一种复合式真空旋转蒸镀炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种复合式真空旋转蒸镀炉，属于蒸镀炉技术领域。一种复合式真空旋转蒸镀炉，包括：炉体；承载支架，连接在炉体中；第一料舟，固定连接在承载支架上；第二料舟，固定连接在承载支架上，且所述第二料舟和第一料舟相抵；定位顶杆，和第二料舟相抵；热反射屏，固定连接在定位顶杆上，所述热反射屏和第二料舟相对；还包括炉盖，所述炉盖和炉体固定相连，所述炉盖侧壁上固定连接有插杆，所述插杆和定位顶杆插接相连；通过该装置中设置的第一料舟和第二料舟，从而能够一次装载多种规格物料，适用性更高，尤其适用于批量和试验样品同时装载。载。载。

【技术实现步骤摘要】
一种复合式真空旋转蒸镀炉


[0001]本技术涉及蒸镀炉
，尤其涉及一种复合式真空旋转蒸镀炉。

技术介绍

[0002]蒸镀是通过蒸镀炉对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件，如手机壳体，在其表面以形成薄膜或涂层的工艺；
[0003]一种蒸镀炉，于2013
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22公开了，公开号为CN203513787U，一种蒸镀炉，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转，使用本技术一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性；
[0004]但上述方案中的蒸镀炉仍存在一定不足，在使用过程中，可根据炉腔大小装载靶材和原料，但现有方案中的炉腔中仅能装载一种规格的产品，适用性有待进一步提高。

