑动，影响工作人员正常使用。
[0023]照明结构3包括竖块301，竖块301的前端面与圆块8的后端固定连接，竖块301的顶部固定连接有曲板303，曲板303的内壁螺纹连接有螺纹杆302，螺纹杆302的底部固定连接有橡胶块305，橡胶块305的底部与环形板7的顶部相贴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空多源蒸发镀膜设备，包括高真空多源蒸发镀膜仪(1)，其特征在于：所述高真空多源蒸发镀膜仪(1)的一侧上方与环形板(7)的一端固定连接，所述高真空多源蒸发镀膜仪(1)的一侧下方与壳体(6)的一端固定连接，所述环形板(7)的内壁与圆块(8)的外壁滑动卡接，所述壳体(6)的一侧设有移动结构(2)，所述圆块(8)的后方设有照明结构(3)。2.根据权利要求1所述的一种高真空多源蒸发镀膜设备，其特征在于：所述移动结构(2)包括丝杆(2a1)，所述丝杆(2a1)的外壁与壳体(6)的一侧上方内壁螺纹连接，所述丝杆(2a1)的一端贴合有斜板(2a3)，所述斜板(2a3)的底部固定连接有竖杆(2a4)，所述竖杆(2a4)的外壁下方与壳体(6)的底部内壁间隙配合，所述竖杆(2a4)的底部固定连接有底板(2a5)，所述竖杆(2a4)的外壁上方间隙配合有弹簧(2a2...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴科宁，朱姝，
申请(专利权)人：沈阳硕科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：