技术实现思路

[0005]本技术为了解决现有技术中的蒸镀炉适用性差，仅能装填一种规格产品的问题而提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种复合式真空旋转蒸镀炉，包括：
[0008]炉体；
[0009]承载支架，连接在炉体中；
[0010]第一料舟，固定连接在承载支架上；
[0011]第二料舟，固定连接在承载支架上，且所述第二料舟和第一料舟相抵；
[0012]定位顶杆，和第二料舟相抵；
[0013]热反射屏，固定连接在定位顶杆上。
[0014]优选地，还包括炉盖，所述炉盖和炉体固定相连，所述炉盖侧壁上固定连接有插杆，所述插杆和定位顶杆插接相连。
[0015]进一步地，所述定位顶杆上套接有定位弹簧，所述定位弹簧一端和热反射屏固定相连，所述定位弹簧另一端和炉盖侧壁相抵。
[0016]优选地，所述承载支架上固定连接有限位卡，所述炉体上开设有限位槽，所述限位卡和限位槽相匹配。
[0017]优选地，所述第一料舟上固定连接有端盖。
[0018]进一步地，所述端盖为销钉固定式端盖。
[0019]为了使料舟不从承载支架中脱落，进一步地，所述承载支架上固定连接有限位杆，所述限位杆和端盖相抵。
[0020]为了便于在工作过程中，将工作产生的热气排出，优选地，所述第一料舟和第二料舟上均开设有排气孔，所述排气孔设有多个，且均匀分布在所述料舟侧壁上。
[0021]与现有技术相比，本技术提供了一种复合式真空旋转蒸镀炉，具备以下有益效果：
[0022]1、该复合式真空旋转蒸镀炉，通过该装置中设置的第一料舟和第二料舟，在第一料舟和第二料舟中可以装载不同的物料，从而能够一次装载多种规格物料，适用性更高，尤其适用于批量和试验样品同时装载。
附图说明
[0023]图1为本技术提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉的结构示意图；
[0024]图2为本技术提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉的断面结构示意图；
[0025]图3为本技术提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉A部分的放大结构示意图；
[0026]图4为本技术提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉B部分的放大结构示意图；
[0027]图5为本技术提出的一种复合式真空旋转蒸镀炉C部分的放大结构示意图。
[0028]图中：1、炉体；101、炉腔；102、外接头；103、限位槽；104、炉盖；1041、安装孔；1042、插杆；2、承载支架；201、限位卡；202、限位杆；3、第二料舟；4、第一料舟；401、端盖；5、定位顶杆；501、热反射屏；502、抵板；6、定位弹簧；7、排气孔。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0030]实施例1：
[0031]参照图1
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4，一种复合式真空旋转蒸镀炉，包括：
[0032]炉体1；
[0033]承载支架2，连接在炉体1中；
[0034]第一料舟4，固定连接在承载支架2上；
[0035]第二料舟3，固定连接在承载支架2上，且第二料舟3和第一料舟4相抵；
[0036]定位顶杆5，和第二料舟3相抵；
[0037]热反射屏501，固定连接在定位顶杆5上。
[0038]炉体1上固定连接有外接头102；
[0039]炉体1内设有炉腔101。
[0040]定位顶杆5上固定连接有抵板502，抵板502和第二料舟3相抵。
[0041]还包括炉盖104，炉盖104和炉体1固定相连，炉盖104侧壁上固定连接有插杆1042，插杆1042和定位顶杆5插接相连。
[0042]炉盖104和炉体1上均开设有安装孔1041，安装孔1041用于将炉盖104固定安装在炉体1上。
[0043]定位顶杆5上套接有定位弹簧6，定位弹簧6一端和热反射屏501固定相连，定位弹簧6另一端和炉盖104侧壁相抵。
[0044]承载支架2上固定连接有限位卡201，炉体1上开设有限位槽103，限位卡201和限位槽103相匹配。
[0045]通过承载支架2上的限位卡201卡住限位槽103，从而能使承载支架2在使用过程中不会来回晃动。
[0046]第一料舟4上固定连接有端盖401。
[0047]端盖401为销钉固定式端盖401。
[0048]承载支架2上固定连接有限位杆202，限位杆202和端盖401相抵。
[0049]通过设置的限位杆202，从而能够使料舟在被推动过程中，不会因过度推动而从承载支架2中脱落。
[0050]第一料舟4和第二料舟3上均开设有排气孔7，排气孔7设有多个，且均匀分布在料舟侧壁上。
[0051]通过第一料舟4和第二料舟3上开设的排气孔7，从而能将工作过程中产生的热气排出。
[0052]参照图1
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5，在使用过程中，将物料装入炉腔101中，物料装填完成后，将承载支架2插入炉体1中，待承载支架2位于外接头102内端时，停止承载支架2的推入，将物料装填入第一料舟4和第二料舟3后，并将端盖401安装在第一料舟4上，端盖401固定后，将第一料舟4、第二料舟3依次推入承载支架2中，推入后，将定位顶杆5推入承载支架2中，使定位顶杆5上固定连接的抵板502和第二料舟3相抵，当端盖401和限位杆202相抵时，停止推入，将炉盖104抵住炉体1，使炉盖104上的插杆104本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，包括：炉体(1)；承载支架(2)，连接在炉体(1)中；第一料舟(4)，固定连接在承载支架(2)上；第二料舟(3)，固定连接在承载支架(2)上，且所述第二料舟(3)和第一料舟(4)相抵；定位顶杆(5)，和第二料舟(3)相抵；热反射屏(501)，固定连接在定位顶杆(5)上。2.根据权利要求1所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，还包括炉盖(104)，所述炉盖(104)和炉体(1)固定相连，所述炉盖(104)侧壁上固定连接有插杆(1042)，所述插杆(1042)和定位顶杆(5)插接相连。3.根据权利要求2所述的一种复合式真空旋转蒸镀炉，其特征在于，所述定位顶杆(5)上套接有定位弹簧(6)，所述定位弹簧(6)一端和热反射屏(501)固定相连，所述定位弹簧(6)另一端和炉盖(104)侧壁相抵。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏佳祥，郝志平，崔志茹，杨晓东，
申请(专利权)人：北京麦戈龙科技有限公司，
类型：新型
国别省市：